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公开(公告)号：CN118076208A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202311561489.5
申请日：2023-11-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H10N30/853 , H10N30/20 , H10N30/00
Abstract: 本发明提供一种压电特性和耐久性优异的压电元件、压电致动器。压电元件具备基板、第一电极、包含钾、钠和铌的薄膜压电体和第二电极。在将薄膜压电体在成膜方向上二等分，并将第一电极侧设为第一区域且将第二电极侧设为第二区域时，在第一区域中(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值除以(100)面的XRD峰值强度、(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值的得到的值A，小于在薄膜压电体中(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值除以(100)面的XRD峰值强度、(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值而得到的值B。
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公开(公告)号：CN116367695A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202211674272.0
申请日：2022-12-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本申请提供压电体、压电元件以及液体喷出头，其不具有中间层地不易产生裂纹。一种压电体，包含钾、钠以及铌，并具有钙钛矿结构，针对多个测量区域进行拉曼光谱分析而得到的归属于A1g的峰的拉曼位移为400cm‑1以上且700cm‑1以下，所述多个测量区域中的所述峰中的拉曼位移的最大值和最小值之差为11.0cm‑1以下。
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公开(公告)号：CN109037431B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN201810463082.1
申请日：2018-05-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 北田和也
Abstract: 本发明提供一种具有铌酸钾钠(KNN)系压电体层且具有优异的泄漏特性的压电元件以及压电元件应用器件。压电元件(300)具备：第一电极(60)；第二电极(80)；以及压电体层(70)，其被设置于所述第一电极(60)和所述第二电极(80)之间，并由包含选自钾、钠、铋以及铌所形成的群组中的至少一方的钙钛矿型氧化物组成，并且压电元件(300)包含：第一钙钛矿层(171)，其被设置于所述压电体层(70)和所述第一电极(60)侧之间，并且由与压电体层(70)的组成不同的钙钛矿型氧化物组成；以及第二钙钛矿层(172)，其被设置于所述压电体层(70)和所述第二电极(80)侧之间，并且由与压电体层(70)的组成不同的钙钛矿型氧化物组成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106486595B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201610740490.8
申请日：2016-08-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/09 , B41J2/045
Abstract: 一种压电元件，具备第1电极，利用溶液法形成于上述第1电极上且由含有钾、钠及铌的钙钛矿型结构的复合氧化物构成的压电体层，以及设置在上述压电体层上的第2电极，上述压电体层在通过θ‑2θ测定得到的X射线衍射图案中具有来自（200）面的峰和来自（002）面的峰。
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公开(公告)号：CN105990514B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201610121044.9
申请日：2016-03-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/083 , H01L41/187 , H01L41/39
Abstract: 本发明的目的在于提供一种对于施加电压的位移的线性优良的压电元件、压电元件应用器件以及压电元件的制造方法。上述压电元件是具备形成在基板(10)上的第一电极(60)、形成在上述第一电极(60)上且包括由下述式(1)表示的ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物的压电体层(70)、以及形成在上述压电体层(70)上的第二电极80的压电元件，上述压电体层由向(100)面优先取向的多晶构成，具有50nm以上2000nm以下的厚度，并且来源于上述压电体层的(100)面的X射线的衍射峰位置(2θ)为22.51°以上22.95°以下，(KX，Na1‑X)NbO3…(1)。
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公开(公告)号：CN106025059A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610173462.2
申请日：2016-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/083 , B41J2/14 , B41J2/16
Abstract: 本发明提供一种相对于施加电压的位移的线性度优异且位移特性优异的压电元件、压电元件应用器件以及压电元件的制造方法。一种压电元件，具备：第一电极(60)，其形成在基板(10)上；压电体层(70)，其形成在上述第一电极(60)上，并且包含由下述公式(1)表示的ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物；以及第二电极(80)，其形成在上述压电体层(70)上，在上述第一电极与上述压电体层之间具备种子层(65)，该种子层包含含有K以及Nb的ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物，上述压电体层由在(110)面优先取向的多晶构成，(KX，Na1﹣X)NbO3…(1)。
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公开(公告)号：CN102555475B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201110351058.7
申请日：2011-11-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 北田和也
CPC classification number: H01L41/1873 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , H01L41/0973 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供液体喷头、液体喷射装置、压电元件及压电元件的制造方法，所述液体喷头使KNN薄膜优先取向于(100)。该液体喷头(600)具备：压力室(622)，其与喷嘴开口(612)连通；以及压电元件(100)，其具有压电体(30)、设在所述压电体(30)的第1电极(19)和第2电极(20)；所述第1电极(10)和所述第2电极(20)中的至少一方含有铂，所述压电体(30)由含有铌酸钾钠和铁酸铋的复合氧化物构成，铁酸铋的摩尔数与铌酸钾钠和铁酸铋的摩尔数之和的比为3％～10％，并且，钾和钠的摩尔数之和与铌的摩尔数的比为103％～115％。
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公开(公告)号：CN102555475A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110351058.7
申请日：2011-11-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 北田和也
CPC classification number: H01L41/1873 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , H01L41/0973 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供液体喷头、液体喷射装置、压电元件及压电元件的制造方法，所述液体喷头使KNN薄膜优先取向于(100)。该液体喷头(600)具备：压力室(622)，其与喷嘴开口(612)连通；以及压电元件(100)，其具有压电体(30)、设在所述压电体(30)的第1电极(19)和第2电极(20)；所述第1电极(10)和所述第2电极(20)中的至少一方含有铂，所述压电体(30)由含有铌酸钾钠和铁酸铋的复合氧化物构成，铁酸铋的摩尔数与铌酸钾钠和铁酸铋的摩尔数之和的比为3％～10％，并且，钾和钠的摩尔数之和与铌的摩尔数的比为103％～115％。
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