ELECTRIC FIELD SPECTRUM MEASUREMENT DEVICE AND OBJECT MEASUREMENT DEVICE
    242.
    发明公开
    ELECTRIC FIELD SPECTRUM MEASUREMENT DEVICE AND OBJECT MEASUREMENT DEVICE 审中-公开
    用于测量电场的谱及OBJECT测量装置

    公开(公告)号:EP2565621A1

    公开(公告)日:2013-03-06

    申请号:EP11756416.1

    申请日:2011-03-17

    CPC classification number: G01J3/45 G01B9/02083 G01B9/0209 G01J3/4535 G01N21/17

    Abstract: Every depth of the measurement object measures energy structural information, refractive index, transmittance, reflectance other than property information of (as for the resolution several microns), e.g., space information at the same time.
    A spectrum measurement device receives a reference wave propagating in a reference path and a measurement wave propagating in a measurement path having a start point same as a start point of the reference path, and derives a spectrum of the measurement wave.
    The space information of the measuring object, energy structural information, refractive index, transmittance, a reflective index using spectrum measurement device are derived.

    Abstract translation: 所述测量对象的每个深度测量能量的结构信息,折射率,透射率,反射率比的属性信息等(作为分辨率几微米),在在Sametime,E. G.,空间信息。 频谱测定装置接收一个参考路径的参考波传播和在具有开始点相同的参考路径的开始点的测量路径的测量波传播,并导出所述测量波的频谱。 测量对象,能量的结构信息,折射率,透射率,反射率使用光谱测量装置的空间信息导出。

    Système et procédé d'interférométrie statique.
    244.
    发明公开
    Système et procédé d'interférométrie statique. 审中-公开
    系统和Verfahren zur statischen Interferenzmessung

    公开(公告)号:EP2264416A1

    公开(公告)日:2010-12-22

    申请号:EP10166380.5

    申请日:2010-06-17

    CPC classification number: G01J3/45 G01J3/453

    Abstract: L'invention porte sur un système d'interférométrie statique comprenant deux miroirs réalisés respectivement par assemblage vertical (EH) et horizontal (EV) d'un ensemble de lames parallèles de largeur constante, décalées le long de l'axe optique de manière à former des échelettes de différence de marche variable, lesdits deux miroirs à échelettes (EH, EV) étant disposés orthogonalement de manière à former, par superposition optique, un ensemble de facettes carrées provoquant des différences de marche différentes pour le signal incident, et un dispositif de détection (DET) de l'ensemble des différences de marche de l'interférogramme résultant. Le système comprend, en outre, des moyens de variation continue (LC) de la différence de marche durant l'acquisition de données par le dispositif de détection (DET), et des moyens d'échantillonnage (S, ACQL) pour échantillonner la différence de marche continue acquise en respectant le critère de Nyquist.

    Abstract translation: 该系统具有通过组装沿光轴移动的板形成的垂直折叠镜(EV)和水平梯形镜(EH),以形成具有可变路径差的格子。 反射镜通过光学叠加正交放置以形成方形面,以引起入射信号的不同路径差异。 检测装置检测所得干涉图的路径差异。 补偿板(LC)允许路径差的连续变化,并且采样单元(S,ACQL)通过奈奎斯特准则对所获得的连续路径差进行采样。 还包括使用两个反射镜的静态干涉测量方法的独立权利要求。

    Interferometer
    246.
    发明公开
    Interferometer 审中-公开
    干涉仪

    公开(公告)号:EP2078939A1

    公开(公告)日:2009-07-15

    申请号:EP08100369.1

    申请日:2008-01-11

    CPC classification number: G01J3/45 G01B9/02071 G01B2290/60 G01J3/4535

    Abstract: An interferometer (70) for observing a source of observed radiation (10) employing a source of reference radiation (12) characterised in that the interferometer (70) is configured to provide a ratio between the retardation of reference radiation and the retardation of observed radiation which is higher than 1.

    Abstract translation: 一种用于使用参考辐射源(12)观察观测辐射源(10)的干涉仪(70),其特征在于,所述干涉仪(70)被配置为提供参考辐射的延迟与观察到的辐射的延迟之间的比率 高于1。

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