公开(公告)号：KR100566700B1

公开(公告)日：2006-04-03

申请号：KR1020040002835

申请日：2004-01-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김진아 ,  남동석 ,  하정환

IPC: H01L21/027

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0015

Abstract: 반도체 장치에서 임프린트 방식으로 포토레지스트 패턴을 형성하는 방법이 개시되어 있다. 기판 상에 포토레지스트를 코팅한다. 상기 포토레지스트의 상부면에, 광 투과판과 상기 광 투과판으로 조사되는 광을 선택적으로 차단시키기 위한 광 차단막 패턴 및 상기 광 투과판 및 광 차단막 패턴의 프로파일에 의해 형성되고 포토레지스트를 임프린트하기 위한 요철부를 구비하는 템플레이트를 압착시켜, 상기 포토레지스트를 임프린트한다. 상기 템플레이트를 통해 광을 조사하여 상기 포토레지스트를 선택적으로 노광한다. 이어서, 상기 포토레지스트를 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성한다. 상기 방법에 의하면, 마스트 패턴 형성을 위한 식각 공정을 생략할 수 있어 공정이 단순화되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020050120306A

公开(公告)日：2005-12-22

申请号：KR1020040045608

申请日：2004-06-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정혜연 ,  박성욱 ,  원종현 ,  현태인 ,  장선희 ,  김진아 ,  이강규 ,  김윤성

IPC: H04L1/18 ,  H04B7/26

CPC classification number: H04L1/1671 ,  H04L1/18 ,  H04L1/16 ,  H04W40/125

Abstract: 본 발명은 무선 접속 통신 시스템에서 데이터 재전송을 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은 단말기와 기지국간에 송수신되는 데이터에 대하여 ARQ(Automatic Repeat Request)방식을 사용하는 무선 접속 통신시스템에서 데이터 재전송을 위한 방법에 있어서, 기지국이 단말기로부터 수신한 데이터에 오류가 발생하면 오류발생에 따른 ARQ 피드백 정보와 함께 데이터 재전송을 위한 대역폭 할당 정보를 전송하고, 단말기가 오류가 발생한 데이터를 할당된 대역폭을 통해 기지국으로 전송함을 특징으로 한다.