公开(公告)号：EP2351169A4

公开(公告)日：2017-08-30

申请号：EP09822830

申请日：2009-10-24

Applicant: CYMER LLC

Inventor： FIGUEROA EFRAIN ,  PARTLO WILLIAM N ,  ALGOTS JOHN MARTIN

IPC: H01S3/10 ,  G01J3/02 ,  G01J3/06 ,  G01J3/12 ,  G01J3/14 ,  G01J3/18 ,  G02B5/18 ,  H01S3/08 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/106

CPC classification number: H01S3/08009 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/027 ,  G01J3/06 ,  G01J3/14 ,  G01J3/18 ,  G01J2003/1208 ,  G02B5/1828 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/1067

Abstract: The bandwidth selection mechanism includes a first actuator mounted on a second face of a dispersive optical element, the second face being opposite from a reflective face, the first actuator having a first end coupled to a first end block and a second end coupled to a second end block, the first actuator being operative to apply equal and opposite forces to the first end block and the second end block to bend the body of the dispersive optical element along the longitudinal axis of the body and in a first direction normal to the reflective face of the dispersive optical element. The bandwidth selection mechanism also includes a second actuator being operative to apply equal and opposite forces to bend the body along the longitudinal axis of the body, in a second direction perpendicular to the reflective face of the dispersive optical element.

Abstract translation: 带宽选择机构包括安装在色散光学元件的第二面上的第一致动器，第二面与反射面相对，第一致动器具有耦合到第一端块的第一端和耦合到第二端的第二端 所述第一致动器可操作以将相等且相反的力施加到所述第一端块和所述第二端块上，以使所述色散光学元件的所述主体沿所述主体的所述纵向轴线弯曲，并沿垂直于所述反射面的第一方向弯曲 的色散光学元件。 带宽选择机构还包括第二致动器，第二致动器可操作以在垂直于色散光学元件的反射面的第二方向上施加相等且相反的力以沿着主体的纵向轴线弯曲主体。

公开(公告)号：EP0587683B1

公开(公告)日：1995-02-22

申请号：EP92911706.7

申请日：1992-06-05

Applicant: BODENSEEWERK PERKIN-ELMER GMBH

Inventor： FLOREK, Stefan ,  BECKER-ROSS, Helmut

IPC: G01J3/12 ,  G01J3/28 ,  G02B5/06

CPC classification number: G01J3/14 ,  G01J3/1809 ,  G01J3/22 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/1208 ,  G01J2003/1286 ,  G01J2003/1828

Abstract: A monochromator (14) with a prism (20) is disposed so that light passes through it before passing on to an echelle polychromator (50). The linear dispersion of the monochromator (14) can be changed by changing the angular dispersion of the prism (20). This makes it possible to investigate, at high resolution, using an echelle grating (54), a particular spectral position and the region close to it. Care is taken that, depending on the mean wavelength being observed, not only is the detector array (66) of the polychromator (50) completely used, but also interfering orders are kept away from the polychromator (50). The linear dispersion of the monchromator can be changed for this purpose.

Abstract translation: 具有棱镜（20）的单色器（14）被设置成使得光在通过到中阶梯多色仪（50）之前穿过它。 单色器（14）的线性色散可以通过改变棱镜（20）的角色散来改变。 这使得可以在高分辨率下使用中阶梯光栅（54），特定的光谱位置和靠近它的区域进行研究。 注意的是，取决于观察到的平均波长，不仅多色仪（50）的检测器阵列（66）被完全使用，而且干扰顺序也远离多色仪（50）。 单色器的线性色散可以为此改变。

公开(公告)号：JP5840789B2

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：JP2014532305

申请日：2012-09-06

Applicant: シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト ,  Siemens Aktiengesellschaft

Inventor： シック、アントン

IPC: G01J3/04 ,  G01J3/12 ,  G01N21/27 ,  G01J3/36

CPC classification number: G01J3/2803 ,  G01J3/2823 ,  G02B21/0044 ,  G01J2003/1204 ,  G01J2003/1208

