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公开(公告)号：KR100867302B1
公开(公告)日：2008-11-06
申请号：KR1020080034784
申请日：2008-04-15
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
IPC: G03H5/00
Abstract: A 3D measurement device using digital holography is provided to complement a demerit in measurement speed the existing on-axis method has and a demerit in lateral resolution, thereby satisfying the measurement speed and the lateral resolution. An optical source unit(10) emits light toward a light splitting unit(20). The optical source unit comprises a light source(11), a fixing member(13) and a light source polarizing plate(12). The light source emits laser light of short wavelength. A He-Ne laser is used as a light source. If laser light having short wavelength is emitted, another type laser can be applied.
Abstract translation: 提供了使用数字全息术的3D测量装置，以补偿现有的轴上方法具有的测量速度和横向分辨率的缺点，从而满足测量速度和横向分辨率。 光源单元（10）向分光单元（20）发射光。 光源单元包括光源（11），固定构件（13）和光源偏振板（12）。 光源发出短波长的激光。 氦氖激光器用作光源。 如果发射具有短波长的激光，则可以应用另一种类型的激光。
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公开(公告)号：KR1020060087714A
公开(公告)日：2006-08-03
申请号：KR1020050008523
申请日：2005-01-31
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 두께 및 형상 측정 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 두께 및 형상 측정 시스템은 광을 방출하는 광원과; 기준 미러와, 상기 광원으로부터의 광을 측정 대상물 및 상기 기준 미러로 분리 조사하는 광 분할부와, 상기 기준 미러와 상기 광 분할부 사이에 배치되어 다 파장 범위의 광을 투과하는 간섭 필터를 갖는 광 간섭모듈과; 상기 다 파장 범위를 포함하는 파장 분산 범위를 가지며, 상기 측정 대상물로부터 반사되는 광과 상기 기준 미러로부터 반사되는 광을 분광하는 분광부와; 상기 분광부에 의해 분광된 광이 결상되는 결상부와; 상기 결상부에 결상된 광의 파장 범위 중 상기 다 파장 범위를 제외한 파장 범위의 광에 기초하여 상기 측정 대상물의 두께에 대한 정보를 산출하고, 상기 산출된 두께에 대한 정보와 상기 결상부에 결상된 광 중 상기 다 파장 범위 내의 광에 기초하여 상기 측정 대상물의 형상에 대한 정보를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 두께 및 형상을 측정하는데 소요되는 시간을 감소시키면서도 제조 비용을 절감할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种厚度和形状测量系统。 根据本发明的厚度和形状测量系统包括：发光的光源; 参考反射镜，设置在光学分区之间，用于将光照射到测量对象物，并从所述光源，参考反射镜和光学分割的光被参考反射镜分离的与干涉滤光器用于发射光的波长范围 干扰模块; 具有包括多波长范围的波长色散范围的光谱部分，用于分离从测量对象反射的光和从参考镜反射的光的分光镜; 图像形成单元，用于由分光单元形成光束; 基于除了图像上形成的光的波长范围的多波长范围之外的波长范围中的光来计算关于测量对象的厚度的信息，并且关于计算出的厚度和光的信息 以及控制器，用于基于多波长范围中的光来计算关于测量对象的形状的信息。 因此，可以减少测量厚度和形状所需的时间，同时降低制造成本。
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公开(公告)号：KR1020050100830A
公开(公告)日：2005-10-20
申请号：KR1020040026014
申请日：2004-04-16
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/06
Abstract: 본 발명은 두께 및 형상 측정방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 측정방법은 적어도 3 이상의 상호 상이한 파장의 광에 대해 위상 천이 간섭법을 이용하여 위상 데이터를 획득하는 단계와; 상기 위상 데이터를 분석하여 상기 박막의 두께 및 형상을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 측정시간, 측정된 데이터의 량, 측정된 데이터를 분석하기 위한 데이터의 처리시간을 현저히 감소시켜, 실제 반도체 등의 제조 공정에 용이하게 적용할 수 있다.
