公开(公告)号：WO2012047071A2

公开(公告)日：2012-04-12

申请号：PCT/KR2011007473

申请日：2011-10-10

Applicant: KOREA ADVANCED INST SCI & TECH ,  LEE KEON JAE ,  PARK KWI IL ,  KOO MIN ,  HWANG GEON TAE

Inventor： LEE KEON JAE ,  PARK KWI IL ,  KOO MIN ,  HWANG GEON TAE

IPC: H02N2/18 ,  H01L41/312

CPC classification number: H02N2/186 ,  B81B2201/032 ,  B81C1/00357 ,  B81C2201/0194 ,  H01L41/312

Abstract: Provided are a method for manufacturing a flexible nanogenerator and a flexible nanogenerator manufactured thereby. The method for manufacturing the flexible nanogenerator of the present invention includes the steps of: laminating a piezoelectric element layer having a piezoelectric material layer on a sacrificial substrate; crystallizing the piezoelectric element layer by thermally processing the piezoelectric element layer at a high temperature; separating unit piezoelectric elements from the sacrificial substrate by removing the sacrificial substrate; and transferring the separated unit piezoelectric elements onto a flexible substrate. The method for manufacturing the flexible nanogenerator and the flexible nanogenerator manufactured thereby of the present invention can continuously produce electric power from the movement of a human body and the like by producing electric power according to the bending of the substrate.

Abstract translation: 提供了一种制造柔性纳米发电机的方法和由此制造的柔性纳米发电机。 本发明的柔性纳米发电体的制造方法包括：在牺牲基板上层叠具有压电体层的压电元件层的工序; 通过在高温下对压电元件层进行热处理来使压电元件层结晶化; 通过去除牺牲衬底将单元压电元件与牺牲衬底分离; 并将分离的单元压电元件转移到柔性基板上。 根据本发明制造的柔性纳米发电机及其制造的柔性纳米发电机的方法可以通过根据基板的弯曲产生电力而从人体的运动等连续地产生电力。

公开(公告)号：WO2011153259A3

公开(公告)日：2012-04-12

申请号：PCT/US2011038786

申请日：2011-06-01

Applicant: UNIV FLORIDA ,  PAL SAGNIK ,  XIE HUIKAI ,  ZAWOY KARL

Inventor： PAL SAGNIK ,  XIE HUIKAI ,  ZAWOY KARL

IPC: B81B7/02 ,  B81B3/00

CPC classification number: F03G7/065 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/032 ,  G02B26/0858 ,  H01L41/094 ,  H02N1/00

Abstract: A curved multimorph actuator is provided composed of a plurality of materials, each material exhibiting different deformations in response to a stimulus, such as heat. Application of different stimuli causes the actuator to bend and/or twist. In an embodiment, the actuator is capable of rotating an object about its center without significantly shifting the center in one or more dimensions. In a further embodiment, the actuator can be used to rotate an object about a first axis and a second axis, wherein the first axis and the second axis are mutually perpendicular. In an embodiment, rotation about the first axis and the second axis are achieved in combination. In another embodiment, rotation about the first axis is produced in response to a first stimulus and rotation about the second axis is produced in response to a second stimulus.

Abstract translation: 提供由多种材料组成的弯曲多压电致动器，每种材料响应于诸如热的刺激而呈现不同的变形。 不同刺激的应用使致动器弯曲和/或扭曲。 在一个实施例中，致动器能够围绕其中心旋转物体，而不会在一个或多个维度上显着地偏移中心。 在另一实施例中，致动器可用于围绕第一轴线和第二轴线旋转物体，其中第一轴线和第二轴线相互垂直。 在一个实施例中，组合地实现围绕第一轴线和第二轴线的旋转。 在另一个实施例中，响应于第一刺激而产生围绕第一轴的旋转，响应于第二刺激而产生围绕第二轴的旋转。

公开(公告)号：WO2011132636A1

公开(公告)日：2011-10-27

申请号：PCT/JP2011/059521

申请日：2011-04-18

Applicant: パナソニック電工株式会社 ,  小川 純矢 ,  山内 規裕 ,  松嶋 朝明 ,  相澤 浩一

Inventor： 小川　純矢 ,  山内　規裕 ,  松嶋　朝明 ,  相澤　浩一

IPC: H01L41/113 ,  B81B7/02 ,  G01J1/02 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H01L41/24 ,  G01P15/09

CPC classification number: H01L41/1136 ,  B81B2201/032 ,  B81C1/00658 ,  G01J5/04 ,  G01J5/046 ,  G01J5/34 ,  G01P15/09 ,  G01P2015/0828 ,  H01L37/02 ,  H01L41/0815 ,  H02N2/186

