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公开(公告)号：KR100891095B1
公开(公告)日：2009-03-31
申请号：KR1020070014935
申请日：2007-02-13
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B01J19/0046 , B01J2219/00432 , B01J2219/00434 , B01J2219/00466 , B01J2219/00497 , B01J2219/005 , B01J2219/00527 , B01J2219/00576 , B01J2219/00585 , B01J2219/00596 , B01J2219/00648 , B01J2219/00659 , B01J2219/00662 , B01J2219/00675 , B01J2219/00711 , B01J2219/00722 , B01J2219/00725 , B82Y30/00 , C12Q1/6837 , C12Q2563/155
Abstract: 광 검출 강도가 개선된 마이크로 어레이 및 그 제조 방법이 제공된다. 마이크로 어레이는 기판, 기판 상에 배치된 복수의 미세 파티클로서, 각 미세 파티클이 일정 간격으로 이격되어 배열되어 있는 복수의 미세 파티클, 및 각 미세 파티클에 커플링된 프로브를 포함한다.
마이크로 어레이, 미세 파티클, 광 결정 구조-
公开(公告)号：KR1020080075738A
公开(公告)日：2008-08-19
申请号：KR1020070015056
申请日：2007-02-13
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: C12Q1/6837 , B01J19/0046 , B01J2219/00432 , B01J2219/00434 , B01J2219/00466 , B01J2219/00497 , B01J2219/005 , B01J2219/00527 , B01J2219/00576 , B01J2219/00585 , B01J2219/00596 , B01J2219/00648 , B01J2219/00659 , B01J2219/00662 , B01J2219/00675 , B01J2219/00711 , B01J2219/00722 , B01J2219/00725 , B82Y30/00 , B82Y15/00 , C12Q2563/155
Abstract: An oligomer probe array is provided to improve reaction yield by immobilizing nanoparticles to an immobilization layer, and increase detection intensity after hybridizing with a target material by using photo crystal structure formed by nanoparticles. An oligomer probe array(100) comprises: a substrate(110); an immobilization layer(120) on the substrate, containing a plurality of probe cell regions(A) where the nanoparticles are coupled, which are divided by probe cell separation regions(B); nanoparticles(140) coupled to the immobilization layer and forming photo crystal structure for amplifying wavelength of light emitted from fluorescent materials attached to a target material to be hybridized; and an oligomer probe(165) coupled to the nanoparticles, wherein the diameter of nanoparticles is 100-1,000 nm and the distance between nanoparticle centers is 100-1,000 nm; and the nanoparticle is polystyrene, polymethylmethacrylate, polymethylmethacrylate copolymer or silica, glass, magnet, Wang resin, Merrifield resin, metal, plastic, cellulose, sephadex or sepharose. Further, the plurality of probe cell regions have three-dimensional surfaces.
Abstract translation: 提供了一种低聚物探针阵列，以通过将纳米颗粒固定在固定化层上来提高反应产率，并通过使用纳米颗粒形成的光致结晶结构，与目标物质杂交后提高检测强度。 低聚物探针阵列（100）包括：基底（110）; 在所述基板上的固定层（120），其包含被所述探针单元分离区域（B）分割的多个所述纳米粒子耦合的探针单元区域（A）。 纳米颗粒（140），其耦合到固定层并形成光晶体结构，用于放大从附着于待杂交的靶材上的荧光材料发出的光的波长; 和耦合到纳米颗粒的低聚物探针（165），其中纳米颗粒的直径为100-1,000nm，并且纳米颗粒中心之间的距离为100-1000nm; 纳米颗粒是聚苯乙烯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚甲基丙烯酸甲酯共聚物或二氧化硅，玻璃，磁铁，王氏树脂，Merrifield树脂，金属，塑料，纤维素，sephadex或sepharose。 此外，多个探针单元区域具有三维表面。
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公开(公告)号：KR1020080075683A
公开(公告)日：2008-08-19
申请号：KR1020070014934
申请日：2007-02-13
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G03F1/36 , G03F1/00 , G03F1/144 , B01J19/0046 , C12Q1/6837 , C12Q1/6841
Abstract: A mask set for in-situ synthesis of probes of a microarray is provided to permit accurate exposure to the edge of probe cells by adding the optical proximity correction pattern, wherein a transparent portion of each mask reflects the effects of adjacent transparent portion, so that reliability of the probe in-situ synthesis is improved. A plurality of masks for in situ synthesis of probes on a substrate containing a plurality of arrayed probe cells contain a transparent portion and a non-transparent portion in each mask, wherein the probe cell corresponds to any one of the transparent portion and non-transparent portion of each mask; and the transparent portion pattern is a pattern having corrected optical proximity effects. A method for fabricating the mask set for microarray comprises the steps of: providing a plurality of mask layouts containing a transparent portion and a non-transparent portion, wherein the probe cell corresponds to any one of the transparent portion and non-transparent portion of each mask; performing optical proximity effects correction for the transparent portion pattern of each mask layout; and fabricating a plurality of masks by using each mask layout performing the optical proximity effects correction.
