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公开(公告)号：KR100521616B1
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：KR1020010070986
申请日：2001-11-15
Applicant: 우시오덴키 가부시키가이샤
IPC: G01J3/42
CPC classification number: G01N21/4738 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/10 , G01M11/005 , G01N21/33 , G01N2021/4742
Abstract: 자외 영역을 포함하는 넓은 파장 영역에 있어서, 특정 파장의 광의 반사율을 측정할 수 있는 분광 반사율 측정 장치, 참조값을 용이하게 취득할 수 있는 분광 반사율 측정 장치 및 분광 반사율 측정 방법을 제공하는 것이다.
분광 반사율 측정 장치는 크세논 램프를 구비하는 광원부, 입사측 파이버, 입사측 파이버로부터의 광을 정렌즈 및 광 확산판을 통해서 피측정면에 조사하여 피측정면으로부터의 반사 광을 받는 측정 헤드, 출사측 파이버 및 출사측 파이버로부터의 광을 받는 분광 방사 조도계를 갖고 이루어진다. 측정 헤드는 광 입사 통부와, 이 광 입사 통부와 독립한 광 출사 통부를 갖고 이루어지고, 광 입사 통부와 광 출사 통부는 각각의 광축이 피측정면 또는 그 근방에서 교차하는 상태에서, 분리가능하게 일체로 연결되어 있다. 또한, 광 입사 통부와 광 출사 통부는 양자의 광축이 일치하는 상태에서 연결가능하게 되어 있다.-
公开(公告)号：KR1020020046147A
公开(公告)日：2002-06-20
申请号：KR1020010070986
申请日：2001-11-15
Applicant: 우시오덴키 가부시키가이샤
IPC: G01J3/42
CPC classification number: G01N21/4738 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/10 , G01M11/005 , G01N21/33 , G01N2021/4742
Abstract: PURPOSE: To provide a spectral reflectance measuring apparatus and method capable of measuring the reflectance of light with a specific wavelength, over a wide wavelength range including the ultraviolet range, and easily obtaining a reference value. CONSTITUTION: The spectral reflectance measuring apparatus comprises a light source part having a xenon lamp, an incoming fiber, a measuring head for applying light from the incoming fiber to a surface to be measured via a positive lens and a light diffusion panel and for receiving the light reflected from the surface, an outgoing fiber, and a spectroradiometer receiving the light from the outgoing fiber. The measuring head includes an incoming tube part and an ongoing tube part which is independent of the incoming tube part, with the incoming and ongoing tube parts being separably and integrally connected to each other while their respective optical axes intersect at or near the surface to be measured. Further, the incoming and ongoing tube parts can be connected to each other while their optical axes are coincident.
Abstract translation: 目的：提供一种能够在包括紫外线范围的宽波长范围内测量特定波长的光的反射率的光谱反射率测量装置和方法，并且容易获得参考值。 构成：光谱反射测量装置包括具有氙灯的光源部分，入射光纤，用于通过正透镜和光散射板将来自入射光纤的光线施加到待测表面的测量头， 从表面反射的光，出射光纤和接收来自光纤的光的分光辐射计。 测量头包括入射管部分和独立于入射管部分的正在进行的管部分，其中进入的和正在进行的管部分彼此分离地并且一体地连接，同时它们各自的光轴在表面处或附近相交， 测量。 此外，进入和正在进行的管部件可以彼此连接，同时它们的光轴重合。
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公开(公告)号：KR101854593B1
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：KR1020160035523
申请日：2016-03-24
Applicant: 베러티 인스트루먼트, 인코퍼레이티드
CPC classification number: H05B41/30 , G01J3/0205 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J2003/1278 , G01N21/84 , G01N2201/061 , G01N2201/0696
Abstract: 플래시램프제어시스템에는고 전압전원공급장치에정적으로전기적으로연결된커패시터가제공되며, 전류감지구성요소가그 후정적커패시터에대한충전전류및/또는방전전류를모니터링하기위해정적커패시터및 디지털제어전자장치에전기적으로연결된다. 동적으로스위칭가능한커패시터는또한모니터링된충전전류및/또는방전전류에기초하여고 전압전원공급장치로부터동적으로스위칭가능한커패시터를분리하기위해고 전압전원공급장치및 디지털제어전자장치에전기적으로연결될수 있다. 공기갭, 확산균질요소, 이미징요소, 비-이미징요소또는광 파이프균질요소로이루어진하나이상의균질요소가, 광학신호의변화의계수를시간적으로든스펙트럼으로든또는양쪽모두에서감소하기위해, 다채널분배기가있다면그와같이플래시램프에근접한광 경로에배치될수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170118919A
公开(公告)日：2017-10-25
申请号：KR1020177026925
申请日：2016-02-10
Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션
CPC classification number: G01N21/255 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/18 , G01J3/2803 , G01J3/42 , G01J2003/425 , G01N21/211 , G01N21/55 , G01N21/9501 , G01N2021/213 , G01N2201/06113 , G01N2201/068
Abstract: 감소된초점에러에대한민감도를갖는광대역분광계측을수행하기위한방법및 시스템이본 명세서에제시된다. 웨이퍼표면상의입사평면과정렬된방향이검출기표면상의파장분산의방향에수직으로배향되도록검출기상에측정스폿을촬상함으로써초점위치에러에대한민감도의상당한감소가성취된다. 이초점에러민감도의감소는측정정확도를손상시키지않고, 감소된초점정확도및 반복성요구, 더신속한초점시간, 및감소된파장에러에대한민감도를가능하게한다. 다른양태에서, 입사평면에수직인방향에서웨이퍼평면상에투영된조명시야의치수는피측정타겟의성질에기초하여최종적인측정정확도및 속도를최적화하도록조정된다.
