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公开(公告)号:CA2506775A1
公开(公告)日:2004-06-03
申请号:CA2506775
申请日:2003-11-18
Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL
Inventor: MONTANYA SILVESTRE JOSEP
IPC: G01C19/56 , G01P15/093 , G01P15/13 , H01H35/02 , H01H35/14 , H01H35/24 , H01H36/00 , H01H59/00 , H01Q3/12 , H01Q21/06 , G02F1/21
Abstract: The invention relates to a miniature electro-optic device comprising: a firs t zone which is disposed face-to-face with a second zone; a first capacitor plate; a second capacitor plate which is disposed in the second zone and whi ch is smaller than or equal to the first plate; an intermediate space between said two zones; a conductive element which is disposed in the aforementioned intermediate space, which is independent of the lateral walls and which move s therethrough as a function of voltages present between the two plates; two light input/output points belonging to an optical circuit; and a stop elemen t. According to the invention, when in contact with the above-mentioned stop element, the conductive element alters the light passage state between the input/output points. The inventive device can be used as an accelerometer, a n inclinometer, a Coriolis force detector, a microphone, for acoustic applications, for the production of an optical switching matrix, for the projection of images, and as a pressure, flow, temperature, gas sensor, etc.
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公开(公告)号:ES2342872A1
公开(公告)日:2010-07-15
申请号:ES200901282
申请日:2009-05-20
Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL
Inventor: MONTANYA SILVESTRE JOSEP
Abstract: Chip que comprende un MEMS dispuesto en un circuito integrado y procedimiento de fabricación correspondiente. Clip que comprende un circuito integrado, con: A) unas capas que configuran unos elementos eléctricos y/o electrónicos sobre un substrato de material semiconductor, B) una estructura de capas de interconexión, con una pluralidad de capas de material conductor (7, 9) separadas por unas capas de material dieléctrico (13), C) por lo menos un MEMS dispuesto en la estructura de capas de interconexión. El MEMS comprende un espacio hueco (15) con una parte del mismo dispuesta debajo de una lámina de material conductor perteneciente a una de las capas de material conductor. El procedimiento de fabricación comprende una etapa de interconexión, en la que se genera la estructura de capas de interconexión, y un ataque posterior con HF gaseoso durante el cual se genera el espacio hueco (15) del MEMS.
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公开(公告)号:ES2246693B1
公开(公告)日:2006-11-01
申请号:ES200400945
申请日:2004-04-19
Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL
Inventor: MONTANYA SILVESTRE JOSEP
Abstract: Circuito integrado con matriz de conexión analógica. El circuito integrado comprende una matriz de conexión analógica que presenta una pluralidad de contactos analógicos de e/s (2). Los contactos analógicos de e/s (2) presentan una pluralidad de interconexiones (4) eléctricas entre sí a través de unos relés miniaturizados, donde cada uno de los relés miniaturizados comprende un elemento conductor (7) dispuesto en un espacio intermedio (25), dicho elemento conductor (7) siendo apto para efectuar un movimiento entre una primera posición y una segunda posición en función de una señal electromagnética de control y dicho elemento conductor (7) abriendo o cerrando un circuito eléctrico en función de si está en dicha primera posición o dicha segunda posición.
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公开(公告)号:DE60304355T2
公开(公告)日:2006-10-19
申请号:DE60304355
申请日:2003-11-18
Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL
Inventor: MONTANYA SILVESTRE JOSEP
IPC: G02F1/21 , G01C19/56 , G01P15/093 , G01P15/13 , H01H35/02 , H01H35/14 , H01H35/24 , H01H36/00 , H01H59/00 , H01Q3/12 , H01Q21/06
Abstract: A conductor (7) which is provided between two zones is capable of moving freely through the intermediate space (25) based on the voltage applied between the capacitive plates (3,9). The conductor closes the electric circuit by butting against the contact points.
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公开(公告)号:DE60304355D1
公开(公告)日:2006-05-18
申请号:DE60304355
申请日:2003-11-18
Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL
Inventor: MONTANYA SILVESTRE JOSEP
IPC: G02F1/21 , G01C19/56 , G01P15/093 , G01P15/13 , H01H35/02 , H01H35/14 , H01H35/24 , H01H36/00 , H01H59/00 , H01Q3/12 , H01Q21/06
Abstract: A conductor (7) which is provided between two zones is capable of moving freely through the intermediate space (25) based on the voltage applied between the capacitive plates (3,9). The conductor closes the electric circuit by butting against the contact points.