公开(公告)号：JP2005517172A

公开(公告)日：2005-06-09

申请号：JP2003566507

申请日：2003-01-28

Applicant: ゲゼルシャフト・ツア・フェルデルング・アンゲバンター・オプティック,オプトエレクトローニック,クバンテンエレクトローニック・ウント・スペクトロスコピー・アインゲトラーゲナー・フェアアイン ,  ゲゼルシャフト・ツア・フェルデルング・デア・スペクトロヒェミー・ウント・アンゲバンテン・スペクトロスコピー・アインゲトラーゲナー・フェアアイン

Inventor： ハイトマン，ウーベ ,  フローレック，シュテファン ,  ベッカー−ロス，ヘルムート

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/04 ,  G01J3/08 ,  G01J3/12 ,  G01J3/14 ,  G01J3/18 ,  G01J3/28

CPC classification number: G01J3/04 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/08 ,  G01J3/14 ,  G01J3/1809 ,  G01J3/28 ,  G01J2003/1208 ,  G01J2003/2866

Abstract: スペクトロメータアセンブリ（１０）は、連続スペクトルを有する光源（１１）と、スペクトル部分が選択可能な比較的小さな線分散を有するスペクトルを生じるためのプレモノクロメータとを含み、このようなスペクトル部分のスペクトル帯域幅は、エシェルスペクトルにおけるこのような次数のスペクトル範囲の帯域幅よりも狭いまたは等しく、選択されたスペクトル間隔の中心波長は、最大ブレーズ効率で、波長較正のための手段を有するエシェルスペクトロメータ（４）、プレモノクロメータ（２）での入口スリット（２１）、中間スリット（３）を有する中間スリットアセンブリ（５０）および波長スペクトルの検出のためのスペクトルの出口面における空間解像光検出器（５）で測定可能である。 このアセンブリは、中間スリット（３）の幅が中間スリットの位置でのプレモノクロメータによって生成された入口スリットの単色画像よりも広く、かつ検出器上の連続スペクトルを有する光源の光を参照位置へ較正するようにされたプレモノクロメータを較正するための手段が与えられる。

公开(公告)号：JP2014528084A

公开(公告)日：2014-10-23

申请号：JP2014532305

申请日：2012-09-06

Applicant: シーメンス アクチエンゲゼルシヤフトSiemens Aktiengesellschaft ,  シーメンス アクチエンゲゼルシヤフトSiemens Aktiengesellschaft

Inventor： シック、アントン

IPC: G01J3/36 ,  G01J3/04 ,  G01J3/12 ,  G01N21/27

CPC classification number: G01J3/2803 ,  G01J3/2823 ,  G01J2003/1204 ,  G01J2003/1208 ,  G02B21/0044

Abstract: 本発明は、広帯域光源と、光源の前に配置され結像すべき対象物の視野を光源により照明するように設計された多数の通過孔の構造化された配置を備えた回転可能な第1の絞り装置と、多数の通過孔の構造化された配置の結像を対象物上に集束させるように設計された結像光学系と、対象物から反射された光を結像光学系の光軸に垂直な分散軸に沿ってスペクトル分散するように設計された分散素子と、スペクトル分散された反射光を対象物のスペクトル分解された画像を作成するために検出するように設計された検出器装置とを備えた共焦点分光計に関する。【選択図】図1

Abstract translation: 本发明中，宽带光源和第一可旋转具有结构化的大量的通孔，其被设计成使得所述视展开对象的字段在光源的前方被成像的照明光源的排列 膨胀装置和多个被设计成着眼于孔的结构化装置的物体成像的成像光学系统的光的成像光学系统的光从物体反射 设计成光谱色散沿垂直轴分散于轴线的色散元件，所述检测器构造为，用于创建对象的光谱分辨的图像，以检测反射光光谱分散 与设备相关的共焦光谱仪。 点域1