Abstract translation: 本文介绍了用于执行宽带光谱测量的灵敏度降低聚焦误差的方法和系统。 通过在检测器上成像测量点使得与晶片表面上的入射平面对齐的方向垂直于检测器表面上的波长色散方向取向，从而实现焦点位置误差敏感度的显着降低。 聚焦误差灵敏度的降低可降低聚焦精度和可重复性要求，缩短聚焦时间并降低对波长误差的灵敏度，同时不会降低测量精度。 在另一方面，基于待测量的目标的性质来调整在垂直于入射平面的方向上投影到晶片平面上的照明视场的尺寸以优化最终测量精度和速度。
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公开(公告)号：KR101719388B1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：KR1020127008257
申请日：2010-09-01
Applicant: 마이크로소프트 테크놀로지 라이센싱, 엘엘씨
CPC classification number: G01J3/0205 , G01J3/02 , G01J3/0224 , G01J3/0229 , G01J3/0235 , H04N5/332 , H04N13/254
Abstract: 이중모드는가시광이필터링될수 있는구조화된조명을투사하도록구성된광원을포함한다. 이중모드영상기는또한장면으로부터구조화된조명및 가시광의둘 다를포착하도록구성된검출기를포함한다. 시간적또는공간적필터는선택적으로검출기의하나이상의부분으로부터가시광을차단하면서구조화된조명을검출기의하나이상의부분으로통과시키는데이용된다.
Abstract translation: 双工模式包括配置为投射结构光与可见光被过滤的光源。 双模式图像组还包括被配置为捕获光并从场景结构的可见光的两个检测器。 时间或空间滤波器用于选择性地通过的结构化万亿人而从检测器的一个或多个部分至该检测器的一个或多个部分阻挡可见光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170017796A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：KR1020160099612
申请日：2016-08-04
Applicant: 비아비 솔루션즈 아이엔씨.
Inventor： 스미스,파울라 , 흐루스카,커티스알. , 캐칭,벤자민에프. , 쿰스,폴지.
CPC classification number: G01J3/0229 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0216 , G01J3/0218 , G01J3/0262 , G01J3/12 , G01J3/26 , G01J3/2803 , G01J2003/1213 , G01J2003/1217 , G01J2003/123 , G01J2003/1234 , G01J2003/1239 , G01J2003/1291 , G01J2003/2806 , G01J2003/2813 , G01N21/255 , G01N21/8507 , G02B5/22 , G02B5/3025 , G02B6/4215
Abstract: 업스트림필터가다운스트림필터의공간필터로서기능하도록서로고정된거리로스택되는 2개의횡방향가변대역통과필터를포함하는광학어셈블리가개시된다. 횡방향변위는, 업스트림및 다운스트림필터들상의사선빔의침투위치들에서전송통과대역들이오버랩하지않을때 사선빔의억제를유도할수 있다. 광검출기어레이는다운스트림필터의다운스트림에배치될수 있다. 광학어셈블리는유체샘플의스펙트로스코픽측정들을위해다양한광도관들또는광섬유들을통해커플링될수 있다.
