-
公开(公告)号：JP2004504591A
公开(公告)日：2004-02-12
申请号：JP2002512641
申请日：2001-06-28
Applicant: ソシエテ・ドゥ・プロデュクシオン・エ・ドゥ・ルシェルシェ・アプリケ
Inventor： ストール・ジャン−ルイ , ボエール・ピエール , ルトマン・ミシェル
CPC classification number: G01J4/04 , G01N21/211
Abstract: 【課題】高度な空間分解能のエリプソメータを提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも赤外線放射を供給する光源Ｓと、サンプルホルダＰＥと、センサＤと、偏光された光ビームを使って斜め視界でサンプルホルダ上のサンプルを照射するために光源ＳとサンプルホルダＰＥとの間に取付けられる第１光学装置と、サンプルで反射された光を集光するためにサンプルホルダＰＥとセンサＤとの間に取付けられる第２光学装置とを有するエリプソメータに関する。 このエリプソメータは、第２光学装置の集光デバイスＭ２の焦点面で反射経路に取付けられ、サンプルの後面ＦＡＲから得られる寄生光線ＲＰを阻止するように、かつ、サンプルの前面ＦＡＶから得られる有用光線ＲＵをセンサＤに向けて通すのを許容するように変更されたブロッキングデバイスＦ２を更に有し、それによってサンプルの前面および後面に対しての分解能を得ることができる。
【選択図】図１-
公开(公告)号：JP2004504590A
公开(公告)日：2004-02-12
申请号：JP2002512640
申请日：2001-07-16
Applicant: ソシエテ・ドゥ・プロデュクシオン・エ・ドゥ・ルシェルシェ・アプリケ
Inventor： ストール・ジャン−ルイ , タンタール・リュック , ピエル・ジャン−フィリップ , ボエール・ピエール , レイ・ジャン−ピエール
CPC classification number: G01J4/04 , G01N21/211
Abstract: 【課題】エリプソメータを更に改良する。
【解決手段】ビーム４を放射する光源２と、ビーム４を偏光し、少なくとも選択角度に従ってサンプル１６を照射する偏光入射ビーム１２を生成する偏光子１０と、照射されたサンプル１６で反射されるビーム２０を受け取り、反射ビーム２０に応答して出力ビーム２８を生成するアナライザ２４と、光源２とサンプル１６の間及び／又はサンプル１６とセンサの間に配置され、選択スポットに従って入射及び／又は反射ビーム１２，２０を集光する少なくとも反射光学要素１４とを備える分光エリプソメータに関する。 それは更に、サンプル１６とセンサの間及び／又は光源２とサンプル１６の間に配置されて反射及び／又は入射ビームを集光及び集束する少なくとも第１屈折要素２２を備え、それによりサンプル１６の一方側に少なくとも屈折及び反射要素２２，１４を提供でき、スポットに対して同じ側に光源とセンサを配置できる。
【選択図】図１-
公开(公告)号：JPS59126220A
公开(公告)日：1984-07-20
申请号：JP261383
申请日：1983-01-08
Applicant: Horiba Ltd
Inventor： KISHIMOTO TOSHIHIKO , OOTSUKI KUNIO
IPC: G01J4/04
CPC classification number: G01J4/04
Abstract: PURPOSE:To enable measurement high in the sensitivity and accuracy by arranging an optical modulator made of an optically active crystal plate and a driver for vibrating it. CONSTITUTION:An optical modulator 9 is made of an optically active crystal plate 22 having an optical rotatory power in a crystal state and a driver 23 having a power amplifier 12 connected to an oscillator 13. The crystal plate 22 is provided in such a manner as to cross a plane polarized light and is vibrated reciprocatively between two positions with the device 23 to vary the angle with respect to the plane polarized light. This can increase the modulation angle thereby enabling the measurement high in the sensitivity and accuracy.
Abstract translation: 目的：通过布置由光学活性晶体板制成的光学调制器和用于振动的驱动器来实现灵敏度和精度的高度测量。 构成：光调制器9由具有晶体状态的光旋转电力的光学活性晶体板22和具有连接到振荡器13的功率放大器12的驱动器23构成。晶体板22以如 穿过平面偏振光并且在与器件23的两个位置之间往复运动地相对于平面偏振光改变角度来振动。 这可以增加调制角度，从而使测量灵敏度和精度都很高。
-
公开(公告)号：JPS5915825A
公开(公告)日：1984-01-26
申请号：JP12491282
申请日：1982-07-16
Applicant: Horiba Ltd
Inventor： SAIJIYOU YUTAKA
IPC: G01J4/04
CPC classification number: G01J4/04
Abstract: PURPOSE:To measure the angle of optical rotatory power at a high accuracy with a good response with an expanded measuring limit in a simple construction by making light passing through a Faraday cell several times with a reflecting mirror. CONSTITUTION:Light polarized linearly with a polarizer 4 passes several times, for example, three times, through a Faraday cell 5 made up a Faraday coil 52, a Faraday glass 5 and the like as reflected with reflecting mirrors 15 and 16, rotated angularly according to a sample of a sample cell 6 and received with a detector 8 via a light detection element 7 whose polarization plane differs by 90 deg. from that of a polarizer 4. Current is supplied to a coil 52 through a counter 10 and a power amplifier 11 so that the output of the detector 8 becomes zero and the angle of optical rotatory power is measured. The passage of this light measure enables the measurement of the angle of optical rotatory power with limited supply of current to the Faraday cell and thus, the measuring range can be expanded with a simple construction to eanble the measurement of the angle of optical rotatory power at a high accuracy with a good response.
