公开(公告)号：KR1020090025582A

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：KR1020070090541

申请日：2007-09-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송호기

IPC: H01J37/36 ,  H01J37/30

Abstract: A source head arc chamber of the ion implantation equipment is provided to maintain the constant interval between a cathode and a cathode liner according to the interference preventing hole. A side liner is formed at right and left sides of source head arc chamber(10). A cathode liner(13) is formed at the front side of the source head arc chamber. A cathode inserting hole is formed in the cathode liner. A cathode(12) is inserted into the cathode inserting hole. The repeller liner is formed at the backplane of the source head arc chamber. The repeller inserting hole is formed at the repeller liner. The repeller(14) is inserted into the repeller inserting hole.

Abstract translation: 提供离子注入设备的源头电弧室，以根据防干扰孔保持阴极和阴极衬套之间的恒定间隔。 在源头电弧室（10）的左右两侧形成有侧衬。 阴极衬套（13）形成在源头电弧室的前侧。 在阴极衬套中形成阴极插入孔。 阴极（12）插入到阴极插入孔中。 排斥衬垫形成在源头电弧室的背板。 排斥器插入孔形成在排斥衬垫上。 排斥器（14）插入推斥器插入孔中。

公开(公告)号：KR1019990041985A

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019970062681

申请日：1997-11-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 나종찬 ,  백사원 ,  송호기 ,  박철민

IPC: H01L21/265

Abstract: 이온 주입장비에서 주입되는 이온 양의 측정하기 위해 슬릿 어셈블리 후단에 결합되는 셋-업 컵에 있어서, 이온 빔이 충돌하며 셋-업 컵의 내부공간에 고정되는 삽입 흑연을 교체하거나 사용이 끝난 삽입 흑연의 제거가 용이하게 하도록 하고, 삽입 흑연을 제거하는 과정에서 셋-업 컵의 내부 공간이 손상을 받는 것을 방지할 수 있는 구조를 갖는 셋-업 컵에 관한 것으로서, 삽입 흑연이 고정되는 내부 공간을 형성하는 내벽을 갖는 하우징을 상부 하우징과 하부 하우징으로 분리할 수 있도록 하거나, 펀치에 의해 삽입 흑연을 제거할 때 펀치가 삽입되는 제거 구멍의 크기를 삽입 흑연 보다 조금 작게 하여 흑연이 쉽게 제거되도록 하거나, 또는 내부 공간의 크기를 삽입 흑연 보다 조금 크게 하고 사용 중에는 흑연을 하우징을 관통하는 고정 나사에 의해 � ��정하도록 하고 흑연을 제거할 때에는 위 고정 나사를 풀어서 흑연을 제거할 수 있도록 한다.

公开(公告)号：KR1019990039620A

公开(公告)日：1999-06-05

申请号：KR1019970059769

申请日：1997-11-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이동규 ,  배성동 ,  송호기

IPC: H01L21/68

Abstract: 반도체소자를 제조하는 데 사용되는 이온주입 장비의 픽크 암이 개시되어 있다. 본 발명은 스크루에 의해 이동되는 이온주입 장비의 픽크 암에 있어서, 일부분이 개구된 "O"링 형태의 웨이퍼 지지부 및 웨이퍼 지지부로부터 연장되어 스크루와 접촉하는 고정부로 구성되고 세라믹 물질로 형성된 몸체와, 웨이퍼 지지부의 앞면에 복수의 패드를 부착시키기 위하여 형성된 복수의 앞면 패드 홈과, 웨이퍼 지지부의 뒷면에 복수의 패드를 부착시키기 위하여 형성된 복수의 뒷면 패드 홈과, 고정부의 소정영역을 관통하는 복수의 홀을 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR100178616B1

公开(公告)日：1999-04-15

申请号：KR1019950052280

申请日：1995-12-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송호기 ,  옥경하 ,  조신현 ,  허장무