Abstract translation: 公开了一种光学组件，其包括彼此以固定距离堆叠的两个横向可变带通光学滤光器，使得上游滤波器用作下游滤波器的空间滤波器。 当倾斜光束的入射位置在上游和下游滤波器上的传输通带不重叠时，横向位移可能导致倾斜光束的抑制。 光电检测器阵列可以设置在下游滤波器的下游。 光学组件可以经由各种光学导管或光纤耦合，用于流动样品的光谱测量。
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公开(公告)号：KR1020160132936A
公开(公告)日：2016-11-21
申请号：KR1020167028123
申请日：2015-03-12
Applicant: 내셔널 유니버시티 오브 싱가포르
CPC classification number: G01J3/4531 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0229 , G01J3/0272
Abstract: 광학간섭장치(100)는여기서개시된다. 기술된실시예에서, 광학간섭장치(100)는광의시준된빔을수용하기위한위상변위기어레이(108)를포함한다. 위상변위기어레이(108)는다양한위상변위들을가지는적어도몇몇의광학광 채널들과, 광의시준된빔의각각의선으로부터광학광 채널들을생산하기위해셀들(128)의어레이를포함한다. 광학간섭장치(100)는초점거리를가지고광학탐지기(116)에의한탐지를위한위상변위기어레이(108)의하류에이미지및 그것의초점거리에서광의집중된빔을, 광학광 채널들로부터, 동시에생산하도록배열되는포커싱렌즈(110)를더 포함한다. 또한, 광학간섭장치(100)는광학탐지기(116)에의한탐지를위해영차수에서공간적으로분포된간섭광 패턴을생산하도록광의집중된빔을여과하도록배열되고포커싱렌즈(100)의초점거리에서배열되는광학공간필터(122)를포함한다. 또한, 공간적으로분포되는간섭광 패턴을생산하기위한방법은개시된다.
Abstract translation: 本文公开了光学干涉装置100。 在所描述的实施例中，光学干涉装置100包括用于接收准直光束的移相器阵列108。 移相器阵列108包括用于从准直光束的各个光线产生光学光通道的单元阵列128，其中至少一些光学光通道具有不同的相移。 光学干涉装置100还包括聚焦透镜110，该聚焦透镜110具有焦距并且被布置成从光学光通道同时产生在其焦平面上的聚焦光束和在移相器阵列108下游的图像，用于通过光学 光学干涉装置100还包括布置在聚焦透镜110的焦距处的光学空间滤光器112，并布置成滤光聚焦光束，以产生空间分布的干涉光图案，用于由光学器件检测 还公开了一种用于产生空间分布的干涉光图案的方法。
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公开(公告)号：KR1020160120269A
公开(公告)日：2016-10-17
申请号：KR1020167013912
申请日：2014-10-29
Applicant: 더 유니버시티 코트 오브 더 유니버시티 오브 세인트 앤드류스
CPC classification number: G01J9/0246 , G01J1/4257 , G01J3/0205 , G01J4/00 , G01J2001/0481 , G01J2009/0257
Abstract: 스페클패턴(speckle pattern)을생성하기위해광을산란하고그에의해광을랜덤화하는(randomizing), 무작위로배치된다수의산란기를갖는랜더마이저(randomizer)와, 광의적어도하나의광 특성및/또는광의적어도하나의광 특성의변화를판단하기위해스페클패턴을검출하는검출기를포함하는광학시스템.
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公开(公告)号：KR101617473B1
公开(公告)日：2016-05-02
申请号：KR1020107015310
申请日：2009-05-07
Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
CPC classification number: G01J3/0205 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/04 , G01J3/18 , G01J3/2803 , G02B7/027 , H01L31/18
Abstract: 본발명은신뢰성이높은분광(分光)모듈을제공한다. 본발명에관한분광모듈(1)에서는분광부(4)로진행하는광(L1)이광통과구멍(50)을통과할때, 기판(2) 측을향하여끝이가늘어지는광입사측부(51)를빠져나가, 광입사측부(51)의바닥면(51b)과대향하도록형성된광출사측부(52)에입사한광만이광출사개구(52a)로부터출사된다. 이때문에, 광입사측부(51)의측면(51c)이나바닥면(51b)에입사한미광(M)은광출사측부(52)와반대측으로반사되므로, 광출사측부(52)에미광이입사하는것을억제할수 있다. 따라서, 분광모듈(1)의신뢰성을향상시키는것이가능하게된다.
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公开(公告)号：KR101535209B1
公开(公告)日：2015-07-09
申请号：KR1020150024202
申请日：2015-02-17
Applicant: (주) 비비비
Inventor： 최재규
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/0208 , G01J3/0205 , G01J3/0259 , G01J3/1804 , G01J3/42 , G01N21/0303 , G01N21/05 , G01N21/85 , G01J3/0202
Abstract: 자기정렬된분광기가제공된다. 본발명의일 실시예에따른자기정렬된분광기는, 광(光)이투과가능한재료로형성되는고정부재로서, 내부에형성된에어렌즈(air lens)를포함하는것인, 고정부재; 및상기고정부재의제1 면을통해상기고정부재내에적어도일부가삽입되어고정되는광 도파관을포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种自对准光谱仪。 根据本发明的实施例，自对准光谱仪是由允许光穿透的材料制成的固定构件，并且包括：固定构件，其包括形成在其中的空气透镜; 以及以这样的方式固定到固定构件的光波导，其中至少一部分光波导通过固定构件的第一表面插入到固定构件中。 根据本发明，可以通过固定构件来维持光学部件的对准状态，该固定部件可以通过使用单一材料进行一次制造工艺而形成。
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