Abstract translation: 提供用于原位合成微阵列探针的掩模组，以允许通过添加光学邻近校正图案来准确地暴露于探针单元的边缘，其中每个掩模的透明部分反映相邻透明部分的影响，使得 探针原位合成的可靠性得到改善。 用于在包含多个排列的探针单元的基板上原位合成探针的多个掩模包含每个掩模中的透明部分和不透明部分，其中探针单元对应于透明部分和不透明的任何一个 每个面罩的一部分; 并且透明部分图案是具有校正的光学邻近效应的图案。 制造微阵列掩模组的方法包括以下步骤：提供包含透明部分和不透明部分的多个掩模布局，其中探针单元对应于每个透明部分和不透明部分中的任一个 面具; 对每个掩模布局的透明部分图案执行光学邻近效应校正; 以及通过使用执行光学邻近效应校正的每个掩模布局来制造多个掩模。
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公开(公告)号：KR100801080B1
公开(公告)日：2008-02-05
申请号：KR1020060074355
申请日：2006-08-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C07C205/57 , C07C205/06 , B82Y10/00
CPC classification number: C07H17/00 , B01J19/0046 , B01J2219/00452 , B01J2219/00454 , B01J2219/00527 , B01J2219/00605 , B01J2219/00648 , B01J2219/00659 , B01J2219/00711 , B01J2219/00722 , B82Y30/00
Abstract: A photolabile compound, and a substrate for an oligomer probe array using the photolabile compound are provided to increase the entire reaction yield in the manufacturing process of an oligomer probe array by improving the velocity of deprotection of a photolabile protection group. A photolabile compound is represented by the formula 1, wherein R1 is a methyl group, an amino group, a hydroxyl group, a phenyl group, a diphenyl group, a naphthalenyl group, a trimethylsilyl group, a cyanide group, an azide group, a thiophenyl group, a cycloalkyl group, a cycloalkenyl group, or a heterocyclic group; n is 0-8; R2 is H or an alkyl group; and Y is a halogen atom, a hydroxyl group, or other specific groups.
Abstract translation: 提供光不稳定化合物和使用该光不稳定化合物的低聚物探针阵列用基板，通过提高光不稳定保护基的脱保护速度，提高低聚物探针阵列的制造工序中的全部反应产率。 光不稳定化合物由式1表示，其中R1是甲基，氨基，羟基，苯基，二苯基，萘基，三甲基甲硅烷基，氰基，叠氮基， 噻吩基，环烷基，环烯基或杂环基; n为0-8; R2是H或烷基; Y是卤素原子，羟基或其它特定基团。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100574993B1
公开(公告)日：2006-05-02
申请号：KR1020040094925
申请日：2004-11-19
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G03F7/027
Abstract: 액침 리소그래피 공정에 적용될 수 있는 포토레지스트용 탑 코팅 조성물과, 액침 리소그래피 공정에 의한 포토레지스트 패턴 형성 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 탑 코팅 조성물은 카르복실기 또는 술폰산기를 함유하는 폴리머, 염기, 및 순수를 포함하는 용매로 이루어진다. 본 발명에 따른 탑 코팅 조성물로 구성된 탑 코팅막은 TAG를 이용하거나 물에 침지시키는 방법에 의해 물에 녹지 않는 불용성막으로 될 수 있다. 이와 같이 얻어진 불용성 탑 코팅막을 배리어로 사용하여 액침 리소그래피 공정을 행함으로써 액침 매체를 통한 노광중에 포토레지스트 성분이 액침 매체에 용해되는 것을 방지할 수 있다.