Abstract translation: 目的：通过使反射镜多次通过法拉第电池，使光线在简单的结构中以高精度测量光旋转角度，并具有良好的响应，扩展的测量极限。 构成：通过由反射镜15和16反射的法拉第线圈52，法拉第玻璃5等构成的法拉第电池5，通过偏振片4线性偏振的光通过几次，例如三次，按照 通过其偏振面相差90度的光检测元件7与样品池6的样品一起接受检测器8。 从偏振器4的电流通过计数器10和功率放大器11将电流提供给线圈52，使得检测器8的输出变为零，并且测量旋光度的角度。 这种光测量的通过使得能够通过限制向法拉第电池的电流供应来测量旋光功率的角度，因此，可以用简单的结构来扩展测量范围，从而可以测量旋光功率的角度 准确度高，响应良好。
-
公开(公告)号：JPS5173485A
公开(公告)日：1976-06-25
申请号：JP13803875
申请日：1975-11-17
Applicant: Centralne Lab Optyki
Inventor： MAREKU DASUKIIBIKU , IERUTSUI SUSUKII
IPC: G01J4/04
CPC classification number: G01J4/04
-
Patent Agency Ranking276.发明公开편광 선택적, 주파수 선택적, 및 넓은 동적 범위의 검출기, 이미징 어레이, 판독 집적회로, 및 센서 시스템 审中-实审偏振选择性，频率选择性和宽动态范围探测器，成像阵列，读出集成电路和传感器系统
公开(公告)号：KR1020170092677A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：KR1020177018774
申请日：2016-01-08
Applicant: 애플 인크.
Inventor： 캉가스,미카엠. , 비숍,마이클제이. , 첸,로버트 , 사이먼,데이비드아이. , 손탁3세,하롤드엘. , 스키드모어,조지,디
CPC classification number: G01J5/0825 , G01J4/04 , G01J5/0225 , G01J5/0846 , G01J5/0853 , G01J5/20 , G01J2005/202
Abstract: 본출원은광의하나이상의주파수또는편광을선택적으로검출하도록구성되거나, 넓은동적범위로동작할수 있거나, 또는이들의임의의조합인센서시스템, 검출기, 이미저(imager), 및판독집적회로(readout integrated circuit, ROIC)에관한것이다. 일부예들에서, 검출기는하나이상의광 흡수기를포함할수 있으며; 광흡수기의패턴들및/또는속성들은원하는측정파장범위및/또는편광방향에기초하여구성될수 있다. 일부예들에서, 검출기는강화된동적범위검출을위한복수의적어도부분적으로중첩되는광 흡수기들을포함할수 있다. 일부예들에서, 검출기는다양한플럭스레벨들을고려하기위해응답시간또는감도를변화시킴으로써하나이상의플럭스레벨에대해정전기적튜닝을할 수있다. 일부예들에서, ROIC는프레임레이트집적정전용량, 및조명소스의파워중 적어도하나를동적으로조정할수 있다.
Abstract translation: 本申请涉及传感器系统，检测器，成像器和读出集成电路，其可以被配置为选择性地检测光的一个或多个频率或偏振光，或者可以在宽动态范围内操作， 电路，ROIC）。 在一些情况下，检测器可以包括一个或多个光吸收器; 可以基于期望的测量波长范围和/或偏振方向来配置光吸收器的图案和/或性质。 在一些情况下，检测器可以包括用于增强动态范围检测的多个至少部分重叠的光吸收器。 在一些情况下，检测器可通过改变响应时间或灵敏度来考虑各种通量水平来对一个或多个通量水平执行静电调谐。 在一些情况下，ROIC可以动态调整帧速率积分电容和照明源的功率中的至少一个。
-
公开(公告)号：KR101709820B1
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：KR1020127007808
申请日：2010-08-26
Applicant: 칼 짜이스 레이저 옵틱스 게엠베하
CPC classification number: G01J4/04 , G01J1/4257 , G02B27/10 , G02B27/1073 , G02B27/108 , G03F7/70025 , G03F7/70566 , G03F7/7085 , H01S3/02
Abstract: 레이저시스템(100)은레이저(110), 상기레이저를포함하는하우징(101), 및상기레이저시스템의작동중에상기레이저로부터의레이저광선을수신하도록배치된제1 챔버(120)를포함한다. 상기시스템은또한, 상기제1 챔버를인접챔버와분리하고, 레이저광선(201)의경로에배치되며, 상기제1 챔버(225)와인접챔버사이에창을형성하는제1 광학소자(220); 상기제1 광학소자(220)로부터의상류또는하류의광선(201)의경로에배치되는빔 스플리터(210); 및광선검출장치(240)를포함한다. 상기시스템의작동중에, 상기빔 스플리터(210)는레이저광선(201)을수신하여, 상기광선검출장치로, 메인빔(201)으로서레이저광선의제1 부분을투과하고, 제1 서브빔으로서상기레이저광선의제2 부분(202, 203)을지향시킨다.
