公开(公告)号：CN106970082A

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201611100049.X

申请日：2016-12-02

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 伊藤优作 ,  久木田瑠璃子 ,  矢野紘英 ,  谷本宙一

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/47 ,  G01N21/01

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/01 ,  G01N21/47 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/0112 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2201/104

Abstract: 提供检查装置，能够缩短被检查物的检查所需要的时间。一种检查装置(2)，其对板状的被检查物(11)进行检查，该检查装置(2)包含：被检查物保持单元(6)，其具有对被检查物进行保持的保持面(6a)；缺陷检测单元(8)，其根据照射到被检查物的面(11a)上的激光光线(21)的散射光(23)而对面内的缺陷进行检测；以及三维测量单元(10)，其对包含有缺陷检测单元所检测到的缺陷在内的区域进行三维拍摄而进行再评价。

公开(公告)号：CN106500837A

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201610850290.8

申请日：2016-09-26

Applicant: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所

Inventor： 周镇乔 ,  贾宏博

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/06 ,  G01J3/28 ,  G01N21/64

CPC classification number: G01J3/2823 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/06 ,  G01J2003/064 ,  G01N21/6456 ,  G01N2201/06166 ,  G01N2201/104

Abstract: 本发明提供一种成像光谱仪，其包括沿光线传输方向依次设置的振镜组或柱面镜、第一透镜、反射镜、第二透镜、二向色镜、物镜、光栅、成像透镜及相机，飞秒激光射向振镜组或柱面镜，经第一透镜聚焦于反射镜，被反射至第二透镜准直并射向二向色镜，二向色镜透射激光而反射荧光，透射过二向色镜的飞秒激光经物镜后射向样品，样品中的荧光粉受激发产生荧光并射向二向色镜，反射至光栅进行光谱分离后经成像透镜成像于相机的感光面。所述成像光谱仪通过飞秒激光对样品进行线照明，利用双光子荧光激发效应的空间选择性，替代了一般光谱仪的狭缝结构，提高了成像光谱仪的荧光探测效率，再通过机械振镜扫描照明线或移动样品即能重构出一幅二维光谱图像。

公开(公告)号：EP1553406A1

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：EP04028745.0

申请日：2004-12-03

Applicant: Candela Instruments

Inventor： Meeks, Steven W.

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/47 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9506 ,  G01B11/0616 ,  G01B11/0641 ,  G01B11/065 ,  G01B11/303 ,  G01B11/306 ,  G01N21/21 ,  G01N21/47 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/8427 ,  G01N2021/8841 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/104 ,  G01N2201/1045 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: A double-sided optical inspection system is presented which may detect and classify particles, pits and scratches on thin film disks or wafers in a single scan of the surface. In one embodiment, the invention uses a pair of orthogonally oriented laser beams, one in the radial and one in the circumferential direction on both surfaces of the wafer or thin film disk. The scattered light from radial and circumferential beams is separated via their polarization or by the use of a dichroic mirror together with two different laser wavelengths.

Abstract translation: 提出了一种双面光学检测系统，其可以在表面的单次扫描中检测和分类薄膜盘或晶片上的颗粒，凹坑和划痕。 在一个实施例中，本发明使用一对正交取向的激光束，一个在径向上，一个在圆周方向上在晶片或薄膜盘的两个表面上。 来自径向和周向光束的散射光通过它们的偏振分离，或者通过使用二向色镜与两种不同的激光波长分离。

公开(公告)号：EP2865003A1

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：EP13808673.1

申请日：2013-06-25

Applicant: Kla-Tencor Corporation

Inventor： MANASSEN, Amnon ,  HILL, Andy ,  KANDEL, Daniel ,  SELA, Ilan ,  BACHAR, Ohad ,  BRINGOLTZ, Barak

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/55 ,  G01B11/00 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/104

Abstract: Angle-resolved reflectometers and reflectometry methods are provided, which comprise a coherent light source, an optical system arranged to scan a test pattern using a spot of coherent light from the light source to yield realizations of the light distribution in the collected pupil, wherein the spot covers a part of the test pattern and the scanning is carried out optically or mechanically according to a scanning pattern, and a processing unit arranged to generate a composite image of the collected pupil distribution by combining the pupil images. Metrology systems and methods are provided, which reduce diffraction errors by estimating, quantitatively, a functional dependency of measurement parameters on aperture sizes and deriving, from identified diffraction components of the functional dependency which relate to the aperture sizes, correction terms for the measurement parameters with respect to the measurement conditions.

