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公开(公告)号：KR101855616B1
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：KR1020170032312
申请日：2017-03-15
Applicant: 주식회사 라온즈
CPC classification number: G01J3/44 , G01N21/65 , G01Q20/02 , G02B26/105
Abstract: 본발명은상대적으로소형이고단순한광학계를포함하여구성될수 있어경제성과현장진단을위한휴대성을향상시키며, 나노미터의표면형상분석과동시에표면에서발생하는라만신호를검출하여화학적분자구성정보를현장에서신뢰성있고정량적인자료를제공할수 있는광학드라이브를이용한현장진단용나노라만스펙트럼분석장치에관한것이다. 본발명에따르면, 상기근접장현미경부의팁의위치제어와시료의라만분석을위한레이저광원을생성하며, 상기시료에조사되는레이저광원의에너지와, 상기시료에광원의초점을맞추기위한초점용광학렌즈의초점거리및 상기근접장현미경부의팁의위치를제어하기위한광픽업유닛인터페이스부; 상기시료에대한라만산란을생성하고, 라만신호를검출하도록구성되는라만스펙트럼생성부; 상기라만스펙트럼생성부의나노라만의공간분해능및 시료에대한마이크로위치를제어하기위한 XYZ축스캐너부; 및상기근접장현미경부의팁의피드백신호를검출처리하고, 라만스펙트럼을분석하도록구성되는분석부;를포함하는현장진단용나노라만스펙트럼분석장치가제공된다.
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公开(公告)号：KR1020170126310A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：KR1020160056569
申请日：2016-05-09
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N21/31 , A61B5/1455 , G01N21/59 , G01N33/48 , G01N21/01
CPC classification number: A61B10/0045 , A61B5/1405 , A61B5/14532 , A61B5/14546 , A61B5/1455 , A61B5/1495 , A61B5/7267 , A61B2560/0223 , G01J3/28 , G01J3/42 , G01J3/44 , G01N21/35 , G01N21/359 , G01N33/4833 , G01N2201/129
Abstract: 분석물질에대한체내고유스펙트럼을추정하는단계, 추정된체내고유스펙트럼과, 체내에서분석물질의농도가실질적으로변하지않는구간동안획득된체내스펙트럼을바탕으로농도예측알고리즘을이용하여분석물질의체내농도를예측하는방법및 장치가제공된다.
Abstract translation: 估计所述分析物的身体特定的光谱，使用浓度分析物的系统浓度基本上在间隔期间获得不在体内，所估计的身体特定的光谱和改变分析物主体的频谱的基础上浓度预测算法， 提供了一种方法和装置。
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公开(公告)号：KR1020170016526A
公开(公告)日：2017-02-13
申请号：KR1020177002899
申请日：2013-01-31
Applicant: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
Inventor： 덴보에프,아리에
IPC: G03F9/00 , G03F7/20 , G01J3/44 , H01L21/027
CPC classification number: G01J3/4412 , G01J3/44 , G01N21/4788 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G02B5/205 , G03F7/70591 , G03F7/70625 , G03F7/70633 , G03F9/7026 , G03F9/00 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 분광스케터로미터는타겟격자상에조명된스폿으로부터회절된 0차및 고차방사선을검출한다. 상기장치는 0차(반사된) 방사선의스펙트럼을형성및 검출하고, 개별적으로고차회절방사선의스펙트럼을형성및 검출한다. 각각의스펙트럼은대칭위상격자를이용하여형성되어, 스펙트럼들의대칭쌍을형성하고검출한다. 스펙트럼들의쌍은감소된포커스감도를갖는단일스펙트럼을얻도록평균될수 있다. 두스펙트럼들을비교하여, 후속한리소그래피단계에서의높이측정들을개선하기위한정보가산출될수 있다. 타겟격자는 0차및 고차방사선이상이한평면들에서의스폿으로부터나오도록비스듬하게방위된다. 2 개의스케터로미터는동시에작동되어, 상이한비스듬한방향들로부터타겟을조명할수 있다. 방사형투과필터가스폿에서의사이드로브들을감소시키고, 제품크로스토크를감소시킨다.
