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公开(公告)号：CN101790840A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN200880104648.6
申请日：2008-08-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B26/0858 , B81B3/0086 , B81B2201/038 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , G03B21/00 , H01L41/042 , H01L41/0953 , H01L41/0966 , H04N9/3129
Abstract: 本发明具有下述的构成：由第一振动部(7)与第二振动部(9)构成，所述第一振动部(7)具备具有第一驱动电极(18)的第一压电元件，所述第二振动部(9)具有与第一振动部(7)不同的中心轴，具备具有第二驱动电极(18)的第二压电元件，并且第一驱动电极(18)以及第二驱动电极(18)共有连接。由此，驱动电极(18)的配线电极数量减少，引回变得容易，结果能够提高生产效率。
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公开(公告)号：CN104335339B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201380027965.3
申请日：2013-05-01
Applicant: 苹果公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/50 , B65G49/07
CPC classification number: B41J2/385 , B25J15/0052 , B25J15/0085 , B41J2/39 , B81B2201/038 , B81C99/002 , H01L21/67144 , H01L21/6835 , H01L24/75 , H01L24/83 , H01L24/97 , H01L25/0753 , H01L33/0079 , H01L2221/68322 , H01L2221/68354 , H01L2221/68363 , H01L2221/68381 , H01L2224/29036 , H01L2224/29101 , H01L2224/2919 , H01L2224/7565 , H01L2224/7598 , H01L2224/83815 , H01L2224/83855 , H01L2224/97 , H01L2924/12041 , H01L2924/00 , H01L2224/83 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明公开了顺应性的微型器件转移头部和头部阵列。在一个实施例中，微型器件转移头部包括弹簧部分，该弹簧部分可挠曲到位于基部衬底和弹簧部分之间的空间中。
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公开(公告)号：CN102956810B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201210269364.0
申请日：2012-07-31
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 金载兴
IPC: H01L41/083 , H01L41/27
CPC classification number: B81B3/0021 , B81B2201/038 , B81B2203/0127 , B81B2203/053
Abstract: 本发明提供一种电容式传感器及其制造方法和操作方法。该电容式传感器包括：第一掺杂区；第二掺杂区，具有与第一掺杂区相反的导电性并包括第一振动部分；以及空置空间，设置在第一掺杂区与第一振动部分之间，其中第一和第二掺杂区是整体的。该振动部分包括多个通孔，并且用于密封多个通孔的材料膜设置在振动部分上。
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公开(公告)号：CN104787717B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201410024034.4
申请日：2014-01-20
Applicant: 中国科学院金属研究所
IPC: B81B3/00
CPC classification number: F15B15/08 , B81B3/0032 , B81B2201/038 , Y10T29/49828
Abstract: 本发明公开了一种基于液体驱动的纳米多孔驱动器及其应用，属于纳米材料驱动器领域。本发明通过改变纳米多孔材料中液体的含量，使纳米多孔材料表面液体和空气的界面在平直和弯曲两种状态之间进行转变，从而改变液体表面张力作用在纳米多孔材料上的压应力，进而使得纳米多孔材料的弹性变形发生改变，从而使纳米多孔材料发生可逆收缩和膨胀，实现其驱动性能。该驱动器无需施加光磁电热等外部的物理激励信号，无复杂的外部激励过程，不涉及电能、磁能、光能等能量的转变，也没有化学反应或者电化学过程的发生，不涉及有毒有害或者腐蚀性化学物质，实施起来简单方便，对环境友好，尤其适用于仿生机器人、医学、航空航天等领域。
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公开(公告)号：CN104787717A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201410024034.4
申请日：2014-01-20
Applicant: 中国科学院金属研究所
IPC: B81B3/00
CPC classification number: F15B15/08 , B81B3/0032 , B81B2201/038 , Y10T29/49828
Abstract: 本发明公开了一种基于液体驱动的纳米多孔驱动器及其应用，属于纳米材料驱动器领域。本发明通过改变纳米多孔材料中液体的含量，使纳米多孔材料表面液体和空气的界面在平直和弯曲两种状态之间进行转变，从而改变液体表面张力作用在纳米多孔材料上的压应力，进而使得纳米多孔材料的弹性变形发生改变，从而使纳米多孔材料发生可逆收缩和膨胀，实现其驱动性能。该驱动器无需施加光磁电热等外部的物理激励信号，无复杂的外部激励过程，不涉及电能、磁能、光能等能量的转变，也没有化学反应或者电化学过程的发生，不涉及有毒有害或者腐蚀性化学物质，实施起来简单方便，对环境友好，尤其适用于仿生机器人、医学、航空航天等领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102323666B
