公开(公告)号：CN104136912A

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201380009617.3

申请日：2013-01-15

Applicant: 费姆托激光产品股份有限公司

Inventor： 加布里埃尔·弗洛林·滕佩亚

IPC: G01N21/41 ,  G01N21/45 ,  G01M11/00 ,  G01J3/453 ,  G02B1/11 ,  G02B5/08

CPC classification number: G01J3/45 ,  E01H5/045 ,  G01J3/4531 ,  G01J2003/283 ,  G01J2003/451 ,  G01J2003/4538 ,  G01M11/005 ,  G01N21/25 ,  G01N21/45 ,  G01N2021/4126 ,  G01N2201/126 ,  G02B1/115 ,  G02B5/0825

Abstract: 使用光谱干涉测量进行样品光学检查的方法和装置，其中由辐射源(1)发射的光束(2”)被引导到样品(5)上，而参考光束(2’)被引导到参考样品(4)上，这两个光束在所述样品处反射之后或经过所述样品之后的光谱干涉通过光谱仪(6)记录；关于角频率ω对如此获得的干涉图I(ω)进行数值求导。对于如此获得的函数I'(ω)，将零点ωi数值计算为等式I'(ω)＝0的解，然后根据等式τ(ωn)＝π/(ωi+1-ωi)从零点ωi计算依赖于频率的群延迟τ(ω)，其中i＝1,2…,并且ωn＝(ωi+1+ωi)/2。

公开(公告)号：CN106361269A

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：CN201610459033.1

申请日：2016-06-22

Applicant: 松下知识产权经营株式会社

Inventor： 西胁青儿

IPC: A61B5/00

CPC classification number: G01J3/4531 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/10 ,  G01J2003/102 ,  G01J2003/104 ,  G01J2003/4538 ,  A61B5/0059 ,  A61B5/0062 ,  A61B5/72

Abstract: 一种光检测装置，具备：第1光源，其向被摄体照射中心波长为第1波长的第1光；第2光源，其向被摄体照射中心波长为比第1波长长的第2波长的第2光；光学滤波器，其包含至少1个第1区域以及至少1个第2区域，使在被摄体进行透射或反射后的第3光进行透射，至少1个第1区域的透射波长即第1透射波长的范围比第1波长长并且比第2波长短，至少1个第2区域的透射波长即第2透射波长的范围比第1波长长并且比第2波长短，第2透射波长的半值宽度与第1透射波长的半值宽度不同；至少1个第1检测器，其检测在至少1个第1区域进行透射后的第3光的第1光量；和至少1个第2检测器，其检测在至少1个第2区域进行透射后的第3光的第2光量。

公开(公告)号：CN104145177B

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201380011702.3

申请日：2013-02-27

Applicant: 国立大学法人香川大学

Inventor： 石丸伊知郎

IPC: G01J3/453 ,  G01N21/45 ,  G01N21/49 ,  A61B5/145 ,  A61B5/1455

CPC classification number: A61B5/1455 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/6887 ,  A61B5/7257 ,  A61B2562/0233 ,  G01B9/02041 ,  G01B9/02049 ,  G01B9/0207 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0272 ,  G01J3/10 ,  G01J3/18 ,  G01J3/4532 ,  G01J3/4535 ,  G01J2003/102 ,  G01J2003/4538 ,  G01N21/255 ,  G01N21/359 ,  G01N21/45 ,  G01N21/49 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/0612

Abstract: 本发明使从测量对象发出的测量光入射到固定反射镜部和可动反射镜部，形成被上述固定反射镜部反射的测量光与被上述可动反射镜部反射的测量光的干渉光。此时，通过使上述可动反射镜部进行移动来获得测量光的干渉光强度变化，基于该变化求出测量光的干涉图。另外，同时使作为测量光的波长频带的一部分的窄频带的波长的参考光入射到上述固定反射镜部和上述可动反射镜部，形成被该固定反射镜部反射的参考光与被该可动反射镜部反射的参考光的干涉光。此时，使上述可动反射镜部进行移动，由此基于参考光的干渉光强度变化的振幅以及上述测量光中的同上述参考光相同波长的测量光与上述参考光的相位差来校正上述测量光的干涉图，基于校正后的干涉图来求出上述测量光的光谱。

