臭氧產生系統
    204.
    发明专利
    臭氧產生系統 审中-公开
    臭氧产生系统

    公开(公告)号:TW201408587A

    公开(公告)日:2014-03-01

    申请号:TW101143401

    申请日:2012-11-21

    Abstract: 本發明之目的係提供可抑制副生成物的產生之低成本的臭氧產生系統。本發明係具有對臭氧產生裝置(1)輸出原料氣體之氣體流量調整裝置(7)。氣體流量調整裝置(7)係具有複數之流量調整部(71,72,73,75),自第一氧流量調整器(71)輸出之氧氣與自混合氣體流量調整器(75)輸出之第一混合氣體所組成之第二混合氣體作為原料氣體,對臭氧產生裝置(1)輸出。在此,氣體流量調整裝置(7)中產生之原料氣體係由氧氣與氮氣所成,相對於氧氣之氮之添加率為比0ppm大、100ppm以下。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明之目的系提供可抑制副生成物的产生之低成本的臭氧产生系统。本发明系具有对臭氧产生设备(1)输出原料气体之气体流量调整设备(7)。气体流量调整设备(7)系具有复数之流量调整部(71,72,73,75),自第一氧流量调整器(71)输出之氧气与自混合气体流量调整器(75)输出之第一混合气体所组成之第二混合气体作为原料气体,对臭氧产生设备(1)输出。在此,气体流量调整设备(7)中产生之原料气体系由氧气与氮气所成,相对于氧气之氮之添加率为比0ppm大、100ppm以下。

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