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201110265548.5
申请日：2006-02-23
Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司
IPC: G02B26/02
CPC classification number: G09G3/3433 , B81B3/0054 , B81B2201/032 , B81B2201/038 , B81B2201/045 , B81B2203/051 , G02B26/02 , G02B26/0841 , G09G2300/0809 , G09G2310/0262
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。
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公开(公告)号：CN102342013B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201080010240.X
申请日：2010-05-26
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
Inventor： 高桥功
CPC classification number: B81B3/0021 , B81B2201/038 , B81B2203/0118 , F03G7/005 , Y10S310/80
Abstract: 以提供一种即使离子液体从电极层表面渗出时也能够使高分子促动器的电极层和端子部之间的导通性良好的高分子促动器装置为目的。该高分子促动器装置具有：高分子促动器（10），具有电解质层（11）及设置在电解质层（11）的厚度方向的两面上的一对电极层（12）、（13），当在所述一对电极层之间付与电压时弯曲；以及端子部（16）、（17），用于向所述高分子促动器（10）付与电压，所述高分子促动器（10）具有变形部（18）和支承部（14），在作为所述高分子促动器（10）的所述支承部（14）的负极侧的第一电极层（12）和端子部（16）之间夹着导电性多孔材料（20）。
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公开(公告)号：CN102015127B
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN200980115089.3
申请日：2009-04-28
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 张建六
IPC: B06B1/02 , B81B3/00 , H01L21/306
CPC classification number: B06B1/0292 , B81B2201/038 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315 , B81B2203/04 , B81C1/00476 , B81C2201/0114
Abstract: 在电容型机电变换器的制造方法中，在基板(4)上形成第一电极(8)，在第一电极(8)上形成具有引向第一电极的开口(6)的绝缘层(9)，并且，在绝缘层上形成牺牲层。在牺牲层上形成具有第二电极(1)的膜片(3)，并且，在膜片中设置作为蚀刻剂入口的孔径。蚀刻牺牲层以形成空腔(10)，并且然后密封用作蚀刻剂入口的孔径。通过经由开口(6)和膜片的孔径使电流在第一电极(8)和外部设置的对电极之间流动的电解蚀刻，来执行蚀刻。
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公开(公告)号：CN1988018A
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200610121480.2
申请日：2006-08-24
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H02K41/0354 , B81B3/0062 , B81B2201/038 , B81B2201/11 , B81B2203/051 , B82Y10/00 , G11B9/1436 , H02K2201/18
Abstract: 本发明公开了一种包括介质平台的微致动器的制造方法，所述介质平台具有介质承载平台和用于驱动所述介质平台的线圈，所述线圈形成于所述介质平台与所述介质承载表面相对的表面上，所述方法包括：在第一基底的第一表面上形成凹槽；在第二基底的第一表面上形成线圈；接合所述第一基底的第一表面和所述第二基底的第一表面；在所述第二基底的第二表面上形成所述介质承载表面，所述介质承载表面与所述第二基底的第一表面相对。
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公开(公告)号：CN1874955A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200480032195.2
申请日：2004-10-26
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： J·T·M·范比克 , M·J·E·乌勒奈尔斯
IPC: B81B3/00
CPC classification number: H01G5/18 , B81B3/0078 , B81B2201/016 , B81B2201/038 , B81B2203/04 , B81B2203/053 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01H2239/01
Abstract: 一种微机电系统(MEMS)器件的制造方法，包括在衬底(14)上提供基层(10)和机械层(12)，在基层(10)和机械层(12)之间提供牺牲层(16)，在牺牲层(16)和衬底(14)之间提供蚀刻停止层(18)，以及借助干法化学蚀刻去除牺牲层(16)，其中利用含氟的等离子体进行干法化学蚀刻，并且该蚀刻停止层(18)包括基本上不导电的、氟化学剂惰性材料，如HfO2、ZrO2、Al2O3或TiO2。
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