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公开(公告)号:KR1019980038791A
公开(公告)日:1998-08-17
申请号:KR1019960057719
申请日:1996-11-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 본 발명은, 특정 반도체소자 제조공정이 진행된 웨이퍼에 파티클을 강제오염시켜 이를 제거하기 위한 방법을 모색하는 반도체 웨이퍼 파티클 분석방법에 관한 것이다.
본 발명은, 특정 파티클을 이소프로필알콜(IPA : Isopropyle Alcohol)에 혼합시키는 단계, 이소프로필알콜에 혼합된 상기 특정 파티클을 순수가 담긴 저장조 내부에 투입하는 단계 및 상기 저장조 내부에 실험용 웨이퍼를 투입한 후, 이를 인출하고 분석하는 단계로 이루어진다.
따라서, 폴리스티렌 라텍스 파티클과 공정과정에 발생하는 여러종류의 파티클 들을 웨이퍼 상에 균일하게 부착시킨 후, 이를 제거하기 위한 실험의 기준을 정할 수 있으므로 실험값에 정확성을 기할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号:KR102254183B1
公开(公告)日:2021-05-24
申请号:KR1020150077496
申请日:2015-06-01
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L27/08 , H01L49/02 , H01L27/108
Abstract: 집적회로장치가제공된다. 상기집적회로장치는제 1 커패시터및 상기제 1 커패시터와다른제 2 커패시터를포함하는디커플링구조체를포함하고, 상기디커플링구조체는수직방향으로각각연장하는복수의제 1 도전패턴들, 상기수직방향으로각각연장하는제 2 도전패턴들, 상기제 1 도전패턴들및 상기제 2 도전패턴들을구조적으로지지하고수평방향으로연장하는통합지지구조체및 상기제 1 도전패턴들사이및 상기제 2 도전패턴들사이에제공되는공통전극을포함한다. 상기제 1 도전패턴들및 상기공통전극은상기제 1 커패시터의전극들을포함하고, 상기제 2 도전패턴들및 상기공통전극은상기제 2 커패시터의전극들을포함한다.
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公开(公告)号:KR1020170004108A
公开(公告)日:2017-01-11
申请号:KR1020150094007
申请日:2015-07-01
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G06F21/34 , G06F21/31 , G06F21/316 , G06F21/35 , G06F21/45
Abstract: 인증방법에있어서, 인증요청을수신하는단계; 상기인증요청이수신됨에따라, 복수의외부디바이스중 적어도하나로부터사용자를인증하기위한인증데이터를획득하는단계; 상기획득된인증데이터및 인증데이터의타입에미리할당된신뢰도정보에기초하여, 인증점수를획득하는단계; 및상기획득된인증점수에따라추가인증여부를결정하는단계를포함하는인증방법이개시된다.
Abstract translation: 关于认证方法,公开了一种认证方法,其包括以下步骤:接收认证请求; 当接收到认证请求时,从多个外部设备中的至少一个获取认证用户的认证数据; 基于预先分配给获取的认证数据的可靠性信息和认证数据的类型获取认证分数; 以及根据获取的认证分数确定是否进行进一步认证。
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公开(公告)号:KR101300838B1
公开(公告)日:2013-08-29
申请号:KR1020070105262
申请日:2007-10-18
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H04L9/3271 , H04L2209/08 , H04L2209/805
Abstract: 로테이션을 이용한 태그 인증 방법 그리고 상기 방법을 수행하는 태그 및 리더를 개시한다. 태그 인증 방법은, 리더가 제1 난수를 생성하여 태그로 전송하는 단계, 상기 리더가 상기 태그로부터 제2 난수 및 제1 검증값을 수신하는 단계, 상기 리더가 상기 제1 난수 및 상기 제2 난수에 기초하여 제2 검증값을 계산하는 단계 및 상기 리더가 상기 제1 검증값 및 상기 제2 검증값을 비교하는 단계를 포함한다.
RFID(Radio Frequency Identification), 리더(reader), 태그(tag), 로테이션 함수(rotation function)
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