Abstract translation: 光谱散射仪检测从目标光栅上的照射点衍射的零级和高阶辐射。 该装置形成并检测零级（反射）辐射的光谱，并分别形成和检测高阶衍射辐射的光谱。 使用对称相位光栅形成每个光谱以形成和检测对称的一对光谱。 可以对该对谱进行平均以获得具有降低的焦点灵敏度的单一光谱。 通过比较这两个光谱，可以计算信息以改善后续光刻步骤中的高度测量。 目标光栅倾斜定向，使得零级和更高阶的辐射异常从一个平面中的点出射。 两个散射仪可以同时操作，从不同的倾斜方向照射目标。 径向透射滤波器可减少光斑中的旁瓣并降低产品串扰。
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公开(公告)号：KR101704591B1
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：KR1020147026288
申请日：2013-01-31
Applicant: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
Inventor： 덴보에프,아리에
CPC classification number: G01J3/4412 , G01J3/44 , G01N21/4788 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G02B5/205 , G03F7/70591 , G03F7/70625 , G03F7/70633 , G03F9/7026
Abstract: 분광스케터로미터는타겟격자상에조명된스폿으로부터회절된 0차및 고차방사선을검출한다. 상기장치는 0차(반사된) 방사선의스펙트럼을형성및 검출하고, 개별적으로고차회절방사선의스펙트럼을형성및 검출한다. 각각의스펙트럼은대칭위상격자를이용하여형성되어, 스펙트럼들의대칭쌍을형성하고검출한다. 스펙트럼들의쌍은감소된포커스감도를갖는단일스펙트럼을얻도록평균될수 있다. 두스펙트럼들을비교하여, 후속한리소그래피단계에서의높이측정들을개선하기위한정보가산출될수 있다. 타겟격자는 0차및 고차방사선이상이한평면들에서의스폿으로부터나오도록비스듬하게방위된다. 2 개의스케터로미터는동시에작동되어, 상이한비스듬한방향들로부터타겟을조명할수 있다. 방사형투과필터가스폿에서의사이드로브들을감소시키고, 제품크로스토크를감소시킨다.
Abstract translation: 光谱散射仪检测从目标光栅上的照明光点衍射的零级和高阶辐射。 该装置形成和检测零级（反射）辐射的光谱，并分别形成和检测高阶衍射辐射的光谱。 每个光谱使用对称相位光栅形成，以便形成和检测对称的光谱对。 这对光谱可以被平均以获得具有降低的聚焦灵敏度的单个光谱。 比较两个光谱可以产生用于在随后的光刻步骤中改善高度测量的信息。 目标光栅倾斜定向，使得零级和高阶辐射从不同平面中的光点发出。 两个散射仪可以同时操作，从不同的倾斜方向照射目标。 径向传输过滤器可减少现场的旁瓣并减少产品串扰。
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公开(公告)号：KR1020160024608A
公开(公告)日：2016-03-07
申请号：KR1020140111630
申请日：2014-08-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김동호
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/0205 , A61B5/14532 , A61B5/1455 , A61B2562/028 , G01J3/0259 , G01J3/44
Abstract: 초소형분광기및 이를적용한장치가개시된다. 개시된초소형분광기는, 입력된광을표면플라즈몬모드로전송하며, 전송파장대역이서로다르도록마련된복수의도파로어레이를가지는밴드패스필터부와, 복수의도파로어레이일단에광을커플링시키는입력커플러와, 복수의도파로어레이타단에서출력되는광을각각검출하도록마련된복수의광검출기어레이를포함한다.
Abstract translation: 公开了一种微型光谱仪及其装置。 本发明的微型光谱仪包括：带通滤波器部分，其以表面等离子体激发模式传输输入的光，并且具有布置的多个波导阵列，以使透射波长带不同; 将光耦合到所述多个波导阵列的一端的输入耦合器; 以及布置成检测从多个波导阵列的另一端输出的每个光的多个光检测器阵列。 根据本发明，与具有大体积的常规光谱仪不同，微光谱仪非常小以安装在非侵入式传感器上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101599147B1
公开(公告)日：2016-03-04
申请号：KR1020140124924
申请日：2014-09-19
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G02B27/0012 , G02B26/06 , G02F2203/18 , G02F2203/50 , G03H1/10 , G03H1/16 , G03H2225/32 , H04B10/50577 , H04B10/508 , H04B10/516 , H04B10/524 , H04B10/548 , F41H11/02 , G01J1/58 , G01J3/44 , G02B6/06 , G02B6/26 , G06K9/00 , H01S3/10 , H01S3/13
Abstract: 광파면제어부(Spatial Light Modulator: SLM)를이용하여위상공액을발생시키는광 단일채널위상공액장치및 방법이개시된다. 광단일채널위상공액장치는, 산란체에서산란된파면을갖는광이입사되는광 파면제어부(Spatial Light Modulator: SLM), 및상기광 파면제어부에서집약되어출사된광의위상제어파면을감지하고, 상기위상제어파면에기초하여상기출사된광의방향을역방향으로변경함에따라위상공액파면을갖는광을출력하는단일채널광 감지및 발생부를포함할수 있다.