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公开(公告)号：KR101490359B1
公开(公告)日：2015-02-06
申请号：KR1020130056216
申请日：2013-05-20
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/25
Abstract: 본 발명은 표면 형상 측정 장치에 관한 것으로서, 제1 방향으로 격자 패턴이 형성된 복수의 제1 격자부와, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 격자 패턴이 형성된 복수의 제2 격자부가 마련된 격자 플레이트와; 상기 복수의 제1 격자부가 기 설정된 피치 단위로 이동하도록 상기 격자 플레이트를 상기 제1 방향으로 이동시키는 제1 플레이트 이동 유닛과; 상기 복수의 제2 격자부가 기 설정된 피치 단위로 이동하도록 상기 격자 플레이트를 상기 제2 방향으로 이동시키는 제2 플레이트 이동 유닛과; 상기 각각의 제1 격자부 및 상기 각각의 제2 격자부로 광을 조사하는 복수의 광원과; 상기 각 광원으로부터 조사되어 상기 각각의 제1 격자부 및 상기 각각의 제2 격자부를 투과하여 측정 대상물로부터 반사된 격자광을 촬상하는 촬상부와; 상기 촬상부에 의해 촬상된 영상에 기초하여 상기 측정 대상물의 표면 형상을 측정하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 격자마다 이동유닛을 별도로 두는데 따른 제조 비용 및 제품 사이즈 증가의 문제점을 해소하면서도 검사 속도를 종래의 표면 형상 측정 장치에 비해 증가시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020140136549A
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：KR1020130056216
申请日：2013-05-20
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/25
Abstract: The present invention relates to an apparatus for measuring a surface profile which comprises: a lattice plate equipped with a plurality of first lattice parts wherein lattice pattern is formed in a first direction, and a plurality of second lattice parts wherein lattice pattern is formed in a second direction which is perpendicular to the first direction; a first plate moving unit which moves the lattice plate in the first direction so that the multiple first lattice parts are moved by a preset pitch unit; a second plate moving unit which moves the lattice plate in the second direction so that the multiple second lattice parts are moved by a preset pitch unit; multiple light sources which radiate light to each of the first lattice parts and each of the second lattice parts; a photographing unit photographing lattice-shaped light which is reflected by an object to be measured by penetrating each of the first lattice parts and each of the second lattice parts as radiated from each light source; and a control unit measuring a surface profile of the object to be measured based on the image photographed by the photographing unit. Accordingly, problems regarding manufacture costs caused by additionally having a moving unit per lattice and increased size of a product are alleviated, and testing speed can also be increased in comparison with the existing apparatus for measuring a surface profile.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量表面轮廓的装置，其特征在于，包括：格子板，其配备有多个第一格子部分，其中在第一方向上形成格子图案;以及多个第二格子部分，其中格子图案形成在 垂直于第一方向的第二方向; 第一板移动单元，其使所述格子板沿所述第一方向移动，使得所述多个第一格子部分以预设的间距单位移动; 第二板移动单元，其使格栅板沿第二方向移动，使得多个第二格子部分以预设的间距单位移动; 多个光源向每个第一格子部分和每个第二格子部分辐射光; 拍摄单元拍摄通过穿透从每个光源照射的每个第一格子部分和每个第二格子部分被待测物体反射的格子状光; 以及控制单元，其基于由拍摄单元拍摄的图像来测量被测量物体的表面轮廓。 因此，与现有的用于测量表面轮廓的装置相比，减少了由每个格子额外具有移动单元和增加的产品尺寸引起的制造成本的问题，并且也可以提高测试速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101327356B1