액침 리소그래피, 카르복실기, TAG, 침지, 굴절율Abstract translation: 可以应用于浸没式光刻工艺的用于光刻胶的顶涂层组合物，以及通过浸没式光刻工艺形成光刻胶图案的方法。 根据本发明的面漆组合物包含含有羧基或磺酸基团的聚合物，碱和包含纯水的溶剂。 由根据本发明的顶部涂层组合物构成的顶部涂层可以是通过使用TAG或通过浸入水中而不溶于水的不溶性膜。 通过使用由此获得的不溶性顶涂膜作为阻挡层进行浸没式光刻工艺，可以防止在通过浸渍介质曝光期间光刻胶组分溶解在浸渍介质中。
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7.发明公开
公开(公告)号：KR1020060007776A
公开(公告)日：2006-01-26
申请号：KR1020040057142
申请日：2004-07-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/40 , B82Y30/00 , G03F7/0752 , G03F7/165 , H01L21/0274 , H01L21/0337 , H01L21/0338 , H01L21/31144
Abstract: 실리콘을 함유하는 자기조립 분자층을 포함하는 마스크 패턴 및 그 형성 방법과, 반도체 소자의 제조 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 마스크 패턴은 반도체 기판상에 형성된 레지스트 패턴과, 레지스트 패턴 위에 코팅되어 있고 실리콘을 함유하는 자기조립 분자층을 포함한다. 실리콘을 함유하는 자기조립 분자층은 졸-겔 반응으로부터 얻어지는 실리카 네트워크로 구성된다. 마스크 패턴을 형성하기 위하여, 먼저 기판상의 하지막 위에 상기 하지막을 제1 폭 만큼 노출시키는 개구부를 갖춘 레지스트 패턴을 형성한다. 이어서, 상기 레지스트 패턴의 표면에 실리콘을 함유하는 자기조립 분자층을 형성한다. 반도체 기판상에 상기 하지막을 제1 폭 만큼 노출시키는 개구부를 갖춘 레지스트 패턴을 형성한 후, 상기 레지스트 패턴의 표면에만 선택적으로 실리콘을 함유하는 자기조립 분자층을 형성하여 하지막이 제1 폭 보다 작은 제2 폭 만큼 노출되도록 한다. 레지스트 패턴 및 자기조립 분자층을 식각 마스크로 하여 하지막을 식각하여 미세 패턴을 구현한다.
자기조립, 레지스트, 실리케이트 올리고머, 가수분해 산물, 졸-겔 반응-
公开(公告)号：KR100903969B1
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：KR1020070057459
申请日：2007-06-12
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C12Q1/68
CPC classification number: C12Q1/6834 , B01J19/0046 , B01J2219/00382 , B01J2219/00387 , B01J2219/00432 , B01J2219/00529 , B01J2219/00596 , B01J2219/00608 , B01J2219/00617 , B01J2219/00621 , B01J2219/00626 , B01J2219/00637 , B01J2219/00659 , B01J2219/00662 , B01J2219/00711 , B01J2219/00722 , B01L3/5027 , B01L3/502707 , B01L2300/0654 , B01L2300/0867 , B82Y30/00 , C40B50/18 , C40B60/08
Abstract: 생산성이 향상된 마이크로 어레이, 마이크로 어레이용 기판 및 이들의 제조 방법이 제공된다. 마이크로 어레이는 제1 영역과 제2 영역으로 구분되는 기판, 하기 화학식 1 또는 하기 화학식 2로 표시되는 다수의 링커로서 제1 영역의 기판에 직접 커플링되며 제2 영역의 기판에는 커플링되지 않는 다수의 링커 및 각 링커에 커플링되어 있는 프로브를 포함한다.