公开(公告)号：WO2010048604A1

公开(公告)日：2010-04-29

申请号：PCT/US2009/061981

申请日：2009-10-24

Applicant: CYMER, INC. ,  FIGUEROA, Efrain ,  PARTLO, William, N. ,  MARTIN, John, Martin ,  MOSER, Ralf ,  DEUBEL, Markus ,  HEINRICH, Andreas ,  GLOCKL, Oliver ,  LENGEL, Anton ,  ACKVA, Johannes

Inventor： FIGUEROA, Efrain ,  PARTLO, William, N. ,  MARTIN, John, Martin ,  MOSER, Ralf ,  DEUBEL, Markus ,  HEINRICH, Andreas ,  GLOCKL, Oliver ,  LENGEL, Anton ,  ACKVA, Johannes

IPC: H01S3/10

CPC classification number: H01S3/08009 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/027 ,  G01J3/06 ,  G01J3/14 ,  G01J3/18 ,  G01J2003/1208 ,  G02B5/1828 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/1067

Abstract: A mechanism for bandwidth selection includes a dispersive optical element having a body including a reflective face of dispersion including an area of incidence extending in a longitudinal axis direction along the reflective face of the dispersive optical element The body also includes a first end block, disposed at a first longitudinal end of the body and a second end block, disposed at a second longitudinal end of the body, the second longitudinal end being opposite the first longitudinal end The bandwidth selection mechanism also includes a first actuator mounted on a second face of the dispersive optical element, the second face opposite the reflective face, the first actuator having a first end coupled to the first end block and a second end coupled to the second end block, the first actuator being operative to apply equal and opposite forces to the first end block and the second end block

Abstract translation: 用于带宽选择的机构包括具有主体的分散光学元件，该主体包括具有沿着沿着分散光学元件的反射面的纵轴方向延伸的入射区域的分散体的反射面。本体还包括第一端块， 主体的第一纵向端部和设置在主体的第二纵向端部处的第二纵向端部，第二纵向端部与第一纵向端部相对。带宽选择机构还包括安装在分散体的第二面上的第一致动器 光学元件，与反射面相对的第二面，第一致动器具有联接到第一端块的第一端和联接到第二端块的第二端，第一致动器可操作以对第一端施加相等且相反的力 块和第二端块

公开(公告)号：WO1992021948A1

公开(公告)日：1992-12-10

申请号：PCT/EP1992001270

申请日：1992-06-05

Applicant: BODENSEEWERK PERKIN-ELMER GMBH ,  FLOREK, Stefan ,  BECKER-ROSS, Helmut

Inventor： BODENSEEWERK PERKIN-ELMER GMBH

IPC: G01J03/12

CPC classification number: G01J3/14 ,  G01J3/1809 ,  G01J3/22 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/1208 ,  G01J2003/1286 ,  G01J2003/1828

Abstract: A monochromator (14) with a prism (20) is disposed so that light passes through it before passing on to an echelle polychromator (50). The linear dispersion of the monochromator (14) can be changed by changing the angular dispersion of the prism (20). This makes it possible to investigate, at high resolution, using an echelle grating (54), a particular spectral position and the region close to it. Care is taken that, depending on the mean wavelength being observed, not only is the detector array (66) of the polychromator (50) completely used, but also interfering orders are kept away from the polychromator (50). The linear dispersion of the monchromator can be changed for this purpose.