公开(公告)日：2013-11-11
申请号：KR1020120034693
申请日：2012-04-04
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 듀얼 레인 검사 장치에 관한 것으로, 베이스 플레이트와, 제1 방향으로 인입되는 검사 대상물이 상기 제1 방향으로 이송되도록 상기 제1 방향을 따라 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제1 인입부, 제1 검사부 및 제1 인출부를 갖는 제1 검사 레일부와, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 제1 검사 레일부에 대향하게 이격 배치되고, 상기 제1 방향으로 인입되는 검사 대상물이 상기 제1 방향으로 이송되도록 상기 제1 방향을 따라 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제2 검사 레일부를 포함하고; 상기 제1 인입부는 상기 제2 방향으로 상호 대향하게 이격 설치되며, 상기 제2 방향으로 상호 독립적으로 이동 가능하게 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제1 인입 레일 프레임 및 제2 인입 레일 프레임과, 상기 제1 인입 레일 프레임 및 상기 제2 인입 레일 프레임을 상기 제2 방향으로 각각 이동시키는 제1 인입 구동부 및 제2 인입 구동부를 포함하고; 상기 제1 검사부는 상기 베이스 플레이트에 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 설치되는 검사 플레이트와, 상기 검사 플레이트에 고정 설치되는 제1 검사 레일 프레임과, 상기 제2 방향으로 상기 제1 검사 레일 프레임에 대향하게 설치되고, 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 상기 검사 플레이트에 설치되는 제2 검사 레일 프레임과, 상기 검사 플레이트를 상기 제2 방향으로 이동시키는 제1 검사 구동부와, 상기 제2 검사 레일 프레임을 상기 제2 방향으로 이동시키는 제2 검사 구동부를 포함하며; 상기 제1 인출부는 상기 제2 방향으로 각각 독립적으로 상호 접근 및 이격 가능하게 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제1 인출 레일 프레임 및 제2 인출 레일 프레임과, 상기 제1 인출 레일 프레임 및 상기 제2 인출 레일 프레임을 상기 제2 방향으로 각각 이동시키는 제1 인출 구동부 및 제2 인출 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR101005179B1
公开(公告)日：2011-01-04
申请号：KR1020090004976
申请日：2009-01-21
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 광학적 간섭을 이용한 OCD 측정 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 OCD 측정 방법은 (a) 백색광을 조사하는 단계와; (b) 상기 백색광을 상호 편광 방향이 수직인 TE 편광과 TM 편광 방향에 대해 45°기울어진 방향으로 선형 편광시키는 단계와; (c) 상기 선형 편광된 백색광이 상기 측정 대상물 및 기준 미러로부터 각각 반사된 측정광과 기준광이 상호 간섭되어 간섭광이 형성되는 단계와; (d) 상기 간섭광이 상기 TE 편광 성분과 상기 TM 편광 성분으로 분리되는 단계와; (e) 상기 TE 편광 성분 및 상기 TM 편광 성분이 각각 제1 스펙트로메터 및 제2 스펙트로메터에 입력되는 단계와; (f) 상기 입력된 TE 편광 성분 및 상기 입력된 TM 편광 성분으로부터 각각 TE 스펙트럼 데이터 및 TM 스펙트럼 데이터를 추출하여 상기 TE 편광 성분 및 상기 TM 편광 성분 각각에 대한 진폭 정보 및 위상 정보를 추출하는 단계와; (g) 상기 추출된 진폭 정보 및 상기 추출된 위상 정보를 RCWA(Rigorous coupled-wave analysis) 기법에 적용하여 상기 RCWA 기법 상의 진폭 비율(Ψ) 및 위상차(Δ)를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 한 번의 촬영(Single shot)으로 SE(Spectroscopic Ellipsometer) 파라미터인 Ψ 및 Δ가 동시에 획득되도록 하여 측정 속도를 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR101005161B1
公开(公告)日：2011-01-04
申请号：KR1020090006775
申请日：2009-01-29
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 Off-axis 방식의 디지털 홀로그래피를 이용한 복굴절 측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 복굴절 측정 장치는 수직 편광 및 수평 편광 방향 각각에 대하여 45°기울어진 편광 방향을 갖는 선형 편광 빔을 생성하는 광원부와; 상기 광원부로부터의 상기 선형 편광 빔을 측정 빔 경로와 기준 빔 경로로 분할하여 출력하는 제1 빔 스플리터와; Off-axis 방식이 적용 가능하도록 상기 기준 빔 경로에 대해 기울어져 배치된 기준 미러와; 상기 제1 광 분할부로부터 출광된 상기 선형 편광 빔이 상기 기준 미러에 의해 반사되도록 상기 제1 광 분할부로부터 출광된 상기 선형 편광 빔을 상기 기준 미러 방향으로 향하게 하는 제2 빔 스플리터와; 