Abstract translation: 激光系统（100）包括激光器（110），包括激光器的壳体（101）和布置成在激光系统的操作期间接收来自激光器的激光辐射的第一腔室（120）。 该系统还包括将第一腔室与相邻腔室分开的第一光学元件（220），第一光学元件（220）被布置在激光辐射（201）的路径中，并且在第一腔室（225） 和相邻的室; 在所述第一光学元件（220）的上游或下游布置在所述辐射路径（201）中的分束器（210）; 和放射线检测装置（240）。 在系统操作期间，分束器（210）接收激光辐射（201），将激光辐射的第一部分作为主光束（201）传输，并将激光辐射的第二部分（202,203）引导为 朝向辐射检测装置的第一子光束。
-
公开(公告)号：KR1020170023797A
公开(公告)日：2017-03-06
申请号：KR1020167032066
申请日：2015-06-17
Applicant: 소니 주식회사
Inventor： 오자와켄
CPC classification number: G01J1/42 , G01J1/0411 , G01J1/0429 , G01J1/0488 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0224 , G01J3/027 , G01J3/2823 , G01J3/4531 , G01J4/04 , G01J2004/005 , G01N2021/3595
Abstract: 본발명은촬상장치및 방법을제공한다. 물체로부터의광은복수의광 세트로서복수의소자를갖는위상차어레이에제공된다. 위상차어레이는복수의광세트의적어도일부내에포함된광에대하여광로차를제공하도록구성된다. 위상차어레이로부터의광은촬상소자어레이에수광된다. 촬상소자어레이는복수의촬상소자를포함한다. 촬상소자어레이의출력신호에근거한하이퍼스펙트랄이미징데이터로부터얻어진정보는표시될수 있다.
Abstract translation: 提供了一种成像装置和方法。 将来自物体的光作为多组光束提供给具有多个元件的相位差阵列。 相位差阵列被配置为为包括在多组光束中的至少一些光束中的光提供不同的光路。 来自相位差阵列的光在成像元件阵列处被接收。 成像元件阵列包括多个成像元件。 可以显示从基于成像元件阵列的输出信号的高光谱成像数据获得的信息。
-
公开(公告)号：KR1020170004947A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：KR1020167006664
申请日：2015-01-20
Applicant: 제이.에이. 울램 컴퍼니, 인코퍼레이티드
Inventor： 리파드,마틴,엠. , 헤일,제프리,에스. , 허,핑 , 파이퍼,게일런,엘.
CPC classification number: G02B17/0621 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J4/00 , G01J4/04 , G01N21/21 , G02B19/0023 , G02B19/0076 , G02B27/0012 , G02B27/286
Abstract: 빔반사표면들을갖는볼록미러(M3) 및오목미러(M4) 모두의존재를바람직하게는요구하는반사광학장치시스템(RFO)에관한것으로, 이시스템의사용은관여하는다양한미러들(M1)(M2)(M3)(M4)로의입사각들및 이로부터의반사각들의조절에기초하여서입사빔의편광상태에대한영향을최소화하면서, (입사빔(IB)의궤적과는상이한궤적을따를수 있는) 샘플상으로의전자기방사선의빔의집속을달성한다.
Abstract translation: 一种反射光学系统，其优选地需要存在具有光束反射表面的凸面镜和凹面镜，其应用实现将电磁辐射束聚焦到样品上（其可以沿着不同于 输入光束），基于调整的入射角和来自各种反射镜的反射，对输入光束偏振态的偏振状态的影响最小化。
-
公开(公告)号：KR1020160116019A
公开(公告)日：2016-10-06
申请号：KR1020167026238
申请日：2010-09-21
Applicant: 보로텍 리미티드
Inventor： 보로비트치크슬로모
CPC classification number: G01J4/04 , G01C17/34 , G01C21/02 , G01J2004/005 , G01J4/00
Abstract: 천체의위치판정에사용하기위한방법으로서, 제1 편광방향을갖는필터셀 및상기제1 편광방향과상이한제2 편광방향을갖는필터셀을포함하는적어도두 개의편광필터셀 어레이를통과하도록주변광을지향하는단계; 적어도두 개의광 센서엘리먼트를포함하는광 센서유닛에의하여상기제1 및제2 편광방향의상기적어도두 개의필터셀을통과하는광 성분을탐지하고, 상기탐지된광 성분의강도에있어서의차이를탐지하여상기주변광의편광패턴을나타내는탐지데이터를산출하는단계; 및상기편광패턴을나타내는데이터를프로세싱하고, 상기천체의방위각및 고도중 적어도하나를확인하는단계를포함하는천체의위치판정에사용하기위한방법이개시된다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
1611
records
(took 0.03 seconds)