Abstract: 　強誘電体デバイスは、シリコン基板（第１の基板）１０の上記一表面側に形成された下部電極（第１の電極）１４ａと、下部電極１４ａにおける第１の基板１０側とは反対側に形成された強誘電体膜１４ｂと、強誘電体膜１４ｂにおける下部電極１４ａ側とは反対側に形成された上部電極（第２の電極）１４ｃとを備え、強誘電体膜１４ｂが、シリコンとは格子定数差のある強誘電体材料により形成されている。下部電極１４ａの直下に、シリコンに比べて強誘電体膜１４ｂとの格子整合性の良い材料からなる緩衝層１４ｄが設けられ、第１の基板１０に、緩衝層１４ｄにおける下部電極１４ａ側とは反対の表面を露出させる空洞１０ａが形成されている。

Abstract translation: 公开了一种铁电体装置，其特征在于，包括：在硅衬底（第一衬底）（10）的一个表面侧上形成的下电极（第一电极）（14a） 形成在与第一基板（10）侧相反的一侧的下部电极（14a）上的铁电体膜（14b） 以及形成在与下电极（14a）相反侧的强电介质膜（14b）上的上电极（第二电极）（14c）。 铁电体膜（14b）由与硅的晶格常数差的铁电体形成。 由下述电极的正下方设置由与铁电体层（14b）的晶格匹配比硅更好的材料制成的减震层（14d），在该下部电极（14a）的下方露出冲击吸收层 在所述第一基板（10）中形成与所述下电极（14a）侧相对的一侧（14d）。

公开(公告)号：WO2010061363A2

公开(公告)日：2010-06-03

申请号：PCT/IB2009056019

申请日：2009-11-25

Applicant: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC ,  COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE ,  LIU LIANJUN ,  PACHECO SERGIO ,  PERRUCHOT FRANCOIS ,  DEFAY EMMANUEL ,  REY PATRICE

Inventor： LIU LIANJUN ,  PACHECO SERGIO ,  PERRUCHOT FRANCOIS ,  DEFAY EMMANUEL ,  REY PATRICE

IPC: B81B3/00 ,  H01L41/09

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B2201/032 ,  H01L41/0933 ,  H01L41/094

Abstract: A micro or nano electromechanical transducer device (200) formed on a semiconductor substrate comprises a movable structure (203) which is arranged to be movable in response to actuation of an actuating structure. The movable structure comprises a mechanical structure having at least one mechanical layer (204) having a first thermal response characteristic, at least one layer (202) of the actuating structure having a second thermal response characteristic different to the first thermal response characteristic, and a thermal compensation structure having at least one thermal compensation layer (206). The thermal compensation layer is different to the at least one layer (202) and is arranged to compensate a thermal effect produced by the mechanical layer and the at least one layer of the actuating structure such that the movement of the movable structure is substantially independent of variations in temperature.

Abstract translation: 形成在半导体衬底上的微型或纳米机电换能器装置（200）包括可移动结构（203），可移动结构（203）被布置成响应于致动结构的致动而可移动。 可移动结构包括具有至少一个具有第一热响应特性的机械层（204）的机械结构，所述致动结构的至少一层（202）具有与第一热响应特性不同的第二热响应特性，以及 热补偿结构具有至少一个热补偿层（206）。 热补偿层与至少一个层（202）不同，并且被布置成补偿由机械层和致动结构的至少一个层产生的热效应，使得可移动结构的运动基本上独立于 温度变化。

公开(公告)号：WO2009123111A1

公开(公告)日：2009-10-08

申请号：PCT/JP2009/056493

申请日：2009-03-30

Applicant: パナソニック電工株式会社 ,  吉原 孝明 ,  早崎 嘉城 ,  白井 健雄 ,  松嶋 朝明 ,  河田 裕志 ,  萩原 洋右

Inventor： 吉原 孝明 ,  早崎 嘉城 ,  白井 健雄 ,  松嶋 朝明 ,  河田 裕志 ,  萩原 洋右

IPC: H01H59/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H01H49/00 ,  H01H57/00

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B2201/032 ,  H01H59/0009 ,  H01H2057/006 ,  Y10T29/42

Abstract: 　本発明のＭＥＭＳスイッチは、固定接点を有する信号線が形成された基板と、可動接点を備えた可動板と、可動板を支持する可撓性の支持体と、可動接点を固定接点に接触させるように構成された静電アクチュエータ及び圧電アクチュエータを備える。特徴部分は、可動板は、長さと幅とを有しており、長さ方向の中央に可動接点が備えられ、長さ方向の両側に形成された可動電極保持部に静電可動電極板が配置されている。支持体は、可動板の幅方向の両側の外方で各電極保持部の外方に配置された４つの可撓性の帯片からなる。各帯片は、可動板の長さ方向に沿って配置されており、一端で可動板に結合されており、他端で基板に保持されている。圧電素子は、可動板の幅方向の外方で各帯片の上面に配置されており、圧電アクチュエータが発生する応力が各帯片と前記可動板との結合箇所に作用するように構成されている。