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 선형 편광 빔이 상기 측정 대상물을 투과하도록 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 선형 편광 빔을 상기 측정 대상물 방향으로 반사시키는 반사 미러와; 상기 선형 편광 빔이 상기 기준 미러로부터 반사되어 형성된 기준빔 및 상기 선형 편광 빔이 상기 측정 대상물을 투과하여 형성된 측정빔을 상기 제1 촬상부 및 상기 제2 촬상부 방향으로 분할하여 출력하기 위한 제3 빔 스플리터와; 상기 제1 촬상부와 상기 제3 빔 스플리터 사이에 배치되어 상기 측정빔 및 상기 기준빔 간의 간섭에 의해 형성된 간섭광 중 수직 편광 성분을 통과시켜 상기 제1 촬상부로 출력하는 수직 편광판과; 상기 제1 촬상부와 상기 제3 빔 스플리터 사이에 배치되어 상기 간섭광 중 수평 편광 성분을 통과시켜 상기 제2 촬상부로 출력하는 수평방향 선편광판; 상기 제1 촬상부에 의해 촬상된 상기 수직 편광 성분과 상기 제2 촬상부에 의해 촬상된 상기 수평 편광 성분 각각에 대해 Off-axis 방식의 디지털 홀로그래피 해석 방식이 적용되어 상기 수직 편광 성분에 대한 수직 편광 위상 정보와 상기 수평 편광 성분에 대한 수평 편광 위상 정보가 추출하고, 상기 수직 편광 위상 정보 및 상기 수평 편광 위상 정보에 기초하여 상기 측정 대상물에 대한 복굴절의 크기를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020100095775A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：KR1020090014764
申请日：2009-02-23
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A camera aligning method for aligning two cameras applied to an optical system for 3D measurement is provided to remove in-plane mis-alignment and out-of-plane misalignment occurring between two cameras with 6 degrees of freedom. CONSTITUTION: The first camera(51) photographs a hologram about a vertical polarizing element of interference light. The second camera(52) photographs a hologram about a horizontal polarizing element of the interference light. In-plane mis-alignment and out-of-plane misalignment between the first and second cameras are aligned using a correlation technique for a pair of holograms.
Abstract translation: 目的：提供一种用于对准应用于三维测量光学系统的两台摄像机的摄像机对准方法，以消除在6个自由度的两台摄像机之间发生的平面内错误对准和平面外失准。 构成：第一台相机（51）拍摄一幅关于干涉光垂直偏振元件的全息图。 第二相机（52）拍摄关于干涉光的水平偏振元件的全息图。 使用一对全息图的相关技术来对齐第一和第二相机之间的平面内错误对准和平面外的未对准。
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公开(公告)号：KR1020100085595A
公开(公告)日：2010-07-29
申请号：KR1020090004976
申请日：2009-01-21
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: An optical critical dimension metrology method and an apparatus using a spectral interferometry are provided to increase measuring speed while obtaining SE parameter through one single shot. CONSTITUTION: A first spectrometer(16) and a second spectrometer(17) are arranged. A light source(10) projects the white light. A polariscope(12) polarizes the white light from the light source to a TM polarizer and a direction of 45 degrees from the TM polarizer. A beam splitter(13) makes a polarized linear white light to a measurement object. An OCD interferometer(14) forms a light interference with a measured light reflected from the target and a reference light reflected from a reference mirror.
Abstract translation: 目的：提供光学关键尺寸测量方法和使用光谱干涉测量的装置，以通过一次拍摄获得SE参数来提高测量速度。 构成：布置第一光谱仪（16）和第二光谱仪（17）。 光源（10）投射白光。 偏振器（12）将来自光源的白光偏振到TM偏振器，并且与TM偏振器成45度的方向。 分束器（13）对测量对象产生偏振线性白光。 OCD干涉仪（14）与从目标反射的测量光和从参考反射镜反射的参考光形成光干涉。
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