公开(公告)号：WO2010145907A3

公开(公告)日：2011-05-19

申请号：PCT/EP2010056947

申请日：2010-05-20

Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL ,  TAYYIB SABIR ,  LLAMAS MOROTE MARC ANTONIO ,  VALLE FRAGA JUAN JOSE ,  MONTANYA I SILVESTRE JOSEP

Inventor： TAYYIB SABIR ,  LLAMAS MOROTE MARC ANTONIO ,  VALLE FRAGA JUAN JOSE ,  MONTANYA I SILVESTRE JOSEP

IPC: B81C1/00

CPC classification number: H01L28/40 ,  B81C1/00246 ,  B81C2203/0145 ,  B81C2203/0714 ,  B81C2203/0771 ,  H01L21/31116 ,  H01L23/5223 ,  H01L24/05 ,  H01L2924/13091 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/351 ,  H01L2924/00

Abstract: A MEMS integrated circuit including a plurality of layers where a portion includes one or more electronic elements on a semiconductor material substrate. The circuit includes a structure of interconnection layers having a bottom layer of conductor material and a top layer of conductor material where the layers are separated by at least one layer of dielectric material. The bottom layer may be formed above and in contact with an Inter Dielectric Layer. The circuit also includes a hollow space within the structure of interconnection layers and a MEMS device in communication with the structure of interconnection layers.

Abstract translation: 一种MEMS集成电路，包括多个层，其中一部分包括半导体材料基底上的一个或多个电子元件。 电路包括具有导体材料的底层和导体材料的顶层的互连层的结构，其中层被至少一层电介质材料隔开。 底层可以形成在介电层之上并与之互相接触。 该电路还包括互连层结构内的中空空间和与互连层结构通信的MEMS器件。

公开(公告)号：SG176093A1

公开(公告)日：2011-12-29

申请号：SG2011084241

申请日：2010-05-20

Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL

Inventor： TAYYIB SABIR ,  LLAMAS MOROTE MARC ANTONIO ,  VALLE FRAGA JUAN JOSE ,  MONTANYA I SILVESTRE JOSEP

Abstract: A MEMS integrated circuit including a plurality of layers where a portion includes one or more electronic elements on a semiconductor material substrate. The circuit includes a structure of interconnection layers having a bottom layer of conductor material and a top layer of conductor material where the layers are separated by at least one layer of dielectric material. The bottom layer may be formed above and in contact with an Inter Dielectric Layer. The circuit also includes a hollow space within the structure of interconnection layers and a MEMS device in communication with the structure of interconnection layers.

公开(公告)号：ES2288110B1

公开(公告)日：2008-10-16

申请号：ES200600625

申请日：2006-03-13

Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL

Inventor： MONTANYA I SILVESTRE JOSEP ,  VALLE FRAGA JUAN JOSE

IPC: G02F1/21 ,  B81B5/00

Abstract: Procedimiento de actuación de un dispositivo electroóptico reflector miniaturizado y dispositivo correspondiente. Procedimiento de actuación de un dispositivo MEMS electroóptico reflector que comprende un elemento conductor (7), que es una pieza suelta, mecánicamente independiente, y puede efectuar un desplazamiento a través de un espacio intermedio (5) del dispositivo en función de unos voltajes presentes en unas placas de condensador (15), y una superficie reflectora (19), que refleja un haz de luz incidente y es solidaria al elemento conductor (7), donde el procedimiento comprende la aplicación de unos voltajes a las placas (15) tales que la proyección según un eje central que pasa por el centro de masas del elemento conductor (7) de las placas (15) sometidas a un primer voltaje tiene asimetría central respecto de la proyección de las placas (15) sometidas a un segundo voltaje. Ello provoca que el elemento conductor (7) cambie de orientación.