公开(公告)号：EP1684063A1

公开(公告)日：2006-07-26

申请号：EP06000069.2

申请日：2006-01-03

Applicant: Samsung Electronics Co., Ltd.

Inventor： Ok, Gyeong-sik ,  Ma, Jang-seok

IPC: G01N21/55 ,  G01N21/07 ,  B01L3/00 ,  G02B26/08 ,  G11B7/135

CPC classification number: B01L3/502715 ,  B01L3/5025 ,  B01L2300/0636 ,  B01L2300/0654 ,  B01L2300/0803 ,  B01L2300/0864 ,  B01L2300/168 ,  B01L2400/0409 ,  G01N21/07 ,  G01N21/553 ,  G01N2201/0637 ,  G01N2201/101 ,  G01N2201/104 ,  G02B5/04 ,  G02B7/1805 ,  G02B26/0833

Abstract: A portable biochip scanner that enables multi-channel measurement includes a surface plasmon resonance unit (44) formed in a rotational disk-shape and an optical head (50) projecting light to the surface plasmon resonance unit (44) at an angle within a predetermined range and detecting light totally-reflected from the surface plasmon resonance unit (44). The optical head (50) is movable in a radial direction of the surface plasmon resonance unit (44).
Preferably, the surface plasmon resonance unit (44) comprises a prism disk (42) formed in a ring-shape, and a micro-fluidic disk (43) coupled to a bottom of the prism disk (42). The micro-fluidic disk (42) being provided at a top surface with a plurality of micro-fluidic channels. Preferably, the optical head includes a micro-scanning mirror (52) projecting light from a light source (51) via a reflecting mirror (53) to the surface plasmon resonance unit (44).

Abstract translation: 实现多通道测量的便携式生物芯片扫描器包括形成为旋转盘形的表面等离子体共振单元（44）和以预定的角度以一定角度将光投射到表面等离子体共振单元（44）的光学头（50） 范围和从表面等离子体共振单元（44）全反射的光。 光学头（50）可在表面等离子共振单元（44）的径向方向上移动。 优选地，表面等离子体共振单元（44）包括形成为环状的棱镜盘（42）和耦合到棱镜盘（42）的底部的微流体盘（43）。 微流体盘（42）在顶表面处设置有多个微流体通道。 优选地，光学头包括将来自光源（51）的光经由反射镜（53）投射到表面等离子体共振单元（44）的微扫描镜（52）。

公开(公告)号：WO2009111407A3

公开(公告)日：2009-11-26

申请号：PCT/US2009035749

申请日：2009-03-02

Applicant: KLA TENCOR CORP ,  ZHAO GUOHENG ,  RUNYON REX ,  VAEZ-IRAVANI MEHDI

Inventor： ZHAO GUOHENG ,  RUNYON REX ,  VAEZ-IRAVANI MEHDI

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/104 ,  G02B26/123 ,  Y10S359/90

Abstract: A multi-spot scanning technique using a spot array having a predetermined gap between spots can advantageously provide scalability to a large number of spots as well as the elimination of cross-talk between channels. The multi-spot scanning technique can select a number of spots for the spot array (1D or 2D), determine a separation between the spots to minimize crosstalk, and perform a scan on a wafer using the spot array and a full field of view (FOV). Performing the scan includes performing a plurality of scan line cycles, wherein each scan line cycle can fill in gaps left by previous scan line cycles. This 'delay and fill' scan allows large spacing between spots, thereby eliminating cross-talk at the detector plane. In one embodiment, the scan is begun and ended outside a desired scan area on the wafer to ensure full scan coverage.

