반도체 웨이퍼 파티클 분석방법
    21.
    发明公开
    반도체 웨이퍼 파티클 분석방법 无效
    半导体晶圆颗粒分析方法

    公开(公告)号:KR1019980038791A

    公开(公告)日:1998-08-17

    申请号:KR1019960057719

    申请日:1996-11-26

    Inventor: 김은아 박상오

    Abstract: 본 발명은, 특정 반도체소자 제조공정이 진행된 웨이퍼에 파티클을 강제오염시켜 이를 제거하기 위한 방법을 모색하는 반도체 웨이퍼 파티클 분석방법에 관한 것이다.
    본 발명은, 특정 파티클을 이소프로필알콜(IPA : Isopropyle Alcohol)에 혼합시키는 단계, 이소프로필알콜에 혼합된 상기 특정 파티클을 순수가 담긴 저장조 내부에 투입하는 단계 및 상기 저장조 내부에 실험용 웨이퍼를 투입한 후, 이를 인출하고 분석하는 단계로 이루어진다.
    따라서, 폴리스티렌 라텍스 파티클과 공정과정에 발생하는 여러종류의 파티클 들을 웨이퍼 상에 균일하게 부착시킨 후, 이를 제거하기 위한 실험의 기준을 정할 수 있으므로 실험값에 정확성을 기할 수 있는 효과가 있다.

    디커플링 구조체 및 이를 구비하는 반도체 장치

    公开(公告)号:KR102254183B1

    公开(公告)日:2021-05-24

    申请号:KR1020150077496

    申请日:2015-06-01

    Abstract: 집적회로장치가제공된다. 상기집적회로장치는제 1 커패시터및 상기제 1 커패시터와다른제 2 커패시터를포함하는디커플링구조체를포함하고, 상기디커플링구조체는수직방향으로각각연장하는복수의제 1 도전패턴들, 상기수직방향으로각각연장하는제 2 도전패턴들, 상기제 1 도전패턴들및 상기제 2 도전패턴들을구조적으로지지하고수평방향으로연장하는통합지지구조체및 상기제 1 도전패턴들사이및 상기제 2 도전패턴들사이에제공되는공통전극을포함한다. 상기제 1 도전패턴들및 상기공통전극은상기제 1 커패시터의전극들을포함하고, 상기제 2 도전패턴들및 상기공통전극은상기제 2 커패시터의전극들을포함한다.

    사용자 인증 방법 및 장치
    26.
    发明公开
    사용자 인증 방법 및 장치 审中-实审
    用户认证的方法和装置

    公开(公告)号:KR1020170004108A

    公开(公告)日:2017-01-11

    申请号:KR1020150094007

    申请日:2015-07-01

    Inventor: 김은아 이희관

    CPC classification number: G06F21/34 G06F21/31 G06F21/316 G06F21/35 G06F21/45

    Abstract: 인증방법에있어서, 인증요청을수신하는단계; 상기인증요청이수신됨에따라, 복수의외부디바이스중 적어도하나로부터사용자를인증하기위한인증데이터를획득하는단계; 상기획득된인증데이터및 인증데이터의타입에미리할당된신뢰도정보에기초하여, 인증점수를획득하는단계; 및상기획득된인증점수에따라추가인증여부를결정하는단계를포함하는인증방법이개시된다.

    Abstract translation: 关于认证方法,公开了一种认证方法,其包括以下步骤:接收认证请求; 当接收到认证请求时,从多个外部设备中的至少一个获取认证用户的认证数据; 基于预先分配给获取的认证数据的可靠性信息和认证数据的类型获取认证分数; 以及根据获取的认证分数确定是否进行进一步认证。

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