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公开(公告)号：KR100147634B1
公开(公告)日：1998-11-02
申请号：KR1019950009797
申请日：1995-04-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 반도체 제조장비의 순환 배관 시스템에 있어서, 에어 동작 밸브(Air Operated Valve)의 오픈/클로우즈(open/close)상태를 전기적으로 감지할 수 있는 에어동작밸브의 구동시스템을 개시한다.
본 발명은 시스템 컨트롤러의 제어신호에 의해 구동되는 솔레노이드 밸브, 상기 솔레노이드 밸브에 접속되어 솔레노이드 밸브의 구동상태에 따라 공기의 흐름을 제어하는 에어포트, 상기 에어포트의 에어라인에 접속되고 유입되는 공기의 공기압에 의해 구동되어 유체의 흐름을 제어하는 에어동작밸브, 및 상기 에어동작밸브의 열림/닫힘 상태를 감지하여 상기 시스템 컨트롤러에 에어밸브의 구동상태를 알려주기 위한 감지수단을 포함하여, 에어밸브의 오동작 및 불량에 신속히 대처함과 아울러 이상 발생시 관련 장비들의 손상을 방지할 수 있다.-
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公开(公告)号：KR100667307B1
公开(公告)日：2007-01-12
申请号：KR1020050002409
申请日：2005-01-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C12Q1/68
CPC classification number: G01N27/3276 , G01N33/48785
Abstract: 생분자가 형성되는 렉테나(rectenna)를 포함하는 센서 모듈의 바이오결합 유무에 따른 충전시간의 차이를 이용하여 바이오결합을 검출하는 RF 무선 에너지 전송을 이용한 바이오결합 검출 장치 및 방법이 개시된다. 본 RF 무선 에너지를 이용한 바이오결합 검출방법은 프로브 생분자가 형성되는 렉테나를 구비하는 센서 모듈 및 생성되는 에너지를 센서 모듈로 전송하는 안테나를 구비하는 본체를 포함하는 바이오결합 검출장치에서, 생성된 에너지를 안테나를 통해 렉테나(rectenna)로 전송하며, 에너지 전송 시간을 저장하는 단계, 전송되는 에너지를 센서 모듈에서 충전하며, 충전완료 신호를 안테나로 전송하는 단계, 저장된 에너지 전송 시간 및 충전완료 신호가 전송된 시간을 이용하여 에너지 충전 시간을 분석하는 단계, 및 프로브 생분자와 분석하고자 하는 시료를 바이오결합 시킨후, 에너지 충전 시간을 계산하여 에너지 충전 시간 변화 유무로 바이오결합 유무를 검출하는 단계를 포함한다. 이에 의해, 프로브 생분자가 형성되는 렉테나를 이용하여 에너지를 송수신하여 바이오결합 전후의 에너지 충전시간의 변화를 측정하여 바이오결함 유무를 검출함으로써 용이하게 바이오결합을 검출할 수 있다
렉테나, 정류기, 충전시간, 에너지-
公开(公告)号：KR100667298B1
公开(公告)日：2007-01-12
申请号：KR1020050002017
申请日：2005-01-10
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01N33/544
Abstract: 생분자칩 및 이를 제조하는 방법이 개시된다. 본 생분자칩은 기판; 상기 기판 상부에 형성된 절연층; 상기 절연층 상부에 형성되고 소정 영역에 패터닝 되어 홀이 형성된 접착층; 상기 접착층 상부에 형성되고 상기 접착층과 같은 영역에 패터닝 되어 홀이 형성된 시드층(seed layer); 상기 시드층 상부에 형성되고 상기 시드층과 같은 영역에 패터닝 되어 홀이 형성된 전기도금층; 및 상기 전기 도금층 상부에 형성된 생분자 고정층;을 포함하며, 상기 생분자 고정층의 형성 전에 상기 전기 도금층이 플라즈마 처리되어 있다. 본 발명에 따르면, 기재의 표면 개질을 통해서 생분자의 고정이 효율적으로 향상되는 생분자칩을 제공할 수 있는 효과가 있다.