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公开(公告)号:CA2564473A1
公开(公告)日:2005-11-24
申请号:CA2564473
申请日:2005-05-09
Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL
Inventor: MONTANYA SILVESTRE JOSEP
Abstract: Regulator circuit and corresponding uses. The regulator circuit comprises at least two input terminals, one or several groups of reactances with at least two reac~tances, at least two output terminals, a plurality of interconnections suitable for con~ necting said reactances with respect to o ne another and suitable for connecting at least one of the reactances with the input and output terminals. The interconnec~tions comprise miniaturised rela ys that allow exchanging a series connection of said reactances for a parallel connection and vice versa. The circuit can comprise, addi~tionally, voltage monitoring means, power supply modules, input and output protec~ tion means, reference signal modules, control modules, etc. The regulator circuit has multiple applications such as charge pump, power supply, DC/DC converter, DC/AC converter, AC/DC converter, D/A converter, AID converter, power amplifier, etc.
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公开(公告)号:CA2506710A1
公开(公告)日:2004-06-03
申请号:CA2506710
申请日:2003-11-18
Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL
Inventor: MONTANYA SILVESTRE JOSEP
IPC: G01C19/56 , G01P15/093 , G01P15/13 , H01H35/02 , H01H35/14 , H01H35/24 , H01H36/00 , H01H59/00 , H01Q3/12 , H01Q21/06 , B81B5/00 , H01H45/00
Abstract: The invention relates to a miniature relay comprising: a first zone which is disposed face-to-face with a second zone; a first capacitor plate (3); a second capacitor plate (9) which is disposed in the second zone and which is smaller than or equal to the first plate; an intermediate space (25) between said two zones; a conductive element (7) which is disposed in the aforementioned intermediate space (25), which is mechanically independent of the adjacent walls and which can move freely through said intermediate space (25) as a function of voltages present between the plates; and contact point s (15, 17) belonging to an electric circuit. According to the invention, the above-mentioned conductive element (7) closes the electric circuit by buttin g against the contact points (15, 17). The inventive relays can be used, for example, as an accelerometer, an airbag accelerometer, an inclinometer, a Coriolis force detector, a microphone, for acoustic applications, and as a pressure, flow, temperature, gas, magnetic field sensor, etc.
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公开(公告)号:ES2288110B1
公开(公告)日:2008-10-16
申请号:ES200600625
申请日:2006-03-13
Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL
Inventor: MONTANYA I SILVESTRE JOSEP , VALLE FRAGA JUAN JOSE
Abstract: Procedimiento de actuación de un dispositivo electroóptico reflector miniaturizado y dispositivo correspondiente. Procedimiento de actuación de un dispositivo MEMS electroóptico reflector que comprende un elemento conductor (7), que es una pieza suelta, mecánicamente independiente, y puede efectuar un desplazamiento a través de un espacio intermedio (5) del dispositivo en función de unos voltajes presentes en unas placas de condensador (15), y una superficie reflectora (19), que refleja un haz de luz incidente y es solidaria al elemento conductor (7), donde el procedimiento comprende la aplicación de unos voltajes a las placas (15) tales que la proyección según un eje central que pasa por el centro de masas del elemento conductor (7) de las placas (15) sometidas a un primer voltaje tiene asimetría central respecto de la proyección de las placas (15) sometidas a un segundo voltaje. Ello provoca que el elemento conductor (7) cambie de orientación.
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公开(公告)号:ES2281294B1
公开(公告)日:2008-09-16
申请号:ES200600607
申请日:2006-03-10
Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL
Inventor: MONTANYA I SILVESTRE JOSEP , VALLE FRAGA JUAN JOSE
Abstract: Dispositivo electroóptico reflector digital miniaturizado. Dispositivo MEMS electroóptico reflector digital que comprende un elemento conductor (7), donde el elemento conductor (7) es una pieza suelta, mecánicamente independiente de su entorno y es apto para efectuar un desplazamiento a través de un espacio intermedio (5) del dispositivo en función de unos voltajes presentes en unas placas de condensador (1, 2, 3), y una superficie reflectora (19), apta para reflejar un haz de luz incidente y solidaria al elemento conductor (7), donde el elemento conductor (7) se mueve en el espacio intermedio (5) hasta apoyarse en unos puntos de apoyo dispuestos de tal manera que obligan al elemento conductor (7) a cambiar de orientación.
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公开(公告)号:DE60320832D1
公开(公告)日:2008-06-19
申请号:DE60320832
申请日:2003-11-18
Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL
Inventor: MONTANYA SILVESTRE JOSEP
IPC: B81B5/00 , G01C19/56 , G01P15/093 , G01P15/13 , H01H35/02 , H01H35/14 , H01H35/24 , H01H36/00 , H01H45/00 , H01H59/00 , H01Q3/12 , H01Q21/06
Abstract: A conductor (7) which is provided between two zones is capable of moving freely through the intermediate space (25) based on the voltage applied between the capacitive plates (3,9). The conductor closes the electric circuit by butting against the contact points.
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