Abstract translation: MEM开关包括其上形成有固定触点的信号线的基板，配备有可移动触点的可移动板，用于支撑可移动板的柔性支撑件，以及静电致动器和布置成允许可动触点接触的压电致动器 固定接点。 MEM开关的特征在于，可移动板具有长度和宽度，在其长度方向上的中心设置有可动触点，并且具有布置在形成在其相对侧上的可动电极保持部分的静电可动电极板 在长度方向。 支撑体由四个柔性带组成，每个柔性带布置在每个电极保持部分的外侧上，并且在宽度方向上与可移动板的相对侧的外侧。 条带沿着可移动板的长度方向布置，并且每个条具有与可移动板耦合的一端，另一端固定在基板上。 压电元件布置在可移动板的宽度方向的外侧上的每个条带的上表面上，并且构成为使得由压电致动器产生的应力作用在每个条带和可移动板的耦合点上。

公开(公告)号：WO2009079460A1

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：PCT/US2008/086844

申请日：2008-12-15

Applicant: UNIVERSITY OF FLORIDA RESEARCH FOUNDATION, INC. ,  WU, Lei ,  XIE, Huikai

Inventor： WU, Lei ,  XIE, Huikai

IPC: B81B7/00 ,  B81B3/00 ,  F03G7/06 ,  F03C5/00

CPC classification number: B81B3/0024 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/053

Abstract: A microactuator for displacing a platform vertically with respect to a substrate includes a first rigid frame, a first flexible bimorph beam connecting the first frame to the substrate, a second rigid frame, a second flexible bimorph beam connecting the second frame to the first frame, and a third flexible bimorph beam connecting a platform to the second frame. Activation of the first, second, and third flexible bimorph beams allows vertical displacement of the platform with respect to the substrate, with negligible lateral shift. A microactuator assembly includes a substrate, a plurality of first rigid frames, a plurality of first flexible bimorph beams, a plurality of second rigid frames, a plurality of second flexible bimorph beams, a platform, and a plurality of third flexible bimorph beams. Activation of the first, second, and third bimorph beams allows vertical displacement of the platform with respect to the substrate, with negligible lateral shift. A further embodiment with four identical such microactuators oriented at four sides of the platform, can achieve ID or 2D angular scanning of the mirror plate by the activation of 1 or 2 adjacent microactuators.

Abstract translation: 用于使平台相对于衬底垂直移位的微致动器包括第一刚性框架，将第一框架连接到衬底的第一柔性双压电晶片，第二刚性框架，将第二框架连接到第一框架的第二柔性双压电晶片梁， 以及将平台连接到第二框架的第三柔性双压电晶片。 第一，第二和第三柔性双晶片束的激活允许平台相对于衬底的垂直位移，具有可忽略的横向偏移。 微致动器组件包括基板，多个第一刚性框架，多个第一柔性双压电晶片梁，多个第二刚性框架，多个第二柔性双压电晶片梁，平台和多个第三柔性双压电晶片梁。 第一，第二和第三双晶片束的激活允许平台相对于衬底的垂直位移，具有可忽略的横向偏移。 具有定位在平台的四个侧面的四个相同的这种微致动器的另一个实施例可以通过激活1个或2个相邻的微型致动器来实现镜板的ID或2D角度扫描。

公开(公告)号：WO2008038339A1

公开(公告)日：2008-04-03

申请号：PCT/JP2006/319058

申请日：2006-09-26

Applicant: 株式会社アドバンテスト ,  西浦 孝英

Inventor： 西浦 孝英

IPC: H01H61/00 ,  B81B3/00 ,  H01H37/52

CPC classification number: B81B3/0081 ,  B81B2201/014 ,  B81B2201/016 ,  B81B2201/032 ,  H01H2061/006

Abstract: 　バイモルフスイッチ１Ａは、固定接点１１が設けられた基板１０と、可動接点４４が先端４３に設けられたバイモルフ梁２０Ａと、を備え、バイモルフ梁２０Ａは、Ｓｉ層３０及び第１のＣｕ層４１並びにこれら２つの層３０、４１の間に介在している薄膜ヒータ４２を有する第１のバイモルフ部４０と、Ｓｉ層３０及び第２のＣｕ層５１を有し、これら２つの層３０、５１の間にヒータが介在していない第２のバイモルフ部５０と、Ｓｉ層３０及び第３のＣｕ層６１を有し、これら２つの層３０、６１の間にヒータが介在していない第３のバイモルフ部６０と、を備えている。

