放电灯
    21.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101364523B

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN200810145325.3

    申请日:2008-08-07

    Abstract: 本发明提供一种放电灯,在曝光装置的光源所使用的放电灯中用低熔点玻璃密封大气的进入口,能从外气阻隔金属箔。本发明的放电灯,具有:在发光管(3)的两端连设有密封管(2)的放电容器(1)、在上述发光管(3)的内部配置的电极(6、7)、在上述密封管(2)的内部配置的玻璃构件(4)、在上述玻璃构件(4)的外周面配置的金属箔(5)、以及与上述金属箔(5)电连接且插通于外部石英管(13)的贯穿孔(16)中的外部引线(9),其特征在于,在上述外部石英管(13)的贯穿孔(16)的内周面、与上述外部引线(9)的外周面之间所形成的间隙(30)中具有低熔点玻璃(20),在该贯穿孔(16)的外端具有将该贯穿孔(16)扩张所设置的凹部(14)。

    短弧型放电灯
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101826440A

    公开(公告)日:2010-09-08

    申请号:CN201010123897.9

    申请日:2010-03-02

    CPC classification number: H01J61/86 H01J7/186 H01J61/26

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种短弧型放电灯,通过吸收发光管内的氢气而使短弧型放电灯的照度变动率稳定,而且将集氢器安全且容易地固定在发光管内。该短弧型放电灯具有:发光管;与上述发光管的两端分别接续并朝向管轴方向外方延伸的密封管;在上述发光管的内部彼此相对地配置的一对电极;以及由使氢透过的物质构成的中空容器与密闭在上述中空容器内部的吸气材料构成的集氢器,其中,上述集氢器被固定在上述电极。

    放电灯
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101364523A

    公开(公告)日:2009-02-11

    申请号:CN200810145325.3

    申请日:2008-08-07

    Abstract: 本发明提供一种放电灯,在曝光装置的光源所使用的放电灯中用低熔点玻璃密封大气的进入口,能从外气阻隔金属箔。本发明的放电灯,具有:在发光管(3)的两端连设有密封管(2)的放电容器(1)、在上述发光管(3)的内部配置的电极(6、7)、在上述密封管(2)的内部配置的玻璃构件(4)、在上述玻璃构件(4)的外周面配置的金属箔(5)、以及与上述金属箔(5)电连接且插通于外部石英管(13)的贯穿孔(16)中的外部引线(9),其特征在于,在上述外部石英管(13)的贯穿孔(16)的内周面、与上述外部引线(9)的外周面之间所形成的间隙(30)中具有低熔点玻璃(20),在该贯穿孔(16)的外端具有将该贯穿孔(16)扩张所设置的凹部(14)。

    放电灯
    24.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105340054B

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201480036170.3

    申请日:2014-06-17

    Abstract: 本发明提供一种在发光管内的阴极添加除了钍以外的发射体而成的放电灯,其可以在防止发射体自阴极过度地蒸发而早期枯竭的同时,在最初点灯时也可顺利地点灯。阴极(3)中的主体部(31)由不含钍的高熔点金属材料构成,前端部(32)由含有发射体(除了钍之外)的高熔点金属材料构成,并且在形成于所述主体部(31)及/或前端部(32)内部的密闭空间(33)内埋设有含有较所述前端部(32)中所含的发射体更高浓度的发射体(除了钍之外)的烧结体(34)。

    高压放电灯及高压放电灯的制造方法

    公开(公告)号:CN102044393B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201010522481.4

    申请日:2010-10-22

    CPC classification number: H01J61/368 H01J9/326 H01J61/86

    Abstract: 高压放电灯及该高压放电灯的制造方法,在由玻璃和密封用金属构成的高压放电灯的密封部,提高玻璃与密封用金属的密接强度。对埋设于高压放电灯的密封部(13)的密封用金属(例如钼箔)(14)的表面照射从激光振荡器出射的脉冲宽度为1×10-9秒以下的激光而进行表面加工。由此,在钼箔的表面形成微细的表面构造,密封部(13)的玻璃与钼箔的密接强度变高。结果,即使由于点灯、熄灯的重复而密封部(13)的温度增减,也难以产生密封用金属从玻璃剥离的不良情况,能够延长灯寿命。并且,适用于具备具有由钨等构成的棒状密封用金属的密封部33的高压放电灯,也得到同样效果。

