公开(公告)号：KR100161625B1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR1019950040543

申请日：1995-11-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송호기 ,  배성동 ,  최찬승 ,  차주찬

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 픽 아암이 카세트로부터 웨이퍼를 핸들링하여 플랫 존센서와 공정 챔버 사이인 플랫 존 확인위치로 이동시키고, 이 플랫 존 확인위치에서 웨이퍼의 플랫 존 위치를 확인하기 위해 웨이퍼를 소정의 속도로 회전시키는 오리엔터 구동방법에 관한 것으로, 상기 웨이퍼가 픽 아암의 고정부에 부딪칠 때 공정 챔버의 대향측인 플랫 존 센서쪽으로 이동되도록 오리엔터의 회전방향을 설정하여 된 것이다.
따라서 웨이퍼가 플랫 존 센서에 걸려 오리엔터로부터 떨어지지 않게 되는 것이고, 이로써 웨이퍼가 깨지는 등의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019970030279A

公开(公告)日：1997-06-26

申请号：KR1019950042897

申请日：1995-11-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 오용섭 ,  배성동 ,  신동진 ,  송우철

IPC: H01L21/205

Abstract: 배기라인에 뜨거운 N
2 가스를 주입하여 설비가 가동중일 때 생성되는 오일성분의 액체가 발생하는 것을 개선하는 이온주입설비의 가스 배기장치가 개시되어 있다. 본 발명은, 가스공급원에서 특정 가슬ㄹ 공급받아 이온 공급원에서 이온빔 생성후 발생하는 부산물을 터미널펌프로 배기하도록 구성된 이온주입설비의 가스 배기장치에 있어서, 상기 터미널 펌프로부터 가스를 배기하는 상기 배기라인에 N
2 가스를 공급하도록 연결된 N
2 가스 공급수단이 설치된 것을 특징으로 한다. 따라서, 이온주입설비의 배기라인에 오일성분의 액체가 축적되는 것을 개선할 수 있고, 터미널에 인가되는 고전압에 의해서 발생하는 아킹에 의해서 발생하는 화재를 방지할 수 있는 효과가 있다.