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公开(公告)号：CN115461833B
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202180029913.4
申请日：2021-05-31
Applicant: 株式会社V技术
IPC: H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/28 , H01J37/305 , H01J37/317 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 差动排气装置将处理用空间设为高真空度，其中，所述差动排气装置具备：位移驱动部，其能够使头部或被处理基板进行位移来调整被处理面与所述头部的对置面的平行度及距离；间隙测定部，其沿着所述头部的所述对置面的周缘分别配置在至少三个部位以上，能够检测所述对置面与所述被处理面之间的距离；以及间隙控制部，其基于所述间隙测定部检测出的所述对置面与所述被处理面之间的距离信息来控制所述位移驱动部，以使得所述对置面与所述被处理面隔开规定的距离而成为平行。
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公开(公告)号：CN119694866A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411326567.8
申请日：2024-09-23
Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司
Inventor： S·海因里希
IPC: H01J37/04 , H01J37/28 , G01N23/203 , G01N23/20008
Abstract: 提供了一种用于带电粒子束设备的接近电极，所述接近电极包括主体，所述主体具有在所述主体内的孔，并且所述主体具有径向悬伸到孔中的多个突出部，并且孔和突出部具有n重旋转对称性，其中n为整数。
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公开(公告)号：CN119673732A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411672576.2
申请日：2024-11-20
Applicant: 深圳中科飞测科技股份有限公司
Abstract: 一种电子探测器，包括光导和闪烁体；其中，光导具有前端部，前端部的表面包括四分之一球面结构的第一表面和平面结构的第二表面，闪烁体的表面包括相背的光出射面和电子入射面；光出射面贴附第二表面，以使闪烁体产生的光信号进入前端部，第一表面反射光信号。藉由球面结构的第一表面作为光信号在光导中被首次反射的反射面，可对反射光的下一次反射的入射角进行有效控制，为保证光信号能够在光导中发生全反射提供支持，达到通过增加导光过程中的全反射来减少光损失、提高传输效率的目的；同时，前端部采用球面结构，不但有利于简化光导的加工难度，而且通过调整确定闪烁体在前端部的位置，可以获得最佳的光传输效率。
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公开(公告)号：CN119164989B
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411669274.X
申请日：2024-11-21
Applicant: 北京中科科仪股份有限公司
IPC: G01N23/2204 , G01N23/2251 , H01J37/20 , H01J37/28
Abstract: 本发明涉及扫描电镜技术领域，公开了一种扫描电镜样品台，包括：待测样品位于R轴组件上，R轴组件带动待测样品在水平面旋转；R轴组件设置于X轴组件上，X轴组件带动R轴组件沿X轴移动；X轴组件设置于Y轴组件上，Y轴组件带动X轴组件沿Y轴移动；Y轴组件设置于T轴组件上，T轴组件带动Y轴组件绕T轴旋转；T轴与待测样品表面扫描位置位于同一直线；T轴组件设置于Z轴组件上，Z轴带动T轴组件沿Z轴移动。本申请将T轴组件设置于Z轴组件上，避免由于Z轴组件升降，在T轴组件旋转时，原处于视野中心的待测样品表面扫描位置失焦，导致重新调整电子束方向或重新调整五轴自动样品台，严重占用扫描时间。
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公开(公告)号：CN119480589A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202510063918.9
申请日：2025-01-15
Applicant: 惠然科技有限公司
IPC: H01J37/141 , H01J37/28
Abstract: 本申请涉及电磁线圈技术领域，公开了一种用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方法及设备。所述方法包括：确定所述物镜的线圈产生磁场所需的最大安匝数并根据所述最大安匝数确定所述物镜的发热总功率；获取所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的线圈匝数和电阻值；以及根据目标安匝数、所述发热总功率、所述各线圈对应的线圈匝数和电阻值协调所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的电流值，以保持所述物镜恒温。利用本申请的方案，可以在不同的工作状态下保持功率恒定，以保持物镜恒温。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119381234A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411365871.3