    光源装置
    27.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101770930B

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN200910262666.3

    申请日:2009-12-25

    CPC classification number: H01J65/042 G03F7/70016 H01J61/025

    Abstract: 本发明提供一种光源装置,对放电容器照射激光而放射放射光,利用通过放电容器遮蔽来自椭圆反射镜的反射光的反射光阻碍区域导入激光,使放射光不会衰减地在椭圆反射面确实反射,高效利用放射光。该光源装置具有内部封入有发光物质的放电容器(1);在一方焦点(F1)配置放电容器(1)的椭圆反射镜(2);及将聚光的激光由椭圆反射镜(2)的开口侧导入放电容器(1)的激光导入单元(3),对放电容器(1)内的发光物质照射导入的激光,激发发光物质,由放电容器(1)放射放射光,放射光被椭圆反射镜(2)反射,成为反射光,激光导入单元(3)设在通过放电容器(1)遮蔽来自椭圆反射镜(2)的反射光的反射光阻碍区域(L1-L2)。

    光源装置
    28.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101769478B

    公开(公告)日:2013-09-25

    申请号:CN200910266366.2

    申请日:2009-12-24

    CPC classification number: H01J65/042 H01J61/025 H01J61/54

    Abstract: 本发明提供一种光源装置,对放电容器照射激光而使放射光放射,利用通过放电容器遮蔽来自椭圆反射镜的反射光而未照射反射光的反射光非照射区域导入激光,使放射光未衰减地在椭圆反射面确实反射,高效利用放射光。该光源装置具有:在内部封入有发光物质,激光由椭圆反射镜(2)的开口侧聚光且被照射,激发发光物质而放射有放射光的放电容器(1);在一方焦点上配置有放电容器(1)的椭圆反射镜(2);以及放射光被椭圆反射镜(2)反射而成为反射光,改变该反射光的方向的平面镜(4),在平面镜(4)上在通过放电容器(1)遮蔽来自椭圆反射镜(2)的反射光而未被照射反射光的反射光非照射区域(F1-F2)上设有导入激光的窗部(41)。

    激光驱动光源
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101866819A

    公开(公告)日:2010-10-20

    申请号:CN201010163326.8

    申请日:2010-04-14

    CPC classification number: H01J65/04 H01J61/025 H01J61/18

    Abstract: 本发明是一种激光驱动光源,使激光光线聚光到管球内封入的放,电介质,通过激光光线激励放电介质,生成等离子体,其目的在于遮蔽管球内生成的未被等离子体吸收而透过的激光光线,为此提供一种激光驱动光源,其具有封入有放电介质的管球,通过聚光到上述管球的激光光线在上述管球内生成等离子体,其特征在于,上述管球内设有光线遮蔽部件,遮蔽透过上述管球内生成的等离子体的激光光线。

    光源装置
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101770930A

    公开(公告)日:2010-07-07

    申请号:CN200910262666.3

    申请日:2009-12-25

    CPC classification number: H01J65/042 G03F7/70016 H01J61/025

    Abstract: 本发明提供一种光源装置,对放电容器照射激光而放射放射光,利用通过放电容器遮蔽来自椭圆反射镜的反射光的反射光阻碍区域导入激光,使放射光不会衰减地在椭圆反射面确实反射,高效利用放射光。该光源装置具有内部封入有发光物质的放电容器(1);在一方焦点(F1)配置放电容器(1)的椭圆反射镜(2);及将聚光的激光由椭圆反射镜(2)的开口侧导入放电容器(1)的激光导入单元(3),对放电容器(1)内的发光物质照射导入的激光,激发发光物质,由放电容器(1)放射放射光,放射光被椭圆反射镜(2)反射,成为反射光,激光导入单元(3)设在通过放电容器(1)遮蔽来自椭圆反射镜(2)的反射光的反射光阻碍区域(L1-L2)。

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