光检测装置
    226.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105705920A

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201480059055.8

    申请日:2014-10-31

    CPC classification number: G01J3/26 G01J3/0286

    Abstract: 本发明所涉及的光谱传感器(1)的特征在于:具备:配线基板(2),具有主面;光检测器(3),被配置于配线基板(2)的主面(2A)上并且与配线基板(2)相电连接;垫片(4),在配线基板的主面(2A)上被配置于光检测器(3)的周围;法布里-珀罗干涉滤光片(10),具有光透过区域(11)并且通过垫片(4)被配置于配线基板(2)的主面(2A)上;垫片(4)在光透过区域(11)的周围区域(R1)支撑法布里-珀罗干涉滤光片(10),垫片(4)在从光透过区域(11)中的光的透过方向看的情况下具有连通周围区域(R1)的内侧和周围区域(R1)的外侧的开口部(A1)。

    光学模块
    227.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105594114A

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201480054282.1

    申请日:2014-09-08

    Inventor: 藁科祯久

    Abstract: 光学模块(1A)包括:半导体基板(2);静电致动器(10),其具有固定部(11)和可动部(12),该固定部(11)固定在半导体基板(2),该可动部(12)通过在与固定部(11)之间产生的静电力相对于固定部(11)移动;第一弹簧部(20),其与可动部(12)连接,具有第一弹簧常数K1;第二弹簧部(30),其连接至第一弹簧部(20)与半导体基板(2)之间,具有比第一弹簧常数K1大的第二弹簧常数K2;可动反射镜(5),其是连接至第一弹簧部(20)与第二弹簧部(30)的连接部(13)的光学部件,由此实现能够使用静电致动器、稳定且高精度地使光学部件动作的光学模块。

    波长可变干涉滤波器、光模块及光分析装置

    公开(公告)号:CN102645740B

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201210033895.X

    申请日:2012-02-15

    CPC classification number: G01J3/26 G01J3/51 G02B26/001

    Abstract: 一种波长可变干涉滤波器、光模块及光分析装置。作为波长可变干涉滤波器的标准具具备第一基板、第二基板、固定反射镜、可动反射镜以及静电致动器。各反射镜通过一层TiO2膜和一层合金膜层叠而形成。TiO2膜的膜厚尺寸T及Ag合金膜的膜厚尺寸S被设定为如下的膜厚:参照波长的反射率成为目标反射率,且设定波长的反射率与仅用所述金属膜构成反射膜的情况相比更低。

    波长可变干涉滤波器、光模块、光分析装置以及分析装置

    公开(公告)号:CN102608753B

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201210017974.1

    申请日:2012-01-19

    Inventor: 广久保望

    CPC classification number: G02B26/001 G01J3/027 G01J3/10 G01J3/26 G01J3/51

    Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器、光模块、光分析装置以及分析装置。该波长可变干涉滤波器具备:具有固定反射膜的固定基板;具有可动反射膜的可动基板;以及包括固定电极以及可动电极的静电执行机构,其中,固定电极包括相互绝缘的第一固定部分电极以及第二固定部分电极,在固定基板上包括从第一固定部分电极以及第二固定部分电极延伸出的第一引出电极以及第二引出电极,可动电极形成覆盖与第一固定部分电极相对的第一相对区域以及与第二固定部分电极相对的第二相对区域的圆环状。

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