Abstract translation: 包含装配有固定触点（11）的基板（10）和在其远端（43）上配备有行进触点（44））的双压电晶片（20A）的双压电晶片开关（1A），其中双压电晶片（20A）包括第一双晶片部分 40），设置有Si层（30）和第一Cu层（41），并插入在两层（30,41），薄膜加热器（42）之间; 具有Si层（30）的第二双晶片部分（50）和在两层（30,51）之间没有加热器的第二Cu层（51）; 和具有Si层（30）的第三双晶片部分（60）和在两层（30,61）之间没有加热器的第三Cu层（61）。

公开(公告)号：WO2007131796A2

公开(公告)日：2007-11-22

申请号：PCT/EP2007/004394

申请日：2007-05-16

Applicant: MICROGAN GMBH ,  KUNZE, Mike ,  DAUMILLER, Ingo

Inventor： KUNZE, Mike ,  DAUMILLER, Ingo

IPC: H01L41/09 ,  F03G7/06 ,  H01H57/00 ,  H01G5/16 ,  H01F21/04 ,  F04B43/04

CPC classification number: F04B43/046 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/014 ,  B81B2201/016 ,  B81B2201/032 ,  H01F21/04 ,  H01F2007/068 ,  H01G5/18 ,  H01L41/047 ,  H01L41/0933 ,  H01L41/094 ,  H01L41/0973

Abstract: Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Halbleiteraktor mit einer Substratbasis (1), einer mit der Substratbasis verbundenen, zumindest teilweise in Bezug auf die Substratbasis auslenkbaren Biegestruktur (2), welche Halbleiterverbindungen auf Basis von Nitriden von Hauptgruppe-III-Elementen aufweist, und mindestens zwei elektrischen Zuleitungskontakten (3a, 3b) zur Einprägung eines elektrischen Stromes in oder zum Anlegung einer elektrischen Spannung an die Biegestruktur, wobei mindestens zwei der Zuleitungskontakte beabstandet voneinander jeweils an der Biegestruktur angeordnet und/oder in diese integriert sind.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有衬底基座的半导体致动器（1），连接在一个与基片的基础上，至少部分地相对于所述基片基体弯曲结构（2），其具有基于主III族元素的氮化物半导体的化合物偏转，和至少 两个电引线接触（3A，3B），其设置用于施加电流到或将电压施加到所述弯曲结构，其中至少两个在每种情况下彼此间隔在弯曲结构和/或集成在其中的供电接触的。

公开(公告)号：WO2006091791A3

公开(公告)日：2006-11-23

申请号：PCT/US2006006552

申请日：2006-02-23

Applicant: PIXTRONIX INC ,  HAGOOD NESBITT W ,  STEYN JASPER LODEWYK

Inventor： HAGOOD NESBITT W ,  STEYN JASPER LODEWYK

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  G02B26/04 ,  G02B26/08 ,  G09G3/22

CPC classification number: G09G3/3433 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/051 ,  G02B26/02 ,  G02B26/0841 ,  G09G2300/0809 ,  G09G2310/0262

Abstract: The invention relates to MEMS-based display devices. In particular, the display devices may include actuators having two mechanically compliant electrodes. In addition, bi-stable shutter assemblies and means for supporting shutters in shutter assemblies are disclosed inclusion in the display devices.

Abstract translation: 本发明涉及基于MEMS的显示装置。 特别地，显示装置可以包括具有两个机械柔性电极的致动器。 此外，公开了显示装置中的双稳态快门组件和用于支撑快门组件中的快门的装置。

公开(公告)号：WO2006091791A9

公开(公告)日：2006-10-12

申请号：PCT/US2006006552

申请日：2006-02-23

Applicant: PIXTRONIX INC ,  HAGOOD NESBITT W ,  STEYN JASPER LODEWYK

Inventor： HAGOOD NESBITT W ,  STEYN JASPER LODEWYK

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  G02B26/04 ,  G02B26/08 ,  G09G3/22

CPC classification number: G09G3/3433 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/051 ,  G02B26/02 ,  G02B26/0841 ,  G09G2300/0809 ,  G09G2310/0262

Abstract: The invention relates to MEMS-based display devices. In particular, the display devices may include actuators having two mechanically compliant electrodes. In addition, bi-stable shutter assemblies and means for supporting shutters in shutter assemblies are disclosed inclusion in the display devices.

Abstract translation: 本发明涉及基于MEMS的显示设备。 特别地，显示装置可以包括具有两个机械适应电极的致动器。 此外，双稳态快门组件和用于在快门组件中支撑快门的装置被公开在显示装置中。