公开(公告)号：CN104752342A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201410433157.3

申请日：2014-08-28

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善 ,  李熙元 ,  权纯明 ,  金炫秀

IPC: H01L21/77

CPC classification number: H01L23/544 ,  H01L21/0272 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/31144 ,  H01L24/83 ,  H01L2223/54426 ,  H01L2224/83139 ,  H01L2224/83201 ,  H01L2224/83902

Abstract: 本发明提供一种接合半导体基板的方法，其可包括：在第一半导体基板上形成对准键；在第一半导体基板和对准键上形成绝缘层；在绝缘层上形成第一金属层图案和第二金属层图案；在第二半导体基板上形成第一突起和第二突起，以及位于第一突起与第二突起之间的对准凹部；分别在第一突起和第二突起上形成第三金属层图案和第四金属层图案；以及接合第一半导体基板和第二半导体基板，其中当接合第一半导体基板和第二半导体基板时，对准键位于对准凹部。

公开(公告)号：CN107809717B

公开(公告)日：2021-06-15

申请号：CN201611158765.3

申请日：2016-12-14

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善

IPC: H04R19/04 ,  H04R31/00

Abstract: 本申请涉及一种高灵敏度麦克风及其制造方法。该高灵敏度麦克风包括：基板，其具有设置于其中央部分中的穿透部分；振动膜，其设置在基板上并覆盖穿透部分；固定膜，其安装在振动膜上方，通过介于两者之间的空气层而与振动膜隔开，并该固定膜具有在朝向空气层的方向上穿孔的多个进气口；以及多个支柱，其作为固定膜和振动膜之间的竖直弹性柱，并通过摩擦力机械地固定振动膜而所施加的电压无关。

公开(公告)号：CN106878892B

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201610538874.1

申请日：2016-07-08

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善

IPC: H04R19/04 ,  H04R31/00

Abstract: 本发明提供一种MEMS麦克风及其制造方法。MEMS麦克风包括由柔性聚合物形成的基板。声音感测组件布置在基板的第一侧并且包括固定膜和用于感测声音的振动膜。信号处理器布置在基板的第二侧并且电连接至声音感测组件，同时与声音感测组件彼此间隔开。

公开(公告)号：CN105635921B

公开(公告)日：2019-08-20

申请号：CN201510716158.3

申请日：2015-10-29

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善

IPC: H04R19/04 ,  H04R31/00

Abstract: 本申请涉及一种麦克风，包括：具有一个或多个第一穿透孔的第一基底；布置在第一基底上并覆盖第一穿透孔的振动膜；以预定距离布置在振动膜之上并具有多个进气孔的固定膜；以及通过结合衬垫接合到固定膜上的相位延迟部件，所述相位延迟部件具有与一个或多个第一穿透孔连接的多个第二穿透孔，并在第二穿透孔中具有相位延迟材料。本申请还涉及制备包括相位延迟部件的麦克风的方法。

公开(公告)号：CN106878892A

公开(公告)日：2017-06-20

申请号：CN201610538874.1

申请日：2016-07-08

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善

IPC: H04R19/04 ,  H04R31/00

CPC classification number: H04R1/04 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04 ,  H04R2201/003 ,  H04R2499/13 ,  H04R31/00

Abstract: 本发明提供一种MEMS麦克风及其制造方法。MEMS麦克风包括由柔性聚合物形成的基板。声音感测组件布置在基板的第一侧并且包括固定膜和用于感测声音的振动膜。信号处理器布置在基板的第二侧并且电连接至声音感测组件，同时与声音感测组件彼此间隔开。

公开(公告)号：CN106211015A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201510474037.2

申请日：2015-08-05

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善 ,  金炫秀

IPC: H04R31/00 ,  H04R17/00 ,  H04R19/04

Abstract: 本发明涉及一种麦克风及其制造方法。麦克风包括：包含穿孔的基板；振动膜，设置在基板上并且覆盖穿孔；固定电极，设置在振动膜以上并且与振动膜间隔开；固定板，设置在固定电极上；以及多个进气口，设置在固定电极和固定板中。振动膜包括定位在穿孔以上的多个狭缝，并且多个狭缝的全部面积是振动膜的全部面积的大约8％至大约19％。

公开(公告)号：CN105530578A

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201510624882.3

申请日：2015-09-25

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善

IPC: H04R19/04 ,  H04R31/00

Abstract: 一种传声器及制造传声器的方法，该制造传声器的方法包括制备衬底以及在衬底上形成氧化层图案并且在衬底的背面上形成氧化层。通过将导电离子注入到衬底中而在衬底上形成振动膜。通过去除氧化层图案在衬底和振动膜上相继形成牺牲层和固定电极。在固定电极上形成第一光刻胶层图案，并且通过使固定电极图案化而形成进气口。在氧化层的背面上形成第二光刻胶层图案，并且通过蚀刻氧化层以及衬底的背面来形成穿孔，振动膜的一部分通过该穿孔露出。在固定电极和振动膜之间形成空气层。

公开(公告)号：CN119370116A

公开(公告)日：2025-01-28

申请号：CN202311697906.9

申请日：2023-12-11

Applicant: 现代自动车株式会社 ,  起亚株式会社 ,  韩国科学技术研究院

Inventor： 金东求 ,  李将贤 ,  权大圣 ,  金炫秀 ,  俞一善 ,  李炳喆 ,  赵诚勋 ,  白承协 ,  金珉奭 ,  郑秀永

IPC: B60W50/08 ,  B60W50/14 ,  B60W50/16 ,  B60R16/00 ,  B60R16/023 ,  G06F3/01

Abstract: 本发明涉及非接触式接口装置及其控制方法，其可以将用于驾驶员和乘员操作车辆的各种装置的操作系统菜单显示为全息图，使用户能够通过使用用户的手指等以非接触的方式操作显示的操作系统菜单，并且为用户提供非接触式操作的触觉反馈，使得用户可以识别是否操作了菜单。

公开(公告)号：CN106211015B

公开(公告)日：2020-05-15

申请号：CN201510474037.2

申请日：2015-08-05

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善 ,  金炫秀

IPC: H04R31/00 ,  H04R17/00 ,  H04R19/04

Abstract: 本发明涉及一种麦克风及其制造方法。麦克风包括：包含穿孔的基板；振动膜，设置在基板上并且覆盖穿孔；固定电极，设置在振动膜以上并且与振动膜间隔开；固定板，设置在固定电极上；以及多个进气口，设置在固定电极和固定板中。振动膜包括定位在穿孔以上的多个狭缝，并且多个狭缝的全部面积是振动膜的全部面积的大约8％至大约19％。

公开(公告)号：CN105657628B

公开(公告)日：2019-11-19

申请号：CN201510648323.6

申请日：2015-10-09

Applicant: 现代自动车株式会社

Inventor： 俞一善

IPC: H04R19/04

Abstract: 一种传声器设备及其控制方法，该传声器设备包括具有音孔和相位延迟膜的外壳。多个无指向型传声器布置在外壳中。半导体芯片连接到无指向型微型机电系统(MEMS)传声器并且响应于输入信号而运行，其中，任一无指向型传声器通过与外壳的音孔和相位延迟膜连接而形成指向型传声器。