公开(公告)号：EP2351169B1

公开(公告)日：2018-12-12

申请号：EP09822830.7

申请日：2009-10-24

Applicant: Cymer, LLC

Inventor： FIGUEROA, Efrain ,  PARTLO, William, N. ,  ALGOTS, John, Martin

IPC: H01S3/10 ,  G01J3/02 ,  G01J3/06 ,  G01J3/14 ,  G01J3/18 ,  G02B5/18 ,  H01S3/08 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/106 ,  G01J3/12

CPC classification number: H01S3/08009 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/027 ,  G01J3/06 ,  G01J3/14 ,  G01J3/18 ,  G01J2003/1208 ,  G02B5/1828 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/1067

Abstract: The bandwidth selection mechanism includes a first actuator mounted on a second face of a dispersive optical element, the second face being opposite from a reflective face, the first actuator having a first end coupled to a first end block and a second end coupled to a second end block, the first actuator being operative to apply equal and opposite forces to the first end block and the second end block to bend the body of the dispersive optical element along the longitudinal axis of the body and in a first direction normal to the reflective face of the dispersive optical element. The bandwidth selection mechanism also includes a second actuator being operative to apply equal and opposite forces to bend the body along the longitudinal axis of the body, in a second direction perpendicular to the reflective face of the dispersive optical element.

公开(公告)号：EP2943760B1

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：EP15714403.1

申请日：2015-02-06

Applicant: Micro-Epsilon Optronic GmbH

Inventor： OTTO, Tobias

IPC: G01J3/18 ,  G01J3/14 ,  G01J3/22 ,  G01J3/02 ,  G01J3/28 ,  G01J3/12 ,  A61B5/00

CPC classification number: G01J3/14 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/18 ,  G01J3/22 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/1208

公开(公告)号：EP2938259A1

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：EP13867874.3

申请日：2013-12-17

Applicant: Omni MedSci, Inc.

Inventor： ISLAM, Mohammed N.

IPC: A61B5/1477

CPC classification number: A61B5/0088 ,  A61B5/0013 ,  A61B5/0022 ,  A61B5/0075 ,  A61B5/0086 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/14546 ,  A61B5/1455 ,  A61B5/4547 ,  A61B5/6801 ,  A61B5/7257 ,  A61B5/7405 ,  A61B5/742 ,  A61B2562/0233 ,  A61B2562/0238 ,  A61B2562/146 ,  A61B2576/02 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/108 ,  G01J3/14 ,  G01J3/1838 ,  G01J3/28 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/42 ,  G01J3/453 ,  G01J2003/104 ,  G01J2003/1208 ,  G01J2003/2826 ,  G01M3/38 ,  G01N21/35 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/359 ,  G01N21/39 ,  G01N21/85 ,  G01N21/88 ,  G01N21/9508 ,  G01N33/02 ,  G01N33/025 ,  G01N33/15 ,  G01N33/442 ,  G01N33/49 ,  G01N2021/3595 ,  G01N2021/399 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/062 ,  G01N2201/08 ,  G01N2201/12 ,  G01N2201/129 ,  H01S3/0092 ,  H01S3/06758 ,  H01S3/302

Abstract: A device for use with a smart phone or tablet, the device comprising: a measurement device including a light source comprising a plurality of light emitting diodes for measuring one or more physiological parameters, the measurement device configured to generate an input optical beam with one or more optical wavelengths, wherein at least a portion of the one or more optical wavelengths is a near-infrared wavelength between 500 nanometres and 2500 nanometres; the measurement device comprising one or more lenses configured to receive and to deliver a portion of the input optical beam to a sample, wherein the sample reflects at least a portion of the input optical beam delivered to the sample; the measurement device further comprising a receiver to receive at least a portion of the input optical beam reflected from the sample; the light source configured to increase a signal-to-noise ratio of the input optical beam reflected from the sample, wherein the increased signal-to-noise ratio results from an increase to the light intensity from at least one of the plurality of light emitting diodes and from modulation of at least one of the plurality of light emitting diodes; and the measurement device configured to generate an output signal; the device configured to communicate with the smart phone or tablet, the smart phone or tablet comprising a wireless receiver, a wireless transmitter, a display, a voice input module, a speaker, and a touch screen, the smart phone or tablet configured to receive and to process at least a portion of the output signal, wherein the smart phone or tablet is configured to store and display the processed output signal, wherein at least a portion of the processed output signal is configured to be transmitted over a wireless transmission link.