생분자, 플라즈마, RIE-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060082159A
公开(公告)日：2006-07-18
申请号：KR1020050002406
申请日：2005-01-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N27/04
CPC classification number: G01N27/3271 , G01N21/3504 , G01N21/9501 , G01N33/535 , G01N2291/0255
Abstract: A biosensor for detecting an analyte by using a variable voltage according to infrared radiation absorption is provided. The biosensor includes an infrared absorber having a variable resistance and bioreceptors immobilized onto the infrared absorber for selectively reacting and binding with an analyte, wherein an induced voltage at the infrared absorber varies depending on whether the bioreceptor reacts and binds with the analyte.
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公开(公告)号：KR1020060079619A
公开(公告)日：2006-07-06
申请号：KR1020050000062
申请日：2005-01-03
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01N21/4788 , G01N21/45 , G01N33/54353 , G01N33/54366 , G01N33/6845 , G01N21/4133 , G01N2021/3181
Abstract: Disclosed is a biomolecule detector and a detection method using the same. The biomolecule detector includes a biomolecule chip having a substrate and a slit formed therein. Biomolecules are immobilized on at least a portion of the edges of the slit. A light source directs incident light toward the biomolecule chip, and a screen receives an image formed by a portion of the incident light passing through the slit. The biomolecule detector is small and portable, yet its capability for detecting a target biomolecule is quick, accurate and simple. The simple structural features of the biomolecule detector enable mass production.
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公开(公告)号：KR100594803B1
公开(公告)日：2006-06-30
申请号：KR1020040112800
申请日：2004-12-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L35/32
Abstract: 구조가 간단하고 소형화에 유리한 열전모듈이 개시된다. 본 발명에 의한 열전모듈은, 다수의 홈이 형성된 기판; 상기 다수의 홈에 교대로 삽입되는 다수의 P형 및 N형 소자; 및 상기 P형 및 N형 소자를 전기적으로 직렬 연결하기 위한 도전체;를 포함한다.
반도체 공정, 소형화, 기판, P형 및 N형 소자Abstract translation: 公开了一种结构简单并且有利于小型化的热电模块。 根据本发明的热电模块包括：具有多个凹槽的基板; 多个P型和N型元件交替地插入到所述多个凹槽中; 以及用于将P型和N型器件电串联电连接的导体。
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公开(公告)号：KR1020060063122A
公开(公告)日：2006-06-12
申请号：KR1020040102197
申请日：2004-12-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0035 , B81B1/002 , B81B2201/054 , F16K99/0001
Abstract: 작동유체의 미세유량 제어가 가능한 마이크로 밸브가 개시된다. 본 발명에 따른 마이크로 밸브는, 작동유체가 유출 또는 유입되는 유체통로; 팽창 또는 수축하면서 상기 유체통로를 선택적으로 개폐시키는 챔버; 및 상기 챔버 내부의 구동유체를 가열 또는 냉각시켜 상기 챔버를 팽창 또는 수축시키는 열전소자;를 포함한다.
열전소자, 펠티어 효과, 미세유량 제어, 밸브, 박막-
公开(公告)号：KR1020060020229A
公开(公告)日：2006-03-06
申请号：KR1020040069030
申请日：2004-08-31
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 브리지회로를 이용한 바이오결합 검출장치 및 그 방법이 개시된다. 본 브리지회로를 이용한 바이오결합 검출 장치는 기판, 기판 상부에 형성되며, 제1 저항 내지 제4 저항과 검류계를 구비하는 브리지회로, 브리지회로의 저항 위에 형성되어 분석하고자 하는 시료 생분자에 대해 특정정보를 탐색하는 프로브 생분자를 구비한다. 이에 의해, 바이오결합 유무 검출을 위한 별도의 고가 장비가 불요하며, 검출시간 또한 단축된다. 또한, 브리지회로를 이용하여 바이오결합 유무를 용이하게 검출함으로써 바이오결합 검출장치의 소형화 및 대중화를 할 수 있다.
바이오결합, 브리지회로, 생분자, 시료, 저항
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