分光特性測定装置及び分光特性測定方法
    221.
    发明专利
    分光特性測定装置及び分光特性測定方法 有权
    分光特性测量装置和所述光谱特性的测量方法

    公开(公告)号:JPWO2013129519A1

    公开(公告)日:2015-07-30

    申请号:JP2014502333

    申请日:2013-02-27

    Abstract: 本発明は、測定対象から発せられた測定光を固定ミラー部と可動ミラー部に入射させ、前記固定ミラー部によって反射された測定光と前記可動ミラー部によって反射された測定光の干渉光を形成する。このとき、前記可動ミラー部を移動させることにより測定光の干渉光強度変化を得、この変化に基づき測定光のインターフェログラムを求める。また、同時に、測定光の波長帯域の一部である狭帯域の波長の参照光を、前記固定ミラー部と前記可動ミラー部に入射させ、該固定ミラー部によって反射された参照光と該可動ミラー部によって反射された参照光の干渉光を形成する。このとき、前記可動ミラー部を移動させることにより参照光の干渉光強度変化の振幅、及び前記測定光のうち前記参照光と同じ波長の測定光と前記参照光の位相差に基づき前記測定光のインターフェログラムを補正し、補正後のインターフェログラムに基づき前記測定光のスペクトルを求める。

    Abstract translation: 本发明中,从测量对象发射的测量光入射到固定反射镜部和可动反射镜单元,形成由所述反射镜部和由所述固定镜部所反射的测量光反射的测量光的干涉光 到。 此时,通过移动可动反射镜单元得到的测量的光的干涉光的强度的变化,求出基于该变化测量光的干涉。 与此同时,窄的频带,即测量光的波长频带的一部分的波长的参照光,入射到反射镜部和所述固定镜部,参考光束和由所述固定镜部反射的可动反射镜 形成由所述部分反射的参照光的干涉光。 此时,通过基于测量的光,并且具有相同的波长的测量光的基准光的基准光之间的相位差移动可移动反射镜单元幅度和测量光的参照光的干涉光的强度变化 校正干涉,基于所述干涉图校正获得的测量光的光谱。

    Measurement of critical dimensions
    229.
    发明专利
    Measurement of critical dimensions 审中-公开
    空值

    公开(公告)号:JP2014521067A

    公开(公告)日:2014-08-25

    申请号:JP2014518605

    申请日:2012-06-12

    Abstract: 基板上で複数波長、複数方位、複数入射角の読み取りを行う分光機器。 当該機器は、照明ビームを発生する広帯域光源と、照明を、同時に複数の方位角度および複数の入射角度で基板上に向け、それによって反射ビームを発生させる対物レンズと、照明開口、および所望の慎重な組み合わせの方位角度および入射角度を有する反射ビームの部分を選択的に通すためにその中に形成される複数の収集開口、を有する開口プレートと、慎重な組み合わせの方位角度および入射角度を受け取って、読み取り値を生成するための検知器と、読み取り値を解釈するためのプロセッサとを有する。

    Abstract translation: 一种用于在衬底上进行多波长,多方位角,多角度入射读数的光谱仪器,该仪器具有用于产生照明光束的宽带光源,用于将多个方位角的照明引导到衬底上的物镜 角度和多个入射角,从而产生反射光束,具有照明孔的孔板和形成在其中的多个收集孔,用于选择性地通过具有期望的方位角和角度的离散组合的反射光束的部分 - 用于接收方位角和入射角的离散组合并产生读数的检测器,以及用于解释读数的处理器。

Patent Agency Ranking