公开(公告)号：CN108347683A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201810060931.9

申请日：2018-01-22

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A·德厄

IPC: H04R19/04

CPC classification number: H04R19/04 ,  B81B3/00 ,  B81B3/0021 ,  B81B7/02 ,  B81B2203/0127 ,  H04R1/00 ,  H04R7/12 ,  H04R7/18 ,  H04R19/005 ,  H04R2201/003

Abstract: 一种微机电式麦克风，具有：扁平的第一电极，至少部分地由导电材料形成；扁平的第二电极，与第一电极间隔布置并且至少部分地由导电材料形成；布置在第一电极和第二电极之间的间隔件；以及布置在第一电极和第二电极之间所定义的空间中的膜，并且膜能够向着第一电极和/或第二电极的方向移动，膜具有膜通孔，间隔件延伸穿过膜通孔，其中，在第一电极和第二电极之间所定义的其中布置有膜的空间与麦克风的周边环境处于气体交换连接中。

公开(公告)号：CN104883651B

公开(公告)日：2018-07-20

申请号：CN201510063342.2

申请日：2015-02-06

Applicant: 先技股份有限公司

Inventor： 刘茂诚 ,  赵皓名 ,  周文介 ,  吕柏纬 ,  翁淑怡 ,  王竣傑

IPC: H04R19/04

CPC classification number: H04R17/02 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2203/0127 ,  H04R2201/003

Abstract: 一种微机电麦克风装置，包括基板、微机电麦克风薄膜与氧化层。基板具有第一凹陷部。微机电麦克风薄膜位于基板上方且覆盖第一凹陷部并定义出第一空腔，微机电麦克风薄膜包括弹性部与结合部。弹性部位于微机电麦克风薄膜的中央位置，且被多个第一沟槽包围，所述多个第一沟槽彼此分离地沿弹性部的边缘排列并贯穿弹性部的相对两面。结合部位于微机电麦克风薄膜的边缘位置，连接弹性部。氧化层具有第二凹陷部，连接微机电麦克风薄膜的结合部，第二凹陷部暴露出至少部分的微机电麦克风薄膜。

公开(公告)号：CN108106641A

公开(公告)日：2018-06-01

申请号：CN201711184308.6

申请日：2017-11-23

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： B·米尔巴彻 ,  A·韦斯鲍尔

IPC: G01D5/14

CPC classification number: H04R11/04 ,  G01K7/00 ,  G01K13/00 ,  H04R7/16 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04 ,  H04R2201/003 ,  H04R2410/03 ,  H04R2499/11

Abstract: 在各种实施例中，提供了一种操作传感器(20)的方法，其中：确定工作电流是否在麦克风(20)中流动，当工作电流不流动时，激活用于生成无功电流(23)的无功电流源(18)，并且当工作电流流动时，无功电流源(18)被去激活，其中无功电流(23)的值(IB)等于或近似等于工作电流的值(IO)。

公开(公告)号：CN104918169B

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201510082003.9

申请日：2015-02-15

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 奥川晃宏

IPC: H04R1/20 ,  H04R19/04

CPC classification number: H04R19/005 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2924/15151 ,  H01L2924/16152 ,  H04R2201/003 ,  H01L2924/00014

Abstract: 一种具有多个传感部的静电电容型转换器、音响传感器及传声器，其中，可以提高耐粘贴性和耐破损性。通过利用缝隙(37)分割隔膜，形成第一隔膜(33a)和面积比第一隔膜(33a)小的第二隔膜(33b)。第一固定电极板(39a)与第一隔膜(33a)相对，构成小音量、高灵敏度的第一音响传感部(43a)。第二固定电极板(39b)与第二隔膜(33b)相对，构成大音量、低灵敏度的第二音响传感部(43b)。从保持隔膜(33a、33b)的背板(38)向第一隔膜(33a)突出有突出长度比较短的止动件(45a)，且从保持隔膜(33a、33b)的背板(38)向第二隔膜(33b)突出有突出长度比较长的止动件(45b)。

公开(公告)号：CN107986225A

公开(公告)日：2018-05-04

申请号：CN201611191404.9

申请日：2016-12-21

Applicant: 鑫创科技股份有限公司

Inventor： 谢聪敏 ,  李建兴 ,  蔡振维

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

CPC classification number: H04R19/04 ,  B81B3/001 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00984 ,  H04R31/003 ,  H04R2201/003 ,  B81B3/0002 ,  B81B3/0027 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00158 ,  B81C1/0096 ,  B81C2201/11

Abstract: 本发明公开一种微机电系统(MEMS)装置以及制作微机电系统的方法。该微机电系统装置包括衬底、介电支撑层、隔膜、背板。所述衬底具有与隔膜区对应的衬底开口。所述介电支撑层安置于所述衬底上，具有与所述衬底开口对应的介电开口以形成所述隔膜区。位于所述介电开口内的所述隔膜在周边处由所述介电支撑层固持。所述背板安置于所述介电支撑层上，具有多个通孔，所述多个通孔连接至所述介电开口。所述背板包括导电层及在与所述隔膜相对的第一侧处覆盖在所述导电层上的保护层，其中所述导电层的第二侧面对所述隔膜且不被所述保护层覆盖。