公开(公告)号：CN104145177A

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：CN201380011702.3

申请日：2013-02-27

Applicant: 国立大学法人香川大学

Inventor： 石丸伊知郎

IPC: G01J3/453 ,  G01N21/45 ,  G01N21/49 ,  A61B5/145 ,  A61B5/1455

CPC classification number: A61B5/1455 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/6887 ,  A61B5/7257 ,  A61B2562/0233 ,  G01B9/02041 ,  G01B9/02049 ,  G01B9/0207 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0272 ,  G01J3/10 ,  G01J3/18 ,  G01J3/4532 ,  G01J3/4535 ,  G01J2003/102 ,  G01J2003/4538 ,  G01N21/255 ,  G01N21/359 ,  G01N21/45 ,  G01N21/49 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/0612

Abstract: 本发明使从测量对象发出的测量光入射到固定反射镜部和可动反射镜部，形成被上述固定反射镜部反射的测量光与被上述可动反射镜部反射的测量光的干渉光。此时，通过使上述可动反射镜部进行移动来获得测量光的干渉光强度变化，基于该变化求出测量光的干涉图。另外，同时使作为测量光的波长频带的一部分的窄频带的波长的参考光入射到上述固定反射镜部和上述可动反射镜部，形成被该固定反射镜部反射的参考光与被该可动反射镜部反射的参考光的干涉光。此时，使上述可动反射镜部进行移动，由此基于参考光的干渉光强度变化的振幅以及上述测量光中的同上述参考光相同波长的测量光与上述参考光的相位差来校正上述测量光的干涉图，基于校正后的干涉图来求出上述测量光的光谱。

公开(公告)号：US20130135614A1

公开(公告)日：2013-05-30

申请号：US13574484

申请日：2011-01-24

Applicant: Adam Wax ,  Robert N. Graf ,  Francisco E. Robles

Inventor： Adam Wax ,  Robert N. Graf ,  Francisco E. Robles

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01J3/453 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02084 ,  G01B9/02087 ,  G01B9/02091 ,  G01J3/45 ,  G01J2003/4538 ,  G01N21/49

Abstract: Current apparatuses and methods for analysis of spectroscopic optical coherence tomography (SOCT) signals suffer from an inherent tradeoff between time (depth) and frequency (wavelength) resolution. In one non-limiting embodiment, multiple or dual window (DW) apparatuses and methods for reconstructing time-frequency distributions (TFDs) that applies two windows that independently determine the optical and temporal resolution is provided. For example, optical resolution may relate to scattering information about a sample, and temporal resolution may be related to absorption or depth related information. The effectiveness of the apparatuses and methods is demonstrated in simulations and in processing of measured OCT signals that contain fields which vary in time and frequency. The DW technique may yield TFDs that maintain high spectral and temporal resolution and are free from the artifacts and limitations commonly observed with other processing methods.

Abstract translation: 分光光学相干断层扫描（SOCT）信号的分析的现有装置和方法遭受时间（深度）和频率（波长）分辨率之间固有的折中。 在一个非限制性实施例中，提供了用于重建施加独立地确定光学和时间分辨率的两个窗口的时间频率分布（TFD）的多重或双窗口（DW）装置和方法。 例如，光学分辨率可以涉及关于样本的散射信息，并且时间分辨率可以与吸收或深度相关信息相关。 在模拟和处理包含在时间和频率上变化的场的测量的OCT信号中证明了装置和方法的有效性。 DW技术可以产生维持高光谱和时间分辨率的TFD，并且不存在通常用其它处理方法观察到的伪像和限制。

公开(公告)号：EP3155386A1

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：EP15747755.5

申请日：2015-06-15

Applicant: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Inventor： QUERE, Fabien ,  GALLET, Valentin ,  PARIENTE, Gustave