IPC: H01L21/265

Abstract: 본 발명은 이온 주입기의 빔 라인 챔버를 벤트시키는 방법 및 그 제어장치에 관한 것으로, 벤트방법은 상기 빔 라인 챔버의 진공상태를 유지시키는 터보 펌프내에 설치된 블레이드의 회전속도를 검출하는 단계 및 상기 블레이드의 회전속도가 0일 때 빔 라인 챔버내에 퍼지가스를 주입시켜 벤트시키는 단계로 이루어지고, 또한 이온 주입기의 빔 라인 챔버를 벤트시키기 위한 제어장치는, 터보 펌프 내에 설치된 블레이드의 회전속도를 검출하는 펌프 회전속도 검출부와, 밸브의 개폐에 따라 빔 라인 챔버내로 퍼지가스공급원에 저장된 퍼지가스를 주입시키는 퍼지가스 공급부 및 상기 펌프 회전속도 검출부에서 검출된 회전속도신호를 인가받아 회전속도가 0일 때 상기 퍼지가스 공급부의 밸브에 밸브개방신호를 인가하여 상기 퍼지가스 공급부를 제어� ��는 제어부로 구성된 것이다.
따라서 벤트성능이 향상되는 것이고, 또한 블레이드 및 이를 축지지하는 베어링의 손상이 방지되는 것이며, 이로써 블레이드 및 베어링의 수명이 연장되고 빔 라인 챔버가 오염되는 것이 방지되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR2019980009694U

公开(公告)日：1998-04-30

申请号：KR2019960021817

申请日：1996-07-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송호기 ,  최찬승 ,  허장무 ,  배성동

IPC: H01L21/304

Abstract: 공정설비의온도항하용및 절연용으로사용되는순수를공급하는순소긍급원과공정설비사이의순수공급라인에설치된필터의교체작업후 백업(Back up)tl시간을감소시키는반도체제조설비의순수공급장치에관한것이다. 본발명은, 순수공급원에서공급되는순수가펌프의펌핑에의해서공급라인상에순차적으로위치한복수의필터를통과하여진공펌프의펌핑동작에의해서특정진공상태가형성되는공정설비로공급되도록구성된반도체제조설비의순수공급장치에있어서, 상기복수의필터전단및 후단에제1밸브및 제2밸브가 설치되고, 상기제1밸크브및 펌크사이에서분기되어상기제2밸크브및 상기진공펌프사이에서합쳐지는분기라인상에제3밸브가설치됨을특징으로한다. 따라서, 진공펌프의펌핑동작을멈추지않고핀터교체작업을실시할수 있으므로필터교체작업후 백업시간을감소시킬수 있는효과가있다.

Abstract translation: 处理设备更换安装在净sogeung来源和工艺设备之间的净化水供给管线中的过滤器，用于提供用于和的（备份）纯化的半导体生产设备的供水绝缘温度hangha用于减少TL时间的纯水之后备份的 它涉及一种装置。 本发明中，被配置为供应到处理设备的特定的真空，其通过由所述泵的泵从纯水供给源供给的纯水通过多个位于序列在供给线到真空泵的抽吸动作滤波器形成的半导体制造 在纯水供给植物，和一个第一阀和设置在所述多个过滤器前端和后端的第二阀之间的分支，所述第一阀keubeu和所述间peomkeu在一起第二阀keubeu和真空泵 它的特征在于，第三阀设置在所述分支线。 因此，在不停止真空泵的抽吸动作，因为它可以进行替换品特存在可以过滤器更换后减少备份时间的效果。

公开(公告)号：KR2019970046671U

公开(公告)日：1997-07-31

申请号：KR2019950038101

申请日：1995-12-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송호기 ,  허장무 ,  배성동 ,  최찬승

IPC: H01L21/265

Abstract: 본고안은반도체제조공정의웨이퍼가공에적용되어웨이퍼상에이온을주입시키기위한이온주입설비의오리엔트라인에관한것으로서, 특히웨이퍼의각도유지를위해서마련되는오리엔트모터에접속되는각종의전원라인을신축성이우수하게코일링으로구성한이온주입설비의개선된오리엔트라인에관한것으로웨이퍼의오리엔트가가능하도록설치된오리엔트모터와, 상기오리엔트모터의구동을위하여모터파워라인과엔코더라인이접속된이온주입설비에있어서, 상기파워라인과엔코더라인이충분한신축성을보유할수 있도록코일형상의꼬임구조로이루어짐을특징으로하는이온주입설비의개선된오리엔트라인.

