具有高可靠性的可精细构图的碳纳米管发射体的制造方法

    公开(公告)号:CN101221872A

    公开(公告)日:2008-07-16

    申请号:CN200710196272.3

    申请日:2007-12-07

    CPC classification number: H01J9/025 H01J1/304 H01J2201/30469

    Abstract: 本发明公开了一种场发射装置的碳纳米管的制造方法,其中添加了纳米尺寸的金属颗粒,由此大大提高了发射体的可靠性。CNT发射体的制造方法包括(a)在溶剂中分散CNT粉末、有机粘合剂、光敏材料、单体、和纳米尺寸的金属颗粒,由此制造CNT浆料;(b)在基底上方形成的电极上涂覆CNT浆料;(c)曝光涂覆在电极上的CNT浆料,由此进行精细构图;(d)塑化精细构图的CNT浆料;并且(e)处理CNT浆料的表面,使得被塑化的CNT浆料被激活。CNT发射体可以被精细地构图至几个μm,并可以改善电子发射的均匀性。另外,添加纳米尺寸的金属颗粒作为CNT浆料的金属填充剂,使得金属可以在CNT不恶化的低温下熔化。此外,增强了CNT对阴极的粘接,从而可以改善CNT发射体的可靠性。

    碳纳米管场发射显示装置的制备方法

    公开(公告)号:CN100345239C

    公开(公告)日:2007-10-24

    申请号:CN03114065.3

    申请日:2003-03-26

    Inventor: 刘亮 范守善

    CPC classification number: B82Y10/00 H01J9/025 H01J2201/30469

    Abstract: 本发明涉及一种碳纳米管场发射显示装置的制备方法,包括下列步骤:在工作板表面形成一绝缘层,该绝缘层具有一平整表面;在绝缘层表面形成一催化剂层;在催化剂层表面形成阻隔壁,并形成显示点阵区域;生成碳纳米管阵列;在碳纳米管阵列顶部形成阴极电极;形成与阴极电极和阻隔壁外形相应的底板,以支撑所述阴极电极和阻隔壁;脱去工作板,在绝缘层表面形成栅极电极;去除绝缘层对应显示点阵的区域,露出碳纳米管阵列;封装阳极。本发明可使碳纳米管阵列发射端在同一平整面,从而实现电子均匀发射;而且,碳纳米管与栅极的间距可以控制。

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