公开(公告)号：ES2281294B1

公开(公告)日：2008-09-16

申请号：ES200600607

申请日：2006-03-10

Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL

Inventor： MONTANYA I SILVESTRE JOSEP ,  VALLE FRAGA JUAN JOSE

IPC: G02F1/21 ,  B81B5/00

Abstract: Dispositivo electroóptico reflector digital miniaturizado. Dispositivo MEMS electroóptico reflector digital que comprende un elemento conductor (7), donde el elemento conductor (7) es una pieza suelta, mecánicamente independiente de su entorno y es apto para efectuar un desplazamiento a través de un espacio intermedio (5) del dispositivo en función de unos voltajes presentes en unas placas de condensador (1, 2, 3), y una superficie reflectora (19), apta para reflejar un haz de luz incidente y solidaria al elemento conductor (7), donde el elemento conductor (7) se mueve en el espacio intermedio (5) hasta apoyarse en unos puntos de apoyo dispuestos de tal manera que obligan al elemento conductor (7) a cambiar de orientación.

公开(公告)号：ES2239549B1

公开(公告)日：2006-06-16

申请号：ES200401275

申请日：2004-05-18

Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL

Inventor： MONTANYA I SILVESTRE JOSEP

IPC: H01Q3/12 ,  G01C19/56 ,  G01P15/093 ,  G01P15/13 ,  H01H35/02 ,  H01H35/14 ,  H01H35/24 ,  H01H36/00 ,  H01H59/00 ,  H01Q21/06

Abstract: Dispositivo emisor y/o receptor de señales electromagnéticas y circuito integrado correspondiente. El dispositivo emisor y/o receptor de señales electromagnéticas define un ancho de banda mínimo operativo y comprende uno o varios grupos de antenas, que comprenden por lo menos una antena, y que generan una señal de salida correspondiente a la señal de salida generada por una antena hipotética igual que esta antena, cuando la antena hipotética esté realizando un movimiento periódico, preferentemente una rotación o combinación de rotaciones. El movimiento periódico debe tener una frecuencia superior al ancho de banda mínimo operativo. De esta manera se puede afectar la directividad de las antenas alterando su diagrama de radiación, pudiéndose obtener dispositivos de elevada directividad. El movimiento periódico se puede sustituir por un conjunto de antenas fijas orientadas en el espacio y conectadas secuencialmente mediante relés miniaturizados.

公开(公告)号：ES2288111B1

公开(公告)日：2008-10-16

申请号：ES200600647

申请日：2006-03-14

Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL

Inventor： MONTANYA I SILVESTRE JOSEP ,  VALLE FRAGA JUAN JOSE

IPC: G02F1/21 ,  B81B5/00

Abstract: Conjunto electroóptico reflector miniaturizado para el procesado de una señal luminosa y procedimiento correspondiente. Conjunto MEMS electroóptico reflector que comprende un dispositivo con un elemento conductor (7), donde el elemento conductor (7) es una pieza suelta, mecánicamente independiente de su entorno y es apto para efectuar un desplazamiento a través de un espacio intermedio (5) del dispositivo en función de unos voltajes presentes en unas placas de condensador (15), y una superficie reflectora (19), apta para reflejar un haz de luz incidente y solidaria al elemento conductor (7), donde el elemento conductor (7) se mueve en el espacio intermedio (5) una distancia tal que el camino óptico del haz de luz reflejado se modifica en un valor equivalente a la mitad de su longitud de onda. Ello permite provocar interferencias constructivas o destructivas en función de la posición del elemento conductor (7).

公开(公告)号：ES2259570A1

公开(公告)日：2006-10-01

申请号：ES200502916

申请日：2005-11-25

Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL

Inventor： MONTANYA I SILVESTRE JOSEP

IPC: B81B7/02 ,  H01H1/00 ,  H01H59/00

Abstract: Dispositivo para la conexión de dos puntos de un circuito eléctrico. El dispositivo se comporta externamente como un único relé, pero comprende un primer relé MEMS y por lo menos un segundo relé MEMS. Cada relé tiene cuatro placas de condensador (Aa, Ac, Ab, Ad) y un elemento conductor (Af) alojado en el interior del relé y que es una pieza suelta capaz de moverse, abriendo y cerrando un circuito, al aplicar unas determinadas señales de control a las placas de condensador. El segundo relé puede estar conectado a una de las placas del primer relé, para poder garantizar un estado de alta impedancia en la placa, o puede estar conectado en serie o en paralelo con el primer relé pero controlado con unas señales de control diferentes, de manera que se amplia el rango de operación del primer relé y, por tanto, del dispositivo en su conjunto.