IPC: G01J9/02 ,  G01J11/00

CPC classification number: G01J11/00 ,  G01J3/453 ,  G01J9/0215 ,  G01J2003/4538

Abstract: One aspect of the invention concerns a method for characterization of a light beam, comprising the following steps: - separation of the light beam by means of a separator optic into a first sub-beam and a second sub-beam; - propagation of the first sub-beam over a first optic and of the second sub-beam over a second optic, said first and second optics being respectively arranged so that the first sub-beam on leaving the first optic, referred to as the "reference beam", and the second sub-beam on leaving the second optic, referred to as the "characterized beam", are separated by a time delay τ; - recombination of the reference beam and the characterized beam by means of a recombiner optic, in such a way that the beams spatially interfere and form a two-dimensional interference pattern, the two-dimensional interference pattern extending along a first plane; - measurement of the spectral frequency of at least one part of the two-dimensional interference pattern by means of a measurement system, - calculation of the Fourier transform in the time domain of at least one spatial point of the frequency spectrum, said Fourier transform in the time domain having a time central peak and first and second time side peaks; - calculation of the Fourier transform in the frequency domain for one of said first and second time side peaks; - calculation of the spectral amplitude A
R (ω) and of the space-spectrum phase φ
R (χ,γ,ω) for said Fourier transform in the frequency domain.

Abstract translation: 本发明的一个方面涉及一种用于表征光束的方法，包括以下步骤： - 借助分离光学装置将光束分离成第一子光束和第二子光束; - 第一子光束在第一光学器件上的传播以及第二子光束在第二光学器件上的传播，所述第一和第二光学器件分别被布置为使得离开第一光学器件的第一子光束被称为“ 参考光束“，而离开第二光学器件的第二子光束被称为”特征光束“，被时间延迟τ分开; - 借助于再化合器光学器件重新组合参考光束和特征光束，使得光束在空间上干涉并形成二维干涉图案，二维干涉图案沿着第一平面延伸; - 借助于测量系统测量二维干涉图案的至少一部分的频谱频率， - 计算频谱的至少一个空间点的时域中的傅立叶变换，所述傅立叶变换在 该时域具有时间中心峰值以及第一和第二时间副峰值; - 计算所述第一和第二时间侧峰值之一的频域中的傅里叶变换; - 计算频域中所述傅里叶变换的谱幅度AR（ω）和空间谱相位φR（χ，γ，ω）。

公开(公告)号：WO2015193254A1

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：PCT/EP2015/063368

申请日：2015-06-15

Applicant: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

Inventor： QUERE, Fabien ,  GALLET, Valentin ,  PARIENTE, Gustave

IPC: G01J9/02 ,  G01J11/00

CPC classification number: G01J11/00 ,  G01J3/453 ,  G01J9/0215 ,  G01J2003/4538

Abstract: Un aspect de l'invention concerne un procédé de caractérisation d'un faisceau de lumière comprenant les étapes suivantes : - séparation au moyen d'une optique séparatrice du faisceau de lumière en un premier sous-faisceau et un deuxième sous-faisceau; - propagation du premier sous-faisceau sur une première optique et du deuxième sous-faisceau sur une deuxième optique, lesdites première et deuxième optiques étant respectivement agencées de sorte que le premier sous-faisceau en sortie de la première optique, dit « faisceau de référence », et le deuxième sous-faisceau en sortie de la deuxième optique, dit « faisceau à caractériser », présentent entre eux un délai temporel τ; - recombinaison au moyen d'une optique recombinatrice du faisceau de référence et du faisceau à caractériser de telle manière qu'ils interfèrent spatialement et forment un motif d'interférence bidimensionnel, le motif d'interférence bidimensionnel s'étendant suivant un premier plan; - mesure au moyen d'un système de mesure du spectre fréquentiel d'au moins une partie du motif d'interférence bidimensionnel; - calcul de la transformée de Fourier dans le domaine temporel d'au moins un point spatial du spectre fréquentiel, ladite transformée de Fourier dans le domaine temporel présentant un pic temporel central et des premier et deuxième pics temporels latéraux; - calcul de la transformée de Fourier dans le domaine fréquentiel pour l'un desdits premier et deuxième pics temporels latéraux; - calcul de l'amplitude spectrale A R (ω) et de la phase spatio-spectrale φ R (χ,γ,ω) pour ladite transformée de Fourier dans le domaine fréquentiel.