Abstract translation: 使用在点之间具有预定间隙的点阵列的多点扫描技术可以有利地为大量点提供可缩放性以及消除信道之间的串扰。 多点扫描技术可以为点阵列（1D或2D）选择多个点，确定点之间的分隔以最小化串扰，并且使用点阵列和全视场在晶片上执行扫描（ FOV）。 执行扫描包括执行多个扫描线周期，其中每个扫描线周期可以填充先前扫描线周期留下的间隙。 这种“延迟和填充”扫描允许点之间具有大的间距，从而消除检测器平面处的串扰。 在一个实施例中，扫描在晶片上的期望扫描区域之外开始并结束，以确保全扫描覆盖。

公开(公告)号：WO2009103663A1

公开(公告)日：2009-08-27

申请号：PCT/EP2009/051689

申请日：2009-02-13

Applicant: TECAN TRADING AG ,  SCHAUSBERGER, Alois ,  GFÖRER, Andreas ,  FUCHS, Wolfgang

Inventor： SCHAUSBERGER, Alois ,  GFÖRER, Andreas ,  FUCHS, Wolfgang

IPC: G02B21/00 ,  G01N21/64

CPC classification number: G02B21/26 ,  G01N21/278 ,  G01N21/6458 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2201/104 ,  G01N2201/11 ,  G02B21/0076

Abstract: Betrifft ein Datenerfassungsverfahren mit einem Laser Scanner-Gerät zum pixelgenauen Abbilden von auf Objektträgern befindlichen, mit Fluoreszenzfarbstoffen behandelten, fluoreszierenden Proben. Ein solches Laser Scanner-Gerät umfasst einen Probentisch; mindestens einen Laser und ein erstes optisches System zum Bereitstellen mindestens eines Laserstrahls zur Anregung der fluoreszierenden Proben; einen Scanner-Kopf (50) mit einem optischen Umlenkelement zum Abrastern dieser Probe in mindestens einer Bewegungsrichtung (75); ein erstes Objektiv; ein zweites optisches System zum Weiterleiten von durch die Laserstrahlen an der Probe ausgelösten und durch das erste Objektiv und das Umlenkelement umgelenkten Emissionsstrahlenbündeln zu mindestens einem Detektor; einen Weggeber (91), der Weggeber-Signale (92) aussendet, die den momentanen Aufenthaltsort des Scanner-Kopfs (50) in Bezug auf einen Nullpunkt anzeigen; ein elektronisches Element zur Filterung der Detektor-Signale (93) mit einer definierten Zeitkonstante; und einen A/D-Wandler zur Digitalisierung der gefilterten Detektor-Signale (93). Das erfindungsgemässe Datenerfassungsverfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass die gefilterten Detektor-Signale (93) des A/D-Wandlers und die Weggeber-Signale (92) unabhängig, parallel und kontinuierlich von einer Rechnereinheit bzw. einer Steuerung (40) erfasst und auf eine gemeinsame Zeitbasis (94) bezogen werden, wobei die A/D-Wandlung so häufig erfolgt, dass jedem Pixel (95) eines Bildes stets mehr als ein Datenpunkt des A/D-Wandlers zugeordnet wird.

Abstract translation: 涉及数据采集与用于成像像素精度的激光扫描装置中，设置在用荧光染料，荧光的样品处理幻灯片的方法。 这样的激光扫描装置包括一个试样台; 至少一个激光和用于至少提供激光束以激发荧光样品的第一光学系统; 具有用于在移动中的至少一个方向上扫描样本的光学偏转器的扫描头（50）（75）; 的第一透镜; 用于通过激光束对样品触发并由第一物镜和所述偏转元件发射的辐射束到至少一个检测器偏转转发的第二光学系统; 发射的位置编码器（91），指示所述扫描头（50）相对于零点的当前位置的编码器信号（92）; 的电子元件来过滤具有限定时间常数的检测器信号（93）; 和用于数字化经滤波的检测器信号的A / D转换器（93）。 本发明的数据记录方法的特征在于，所述A / D转换器的经滤波的检测器信号（93）和所述位置编码器信号（92）独立的，并行且连续地由一个计算机单元或控制器（40）检测和共用的 时基（94）获得，其中所述A / D转换，以便经常，一个图像的每个像素（95）总是被分配到A / D转换器的一个以上的数据点进行的。