公开(公告)号：ES2288111A1

公开(公告)日：2007-12-16

申请号：ES200600647

申请日：2006-03-14

Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL

Inventor： MONTANYA I SILVESTRE JOSEP ,  VALLE FRAGA JUAN JOSE

IPC: G02F1/21 ,  B81B5/00

Abstract: Conjunto electroóptico reflector miniaturizado para el procesado de una señal luminosa y procedimiento correspondiente. Conjunto MEMS electroóptico reflector que comprende un dispositivo con un elemento conductor (7), donde el elemento conductor (7) es una pieza suelta, mecánicamente independiente de su entorno y es apto para efectuar un desplazamiento a través de un espacio intermedio (5) del dispositivo en función de unos voltajes presentes en unas placas de condensador (15), y una superficie reflectora (19), apta para reflejar un haz de luz incidente y solidaria al elemento conductor (7), donde el elemento conductor (7) se mueve en el espacio intermedio (5) una distancia tal que el camino óptico del haz de luz reflejado se modifica en un valor equivalente a la mitad de su longitud de onda. Ello permite provocar interferencias constructivas o destructivas en función de la posición del elemento conductor (7).

公开(公告)号：ES2259570B1

公开(公告)日：2007-10-01

申请号：ES200502916

申请日：2005-11-25

Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL

Inventor： MONTANYA I SILVESTRE JOSEP

IPC: B81B7/02 ,  H01H1/00 ,  H01H59/00

Abstract: Dispositivo para la conexión de dos puntos de un circuito eléctrico. El dispositivo se comporta externamente como un único relé, pero comprende un primer relé MEMS y por lo menos un segundo relé MEMS. Cada relé tiene cuatro placas de condensador (Aa, Ac, Ab, Ad) y un elemento conductor (Af) alojado en el interior del relé y que es una pieza suelta capaz de moverse, abriendo y cerrando un circuito, al aplicar unas determinadas señales de control a las placas de condensador. El segundo relé puede estar conectado a una de las placas del primer relé, para poder garantizar un estado de alta impedancia en la placa, o puede estar conectado en serie o en paralelo con el primer relé pero controlado con unas señales de control diferentes, de manera que se amplia el rango de operación del primer relé y, por tanto, del dispositivo en su conjunto.

公开(公告)号：ES2239549A1

公开(公告)日：2005-09-16

申请号：ES200401275

申请日：2004-05-18

Applicant: BAOLAB MICROSYSTEMS SL

Inventor： MONTANYA I SILVESTRE JOSEP

IPC: G01C19/56 ,  G01P15/093 ,  G01P15/13 ,  H01H35/02 ,  H01H35/14 ,  H01H35/24 ,  H01H36/00 ,  H01H59/00 ,  H01Q3/12 ,  H01Q21/06

Abstract: Dispositivo emisor y/o receptor de señales electromagnéticas y circuito integrado correspondiente. El dispositivo emisor y/o receptor de señales electromagnéticas define un ancho de banda mínimo operativo y comprende uno o varios grupos de antenas, que comprenden por lo menos una antena, y que generan una señal de salida correspondiente a la señal de salida generada por una antena hipotética igual que esta antena, cuando la antena hipotética esté realizando un movimiento periódico, preferentemente una rotación o combinación de rotaciones. El movimiento periódico debe tener una frecuencia superior al ancho de banda mínimo operativo. De esta manera se puede afectar la directividad de las antenas alterando su diagrama de radiación, pudiéndose obtener dispositivos de elevada directividad. El movimiento periódico se puede sustituir por un conjunto de antenas fijas orientadas en el espacio y conectadas secuencialmente mediante relés miniaturizados.