Abstract translation: 本发明的一个方面涉及一种用于表征光束的方法，包括以下步骤： - 通过分离器光学器件将光束分离成第一子光束和第二子光束; - 第一子光束在第一光学器件上的传播，并且在第二光学元件上传播第二子光束，所述第一和第二光学元件分别布置成使得离开第一光学元件的第一子光束被称为“ 参考光束“和离开第二光学元件的第二子光束（称为”表征光束“）被分离时间延迟τ; - 借助于重组光学器件，参考光束和表征的光束的复合，使得光束在空间上干涉并形成二维干涉图案，所述二维干涉图案沿第一平面延伸; - 通过测量系统测量所述二维干涉图案的至少一部分的频谱频率， - 在所述频谱的至少一个空间点的时域中计算傅立叶变换，所述傅立叶变换 时域具有时间中心峰值和第一和第二时间峰值; - 对所述第一和第二时间峰之一的频域中的傅立叶变换的计算; - 在频域中计算所述傅立叶变换的频谱幅度AR（ω）和空间频谱相位φR（χ，γ，ω）。

公开(公告)号：WO2013106876A1

公开(公告)日：2013-07-25

申请号：PCT/AT2013/050009

申请日：2013-01-15

Applicant: FEMTOLASERS PRODUKTIONS GMBH

Inventor： TEMPEA, Gabriel-Florin

IPC: G01N21/41 ,  G01N21/45 ,  G01M11/00 ,  G01J3/453 ,  G02B1/11 ,  G02B5/08

CPC classification number: G01J3/45 ,  E01H5/045 ,  G01J3/4531 ,  G01J2003/283 ,  G01J2003/451 ,  G01J2003/4538 ,  G01M11/005 ,  G01N21/25 ,  G01N21/45 ,  G01N2021/4126 ,  G01N2201/126 ,  G02B1/115 ,  G02B5/0825

Abstract: Verfahren und Vorrichtung zur optischen Überprüfung einer Probe mittels spektraler Interferometrie, wobei ein von einer Strahlungsquelle (1) abgegebener Strahl (2'') auf die Probe (5) sowie ein Referenzstrahl (2') auf eine Referenzprobe (4) gerichtet werden und die spektrale Interferenz der beiden Strahlen nach Reflexion an den Proben oder Passieren der Proben mittels eines Spektrographen (6) aufgenommen wird; das so erhaltene Interferogramm I (ω) wird numerisch nach der Kreisfrequenz ω abgeleitet, wonach für die so erhaltene Funktion I `(ω) die Nullstellen ω i numerisch als Lösungen der Gleichung I `(ω) = 0 berechnet werden und danach aus den Nullstellen ω i die frequenzabhängige Gruppenverzögerung τ (ω) entsprechend der Gleichung τ (ω n ) = π/ (ω i+1 -ω i ), mit i = 1,2... und ω n = (ω i+1 + ω i ) /2, berechnet wird.

Abstract translation: “在样品（5）和参考光束（2）与参照样品（4）的方法和用于通过光谱干涉的手段的检体的光学检查装置，其中辐射源的一（1）发射的光束（2”）”被引导和 在样品上反射之后被接收或通过光谱仪的装置通过将样品的两个光束的光谱干扰（6）; 所得到的干涉图I（欧米加）进行数值由角频率ω-衍生，之后将如此得到的函数I“（ω-）omegai数值作为等式I的解决方案的零点”（ω-）= 0被从零点计算并随后omegai 根据以下等式的tau（Omegan）= PI /（1 + omegai-omegai）依赖于频率的群延迟的tau（欧米加）被计算，其中i = 1,2，...，和Omegan =（omegai + 1 + omegai）/ 2。