公开(公告)号：US20180106723A1

公开(公告)日：2018-04-19

申请号：US15841219

申请日：2017-12-13

Applicant: KLA-Tencor Corporation

Inventor： Amnon Manassen ,  Andrew Hill ,  Daniel Kandel ,  Ilan Sela ,  Ohad Bachar ,  Barak Bringoltz

IPC: G01N21/55 ,  G01B11/00 ,  G01N21/956 ,  G01N21/95

CPC classification number: G01N21/55 ,  G01B11/00 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/104

Abstract: Angle-resolved reflectometers and reflectometry methods are provided, which comprise a coherent light source, an optical system arranged to scan a test pattern using a spot of coherent light from the light source to yield realizations of the light distribution in the collected pupil, wherein the spot covers a part of the test pattern and the scanning is carried out optically or mechanically according to a scanning pattern, and a processing unit arranged to generate a composite image of the collected pupil distribution by combining the pupil images. Metrology systems and methods are provided, which reduce diffraction errors by estimating, quantitatively, a functional dependency of measurement parameters on aperture sizes and deriving, from identified diffraction components of the functional dependency which relate to the aperture sizes, correction terms for the measurement parameters with respect to the measurement conditions.

公开(公告)号：US07359045B2

公开(公告)日：2008-04-15

申请号：US10386973

申请日：2003-03-11

Applicant: Daniel Some

Inventor： Daniel Some

IPC: G01N21/00

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N2021/479 ,  G01N2021/8825 ,  G01N2021/95676 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/104

Abstract: An optical inspection system rapidly evaluates a substrate by illumination of an area of a substrate larger than a diffraction-limited spot using a coherent laser beam by breaking temporal or spatial coherence. Picosecond or femtosecond pulses from a modelocked laser source are split into a plurality of spatially separated beamlets that are temporally and/or frequency dispersed, and then focused onto a plurality of spots on the substrate. Adjacent spots, which can overlap by up to about 60-70 percent, are illuminated at different times, or at different frequencies, and do not produce mutually interfering coherence effects. Bright-field and dark-field detection schemes are used in various combinations in different embodiments of the system.

公开(公告)号：US20070153286A1

公开(公告)日：2007-07-05

申请号：US11323715

申请日：2005-12-30

Applicant: Michael Hughes ,  Sebastien Tixier

Inventor： Michael Hughes ,  Sebastien Tixier

IPC: G01J3/45 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/021 ,  G01N21/86 ,  G01N21/8901 ,  G01N33/34 ,  G01N2021/3595 ,  G01N2021/8917 ,  G01N2201/104

Abstract: An optical scanner for use in conjunction with an infrared spectrometer is disclosed. The optical scanner translates a beam of radiation to a stationary spot on a traveling sheet of material so that ample integration time within the spectrometer is achieved. The beam path impinges on the traveling web and the radiation is reflected off the traveling web back through the optical scanner and recombined at an interferometer. The beam of radiation is kept stationary with respect to both the traveling sheet and the carriage which houses the spectrometer.

Abstract translation: 公开了一种与红外光谱仪一起使用的光学扫描仪。 光学扫描器将辐射束转换成行进的材料片上的固定点，从而实现光谱仪内的充足的积分时间。 光束路径撞击行进网，并且辐射通过光学扫描器反射回行进网，并在干涉仪上重新组合。 辐射束相对于移动片和容纳光谱仪的托架保持静止。