公开(公告)号：CN106067780A

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：CN201610082339.X

申请日：2016-02-05

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 胡尔齐卓·胡都博迪耶 ,  李文喆 ,  朴皓埈 ,  金德焕 ,  李玲揆

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/10 ,  H03H3/02

Abstract: 提供一种体声波谐振器及其制造方法。在示例中，提供了一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；谐振部，包括层压在基板的上表面上的第一电极、压电层和第二电极；盖子，通过粘结剂结合到基板上；密封层，形成在粘结剂的暴露在外的表面上。这一结构提供了一种具有提高的可靠性的体声波谐振器。

公开(公告)号：CN106059524A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610040724.8

申请日：2016-01-21

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李文喆 ,  李玲揆 ,  金德焕 ,  孙尚郁 ,  金哲秀 ,  申济湜

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/10 ,  H03H9/46

Abstract: 公开了一种体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板；气腔，形成在基板上；谐振部，形成在气腔上，并包括依次层压的第一电极、压电层和第二电极，其中，气腔的截面具有短边、与短边相对的长边以及使短边和长边彼此连接的第一侧边和第二侧边，第一侧边和第二侧边倾斜，第一电极、压电层、第二电极或它们的任意组合的表面粗糙度在1nm与100nm之间。

公开(公告)号：CN1243277C

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN03146519.6

申请日：2003-07-03

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 洪允植 ,  尹湘基 ,  洪硕基 ,  李玲揆 ,  郑成天 ,  李浈铉

IPC: G02F1/19 ,  G02B6/26 ,  H04B10/12

CPC classification number: G02B6/353 ,  G02B6/266 ,  G02B6/3552 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/3594

Abstract: 公开了一种MEMS可变光衰减器，包括具有平面的衬底；光纤，分别具有光信号发射端和光信号接收端，同轴安置在所述衬底上；安置在所述衬底上的微电子激励器，用于沿垂直于所述光束的光轴的方向提供工作冲程；安置在所述衬底上的至少一个杠杆结构，用于在其第一端接收微电子激励器的所述工作冲程，以及通过其第二端，将放大的移动距离传送到光闸；光闸，安置在所述衬底上并连接到所述杠杆结构的第二端以便移动所述放大的移动距离，从而移动到所述光束的衰减位置。

公开(公告)号：CN1512255A

公开(公告)日：2004-07-14

申请号：CN03148429.8

申请日：2003-06-27

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 洪允植 ,  李玲揆 ,  郑成天 ,  尹湘基 ,  李贤基 ,  洪硕基 ,  姜埈锡 ,  李浈铉

IPC: G02F1/19 ,  G02B6/26 ,  H04B10/12

CPC classification number: G02B6/353 ,  G02B6/266 ,  G02B6/35 ,  G02B6/3552 ,  G02B6/356 ,  G02B6/357 ,  G02B6/358 ,  G02B6/3582 ,  G02B6/3592 ,  G02B6/3594

Abstract: 公开了一种MEMS可变光衰减器，包括具有平面的衬底，安置在衬底的平面上的微电子激励器，一对分别具有接收和发射端的光波导，并且彼此同轴安置成一行并安置在平面上，光闸，可移向光波导的发射端和接收端间的预定位置，并由微电子激励器驱动来移动，以及形成在光闸上的表面层，具有低于80％的反射率以便部分透射其中的入射光束，并具有消光属性，从而根除其中的该部分透射光。