公开(公告)号：CN107920324A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201710890191.7

申请日：2017-09-27

Applicant: 成均馆大学校产学协力团 ,  宝星电子股份有限公司

Inventor： 金湘祐 ,  金昌元 ,  金容国 ,  金圣均 ,  金泰润 ,  金泰淏 ,  金韩 ,  姜旻奇 ,  崔胜

IPC: H04R31/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

CPC classification number: H04R17/02 ,  H01L41/047 ,  H04R1/083 ,  H04R7/06 ,  H04R7/10 ,  H04R17/10 ,  H04R31/003 ,  H04R2201/003 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00349 ,  B81C1/00523 ,  H04R2231/001

Abstract: 本发明涉及微音器及此的制造方法。具体地，本发明涉及利用具有压电特性的二维物质的微音器及其制造方法。根据本发明的一个实施例，微音器包括：基板，包括空腔；二维压电物质层，配置在所述基板上，使覆盖所述空腔被配置；电极层，配置在所述二维压电物质层上，且经声音随着振动所述二维压电物质层，生成电势。

公开(公告)号：CN107864439A

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201711390897.3

申请日：2017-12-21

Applicant: 上海微联传感科技有限公司

Inventor： 缪建民 ,  陈欣悦

IPC: H04R19/04 ,  H04R7/12

CPC classification number: H04R19/04 ,  H04R7/127 ,  H04R2201/003

Abstract: 本发明公开了一种振膜及MEMS麦克风，属于电子设备技术领域。本发明所提供的振膜包括薄膜本体和连接部，薄膜本体上设置有多个第一气孔和第二气孔，每一第一气孔内均设置有一第一弧形挡片，每一第二气孔内均设置有一第二弧形挡片。该振膜通过在薄膜本体上设置第一气孔和第二气孔，能够有效地降低振膜硬度，提高振膜的灵敏度，降低生产过程中热应力对振膜的影响，以及提高振膜的抗高气压冲击能力和抗摔能力。通过在每一第一气孔内均设置有第一弧形挡片，在每一第二气孔内均设置有一第二弧形挡片，能够有效地改善该振膜的低频响应特性。本发明还提供了一种包含上述振膜的MEMS麦克风。

公开(公告)号：CN103297906B

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201310056571.2

申请日：2013-02-22

Applicant: 欧力天工股份有限公司

Inventor： 秋野裕 ,  池田达也 ,  吉野智

IPC: H04R19/01

CPC classification number: H04R1/326 ,  B81B2201/0257 ,  H04R1/342 ,  H04R19/04 ,  H04R2201/003

Abstract: 本发明是单指向性电容式传声器及其音响阻抗调整方法。在单指向性电容式传声器中，对音响端子间距离不同的传声器可共用支撑固定极的绝缘座。对穿通设置有多个音孔（32）的绝缘座（31），通过规定的音孔闭塞单元将多个音孔（32）中的规定的音孔（32）进行音响闭塞并进行粗调整，通过由音响阻抗调整单元（50）（调整螺母（51））给音响阻抗材（40）施加规定的压缩力并进行微调节，来调整从后部音响端子到振动板的背面的音波通路中存在的音响阻抗。

公开(公告)号：CN104949790B

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201510146420.5

申请日：2015-03-31

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A.德赫 ,  A.韦斯鲍尔

IPC: G01L9/12

CPC classification number: G01L9/0073 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0264 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0052 ,  G01L9/0072 ,  G01L9/0082 ,  G01L9/08 ,  G01L9/085 ,  H04R1/08 ,  H04R2201/003

Abstract: 本发明涉及动态压力传感器。根据各种实施例，动态压力传感器包括基板、形成在基板中的参考体积、密封参考体积的可挠曲膜、耦合到膜并且被配置为测量膜的挠曲的挠曲感测元件，和被配置为使参考体积内的绝对压力与参考体积外的绝对周围压力均衡的通风孔。

公开(公告)号：CN107783692A

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：CN201710583302.X

申请日：2017-07-18

Applicant: 苹果公司

Inventor： D·G·陈 ,  S·永内奥卡 ,  R·塔尔利 ,  H·瓦苏德万 ,  D·杰里亚 ,  M·H·辛

IPC: G06F3/041

CPC classification number: G08B6/00 ,  G06F1/1626 ,  G06F1/1684 ,  G06F1/1694 ,  G06F3/016 ,  G10K11/178 ,  G10K11/17881 ,  G10K2210/3028 ,  G10K2210/3044 ,  H04R19/04 ,  H04R2201/003 ,  H04R2499/11 ,  G06F3/0416

Abstract: 本发明题为“电子设备及其操作方法”。本发明提供了一种电子设备，所述电子设备可包括设备外壳和触觉致动器，所述触觉致动器由所述设备外壳承载并包括触觉致动器外壳和能够在所述触觉致动器外壳内运动的场构件。所述电子设备还可以包括由所述设备外壳承载以感测所述场构件的运动的运动传感器，由所述设备外壳承载以感测来自所述触觉致动器的音频噪声的音频传感器，以及耦接至所述触觉致动器、运动传感器和音频传感器的控制器。所述控制器可被配置为基于感测的所述场构件的运动和来自所述触觉致动器的音频噪声来驱动所述触觉致动器。