申请日：2024-09-27
Applicant: 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
Inventor： 高爽
IPC: H01J37/28 , H01J37/26 , H01L21/66 , G01N23/2251
Abstract: 本申请提供一种电子束扫描控制方法、装置以及存储介质，该方法包括：获取包含行步进电压值与子扫描区域最大扫描行数的扫描指令；在运动平台移动状态下，基于行步进电压值控制电子束从首个子扫描区域开始以运动平台移动方向反向进行扫描；扫描行数达到子扫描区域最大扫描行数后，将电子束偏移至下个子扫描区首行继续扫描；重复此过程直至待扫描目标全部扫描完成。如此，可以通过调整行步进电压值实现间隔若干行进行扫描，从而减少扫描过程中的荷电现象的出现，提高了扫描图像清晰度以及扫描效率。
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公开(公告)号：CN111627787B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202010123762.6
申请日：2020-02-27
Applicant: FEI 公司
Inventor： A.穆罕默迪-葛黑达日 , I.拉锡克 , E.博世 , G.范韦恩
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
Abstract: 本文公开用于多射束扫描透射带电粒子显微镜的技术。实例设备至少包括带电粒子射束柱，所述带电粒子射束柱用于产生多个带电粒子射束，并用所述多个带电粒子射束中的每个来辐照样品；和成像系统，所述成像系统用于收集在所述辐照期间横穿所述样品的所述多个带电粒子射束中的所述带电粒子射束的每个的带电粒子，并且在横穿所述样品之后将所述多个带电粒子射束中的每个带电粒子射束引导到检测器上，其中每个带电粒子射束包括质心，并且其中所述检测器安置在所述成像系统的后焦平面与成像平面之间的中间位置。
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公开(公告)号：CN119361399A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411513070.7
申请日：2024-10-28
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC: H01J37/147 , H01J37/317 , H01J37/30 , H01J37/28 , H01J37/26
Abstract: 本发明公开一种电子束筛选结构及其制备方法，筛选结构包括：传输孔、锥状网孔区和机械固定区；传输孔位于锥状网孔区的中心，作为入射电子束穿过的空间；锥状网孔区的锥顶点位于原入射电子束在样品上的入射点，锥状网孔区的锥底圆周与机械固定区连接固定，形成上大下小的电子束传输通道；锥状网孔区用于实现电子束传输方向筛选，使得原入射电子束与样品发生碰撞时产生的反向传播背散射电子穿过，并阻拦反向传播背散射电子与位于锥状网孔底面的机械件再次碰撞所产生的新背散射电子；机械固定区用于实现电子束筛选结构安装固定，并形成电接触。本发明具有结构紧凑、原理简单、筛选质量高、阻拦效果好等特点，显著提高了电子束曝光作图的质量。
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公开(公告)号：CN119343738A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202380046126.X
申请日：2023-07-11
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/21 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 优化次级带电粒子收集效率的测量系统和方法包括：多射束检查装置(104)，其被配置为扫描(226)样品(230)并且包括透镜(242)；检测器(244)，其被配置为响应于扫描样品而接收多个次级带电粒子束(236,238,240)；以及控制器(296)，其包括通信地耦合到多射束检查装置和检测器通信的电路系统，其被配置为：聚焦透镜以调节次级束斑的尺寸，其中次级束斑由检测器上的多个次级带电粒子束形成；对于多个次级带电粒子束中的每个次级带电粒子束，使得每个次级带电粒子束的离群带电粒子不被检测器检测到；以及重新聚焦透镜以调节由检测器检测到的多个次级带电粒子束的部分的电流，其中离群带电粒子不对电流产生贡献。
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公开(公告)号：CN119340182A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202410967064.2
申请日：2024-07-18
Applicant: 日本电子株式会社
Abstract: 一种带电粒子束装置和相机图像显示方法，在试样单元(30)的上升过程中，显示带有高度指引的相机图像。显示倍率控制器(52)在试样单元(30)的代表高度到达倍率变更高度的时间点使相机图像的显示倍率增大。突出量运算器(55)基于接受了登记操作的时间点的试样保持器(31)的高度，运算试样(32)从试样保持器(31)的突出量。
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