Abstract translation: 公开了使用空间光调制器（SLM）产生相位共轭的单通道光学相位共轭装置及其方法。 单通道光相位共轭装置包括：SLM，其中接收从散射体散射的波前的光; 以及用于检测在SLM中收集并发射的光的相位控制波前的单通道光检测和生成单元，并且用于输出通过将输出光的方向改变为 基于相位控制波前的逆方向。
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公开(公告)号：KR1020150088879A
公开(公告)日：2015-08-03
申请号：KR1020157017079
申请日：2013-11-27
Applicant: 트러스티스 오브 프린스턴 유니버시티
Inventor： 두가리우아서
CPC classification number: G01J3/4412 , G01J3/0208 , G01J3/0216 , G01J3/44 , G01N21/65 , G01N2021/653
Abstract: 원격및/또는휴대용검출을위한시스템들및 방법들이제공된다. 시스템은코히렌트성레이저펄스의공급원(305), 코히렌트성레이저펄스를제 1 파장값에서의제 1 빔펄스(391)와제 2 파장값에서의제 2 빔펄스(392) 및제 3 파장값에서의제 3 빔펄스(393)로전환하는부품들(315, 320)을포함할수 있다. 시스템들은지연된빔 펄스를생성하도록상기제 1 빔펄스, 상기제 2 빔펄스, 및상기제 3 빔펄스중 적어도하나를지연시키도록구성된광학부품들(330)과, 상기지연된빔 펄스; 및상기제 1 빔펄스, 상기제 2 빔펄스, 및상기제 3 빔펄스세트중 2개의펄스의실질적으로동일선상의결합을샘플(355) 상으로전송하도록구성된포커싱부품(340)을추가로포함할수 있다.
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268.发明公开
公开(公告)号：KR1020140027033A
公开(公告)日：2014-03-06
申请号：KR1020130100549
申请日：2013-08-23
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
Abstract: 본발명은표면-증강라만산란(Surface Enhanced Raman Scattering,SERS)에기초한물질의미량분석을위한유무기나노섬유복합체기판에관한것으로, 보다상세하게는다양한라만염료(Raman dye)에의해유도된금속나노입자들의응집체들이가교결합성고분자하이드로겔성질을가진나노섬유내부에다양한밀도로균일하게함입된나노섬유복합체기판및 이의제조방법, 그리고이들의응용에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及用于分析基于表面增强拉曼散射（SERS）的微量材料的无机 - 有机纳米纤维复合基材，更具体地涉及其中由各种拉曼染料诱导的金属纳米颗粒聚集体均匀渗透到内部的纳米纤维复合基材 的纳米纤维具有各种密度的可交联聚合物水凝胶性质; 其制造方法; 及其应用。 （AA）分散在聚合物溶液中的银纳米簇; （BB）含有银纳米簇的聚合物纳米纤维
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公开(公告)号：KR101281169B1
公开(公告)日：2013-07-02
申请号：KR1020070085563
申请日：2007-08-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: A61B5/00
CPC classification number: G01J3/02 , A61B5/0075 , A61B5/145 , A61B5/14532 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/0291 , G01J3/10 , G01J3/44 , G01N21/359 , G01N21/49 , G01N21/65 , G01N2021/399 , G01N2021/4742 , G01N2021/656
Abstract: 본 발명은, 하나의 광원에서 발광된 입력광을 전송하는 입력광 전송부; 상기 입력광 전송부를 통한 입력광을 복수의 생체 입사광으로 분리하는 광 분리부; 상기 복수의 생체 입사광이 그와 동수(同數)인 서로 다른 생체의 측정점에 조사(照射)되도록, 상기 복수의 생체 입사광을 각각 집광(集光)하는 집광부; 및, 상기 복수의 생체 입사광 조사(照射)를 통하여 얻어진, 상기 측정점의 개수와 동수(同數)인 복수의 출력광을, 상기 출력광을 파장별로 분류하는 분광기(spectrometer)로 각각 전송하는 출력광 전송부;를 구비한 것을 특징으로 하는 체내 성분 측정용 비침습 프로브와, 이를 구비한 비침습적 체내 성분 측정 시스템을 제공한다.
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公开(公告)号：KR101103091B1
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：KR1020067003658
申请日：2004-08-23
Applicant: 씨8 메디센서스, 인크.
Inventor： 립슨,얀
CPC classification number: G01J3/44 , G01J3/02 , G01J3/0229 , G01J3/0232 , G01J3/1838 , G01N21/274 , G01N21/31 , G03H1/0005
Abstract: 더 작은 전체 검출기 면적에서 스펙트럼 에너지를 집중시키는 것을 제공하면서, 복수 개의 파장의 시료로부터 산란된 약한 신호가 단일 검출기 또는 복수 개의 검출기에 방사되도록 더해질 수 있다. 또한, 샘플 부피에서 물의 양을 측정하고 샘플 부피에서 체액의 염도를 측정함으로써 주어진 시료에 대한 결과적인 신호의 조정이 얻어질 수 있는 방법이 개시된다.
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