微机电系统器件及其形成方法

    公开(公告)号:CN113247855B

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202010332779.2

    申请日:2020-04-24

    Abstract: 提供微机电系统支撑结构及顶盖结构。在微机电系统支撑结构或者顶盖结构的部分中形成至少一个垂直延伸沟槽。在至少一个垂直延伸沟槽中的每一者中形成垂直延伸出气材料部分,垂直延伸出气材料部分具有在实体上暴露于相应的垂直延伸空腔的表面。将基质材料层贴合到微机电系统支撑结构。通过将基质材料层图案化来形成在侧向上限定在基质层内的可移动元件。将基质层结合到顶盖结构。形成包含可移动元件的密封腔室。垂直延伸出气材料部分中的每一垂直延伸出气材料部分具有在实体上暴露于密封腔室的表面,且排出气体以增加密封腔室中的压力。

    微机电系统装置及其形成方法

    公开(公告)号:CN111762753A

    公开(公告)日:2020-10-13

    申请号:CN201910629444.4

    申请日:2019-07-12

    Abstract: 本公开实施例涉及一种微机电系统装置及其形成方法,所述方法包括在第一压电层之上沉积第一电极层。接着在第一电极层之上沉积硬掩模层。在硬掩模层上形成具有第一电极图案的光刻胶掩模。使用光刻胶掩模向硬掩模层中进行第一刻蚀,以将第一电极图案转移到硬掩模层。接着移除光刻胶掩模。使用硬掩模层进行第二刻蚀,以将第一电极图案转移到第一电极层,以及移除硬掩模层。

    微机电系统装置与微机电系统的封装方法

    公开(公告)号:CN109553065A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201810404016.7

    申请日:2018-04-28

    Abstract: 本发明实施例提供微机电系统装置与微机电系统的封装方法,其包括形成第一金属化结构于互补式金属氧化物半导体晶圆上,其中第一金属化结构包括第一牺牲氧化物层与第一金属接点垫。形成第二金属化结构于微机电系统晶圆上,其中第二金属化结构包括第二牺牲氧化物层与第二金属接点垫。接着将第一金属化结构与第二金属化结构接合在一起。在将第一金属化结构与第二金属化结构接合在一起之后,图案化并蚀刻微机电系统晶圆以形成微机电系统元件于第二牺牲氧化物层上。在形成微机电系统元件后移除第一牺牲氧化物层与第二牺牲氧化物层,使微机电系统元件沿着轴自由移动。

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