(단, 상기 X는 상기 기판과 커플링되는 사이트이고, 상기 R은 히드록시기, 알데히드기, 카르복실기, 아미노기, 아미드기, 티올기, 할로기, 에폭시기 또는 술포네이트기이고, 상기 m은 3 내지 10인 정수이고, 상기 p는 1 내지 30인 정수이고, 상기 q는 1 내지 15인 정수이다.)
마이크로 어레이, 알켄 화합물, 링커, 광반응-
公开(公告)号：KR1020090029045A
公开(公告)日：2009-03-20
申请号：KR1020070094290
申请日：2007-09-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N27/414 , G01N27/00 , B82B1/00 , B82B3/00
CPC classification number: G01N27/4145 , B82Y10/00 , B82Y15/00 , G01N27/4146 , H01L51/0595 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: A biosensor using nano-material as a channel of a transistor and a manufacturing method thereof are provided to read difference of conductance through a first signal wire and a second signal wire as the nano-structure of a semiconductor shows specific conductance in case a probe is combined with a bio-sample. A biosensor using nano-material as a channel of a transistor comprises: a first and second signal wires(150,160) installed inside an insulating layer; a nano-structure of a semiconductor electrically connected to the first signal wire and the second signal wire; and a plurality of probes(200) combined on the nano-structure of the semiconductor. The nano-structure of the semiconductor shows specific conductance in case the probe is combined with a bio-sample.
Abstract translation: 提供了使用纳米材料作为晶体管的沟道的生物传感器及其制造方法，以通过第一信号线和第二信号线读取电导差，因为半导体的纳米结构在探针为 结合生物样品。 使用纳米材料作为晶体管的通道的生物传感器包括：安装在绝缘层内的第一和第二信号线（150,160）; 电连接到第一信号线和第二信号线的半导体的纳米结构; 以及组合在半导体的纳米结构上的多个探针（200）。 半导体的纳米结构在探头与生物样品组合的情况下显示比电导。
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公开(公告)号：KR1020090012582A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：KR1020070076518
申请日：2007-07-30
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01L21/6715 , B01J19/0046 , B01J2219/00484 , B01J2219/00493 , B01J2219/00527 , B01J2219/00529 , B01J2219/00612 , B01J2219/00722 , B01J2219/00725 , H01L21/67126
Abstract: An apparatus for synthesizing polymer on a substrate and a method of synthesizing polymer are provided to enhance the reaction yield of the coupling material and monomer by improving the contact relation between the sample for a substrate and the bio polymer synthesis. An apparatus for synthesizing polymer comprises a reaction chamber(100), a shaking apparatus(200), a fluid supply tube and a fluid exhaust pipe. The reaction chamber includes a chamber body and a chamber cover. The chamber body supports the substrate. The chamber cover is contacted with the border of substrate. The shaking apparatus comprises a driving shaft and a servo motor. The driving shaft is connected to the reaction chamber. The servo motor runs the driving shaft. The fluid supply tube supplies the sample for the bio polymer synthesis and inert gas to the reaction chamber.
Abstract translation: 提供了一种用于在基材上合成聚合物的装置和聚合物的合成方法，以通过改进基材样品与生物聚合物合成之间的接触关系来提高偶联材料和单体的反应产率。 合成聚合物的装置包括反应室（100），摇动装置（200），流体供应管和流体排出管。 反应室包括室主体和室盖。 腔体支撑衬底。 室盖与基板的边界接触。 摇动装置包括驱动轴和伺服电动机。 驱动轴连接到反应室。 伺服电机运行驱动轴。 流体供应管将用于生物聚合物合成的样品和惰性气体供应到反应室。
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