公开(公告)号：EP3155385A1

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：EP15728554.5

申请日：2015-06-15

Applicant: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Inventor： QUERE, Fabien ,  GALLET, Valentin ,  PARIENTE, Gustave

IPC: G01J9/02 ,  G01J11/00

CPC classification number: G01J11/00 ,  G01J3/453 ,  G01J9/0215 ,  G01J2003/4538

Abstract: One aspect of the invention concerns a method for characterization of a light beam, comprising the following steps: - separation of the light beam by means of a separator optic into a first sub-beam and a second sub-beam; - propagation of the first sub-beam over a first optic and of the second sub-beam over a second optic, said first and second optics being respectively arranged so that the first sub-beam on leaving the first optic, referred to as the "reference beam", and the second sub-beam, on leaving the second optic, referred to as the "characterized beam", are separated by a time delay τ sweeping a time interval T1 with step P1; - recombination of the reference beam and the characterized beam by means of a recombiner optic in such a way that the beams spatially interfere and form a two-dimensional interference pattern; - measurement of said two-dimensional interference pattern by means of a measurement system, as a function of the time delay τ sweeping the time interval T1 with step P1, in order to obtain a temporal interferogram; - calculation of the Fourier transform in the frequency domain of at least one spatial point of the temporal interferogram, said Fourier transform in the frequency domain having a frequency central peak and first and second frequency side peaks; - calculation of the spectral amplitude A
R(ω) and of the space-spectrum phase φR(x,y,ω) for one of said first and second frequency side peaks of said Fourier transform in the frequency domain.

公开(公告)号：EP2821777A1

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：EP13754598.4

申请日：2013-02-27

Applicant: National University Corporation Kagawa University

Inventor： ISHIMARU, Ichiro

IPC: G01N21/35

CPC classification number: A61B5/1455 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/6887 ,  A61B5/7257 ,  A61B2562/0233 ,  G01B9/02041 ,  G01B9/02049 ,  G01B9/0207 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0272 ,  G01J3/10 ,  G01J3/18 ,  G01J3/4532 ,  G01J3/4535 ,  G01J2003/102 ,  G01J2003/4538 ,  G01N21/255 ,  G01N21/359 ,  G01N21/45 ,  G01N21/49 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/0612

Abstract: The present invention causes measurement light emitted from an object to be measured to enter a fixed mirror unit and a movable mirror unit and forms interference light of measurement light reflected by the fixed mirror unit and measurement light reflected by the movable mirror unit. At this time, a change of the intensity of the interference light of measurement light is obtained by moving the movable mirror unit, and an interferogram of measurement light is acquired based on the change. At the same time, reference light of a narrow wavelength band included in a wavelength band of the measurement light is caused to enter the fixed mirror unit and the movable mirror unit, and interference light of the reference light reflected by the fixed mirror unit and the reference light reflected by the movable mirror unit is formed. At this time, the movable mirror unit is moved to correct the interferogram of measurement light based on an amplitude of the change of the interference light of the reference light and based on a phase difference between measurement light, which is at the same wavelength as the reference light in the measurement light, and the reference light, and a spectrum of the measurement light is acquired based on the corrected interferogram.

Abstract translation: 本发明使从测量对象发射的测量光进入固定镜单元和可移动镜单元，并形成由固定镜单元反射的测量光的干涉光和由可动镜单元反射的测量光。 此时，通过移动可动镜单元来获得测量光的干涉光的强度的变化，并且基于该变化获取测量光的干涉图。 同时，使包括在测量光的波长带中的窄波长带的参考光进入固定镜单元和可移动镜单元，以及由固定镜单元反射的参考光的干涉光和 形成由可动镜单元反射的参考光。 此时，可移动镜单元被移动以基于参考光的干涉光的变化的幅度校正测量光的干涉图，并且基于与测量光的波长相同的测量光之间的相位差 测量光中的参考光和参考光，并且基于校正的干涉图获取测量光的光谱。