公开(公告)号：KR1020020074575A

公开(公告)日：2002-10-04

申请号：KR1020010014417

申请日：2001-03-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송호기

IPC: H01L21/265

Abstract: PURPOSE: A rotation apparatus of an elevator plate in ion implantation equipment is provided to reduce a component cost by forming a projection having a changeable structure to exchange only a projection of an elevator plate instead of the elevator plate. CONSTITUTION: A cassette support plate(43) is installed on an upper surface of an elevator plate(120). A projection(123) is installed on one side of a body(121) of the elevator plate(120). The projection(123) is inserted into a ring portion(60a) of a link bar(60) installed in a sidewall inside a load lock chamber(10). The projection(123) is used for rotating the elevator(120) as much as a predetermined angle. The projection(123) is fixed to the body(121) by using a combination screw. The projection(123) has an exchangeable structure in order to separate only a predetermined side of the projection(123) which is contacted with the link bar(60).

Abstract translation: 目的：提供一种离子注入设备中的电梯板的旋转装置，通过形成具有可变结构的突起来仅仅更换电梯板的投影而不是升降板来降低部件成本。 构成：在电梯板（120）的上表面上安装有盒支撑板（43）。 突起（123）安装在电梯板（120）的主体（121）的一侧。 突起（123）插入到安装在负载锁定室（10）内的侧壁内的连杆（60）的环部（60a）中。 突起（123）用于将电梯（120）旋转多达预定角度。 突起123通过使用组合螺钉固定在主体121上。 突起（123）具有可更换的结构，以仅分离与连杆（60）接触的突起（123）的预定侧。

公开(公告)号：KR1020000027414A

公开(公告)日：2000-05-15

申请号：KR1019980045334

申请日：1998-10-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송호기 ,  이동규

IPC: F16K1/00

Abstract: PURPOSE: A pneumatic valve is provided to sense the open or close state of a valve easily and to make easy the installation by improving the structure. CONSTITUTION: A pneumatic valve composed of a valve housing(410), a valve cover, a valve head, a valve stem(441) and a switch device additionally comprise of a sensor(161) sensing the elevation of the valve stem for the confirmation of the open or close state of a pneumatic valve. Herein, the pneumatic valve is in an open state according to the supply of the compressed air so that fluid flows by passing in the valve housing. The sensor senses the upper end part of the valve stem and makes a confirmation of the open state of the pneumatic valve according to the approach or contact of the upper end part of the valve stem to the sensor when the valve stem is lifted completely.

Abstract translation: 目的：提供一种气动阀，用于轻松检测阀的打开或关闭状态，并通过改进结构使安装变得容易。 构成：由阀壳（410），阀盖，阀头，阀杆（441）和开关装置构成的气动阀还包括感测阀杆的高度以用于确认的传感器（161） 的气动阀的打开或关闭状态。 这里，根据压缩空气的供给，气动阀处于打开状态，使得流体通过阀壳体流动。 传感器感测阀杆的上端部，并且当阀杆被完全提升时，根据阀杆的上端部与传感器的接触或接触，来确认气动阀的打开状态。

公开(公告)号：KR1020000025327A

公开(公告)日：2000-05-06

申请号：KR1019980042359

申请日：1998-10-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송호기 ,  김재호 ,  정지훈 ,  이동규

IPC: H01L21/00

Abstract: PURPOSE: A set up cup assembly of an ion injection equipment for manufacturing a semiconductor device is provided to perform a precise operation of an equipment by detecting a varied location of an ion beam measurement cup. CONSTITUTION: A setup cup assembly of an ion injection equipment for manufacturing a semiconductor device comprises a location appreciation sensor for detecting precisely a location according to the variation between an in-position and an out-position of an ion beam measurement cup. In order to detect a location of an ion beam measurement cup(13) disposed to an one side end portion of a piston axis(12), a guide(18) is disposed to other side end portion of the piston axis. A sensor flag(21) is disposed to the guide. A first location appreciation sensor(23) and a second location appreciation sensor(24) are contacted with the sensor flag.

Abstract translation: 目的：提供用于制造半导体器件的离子注入设备的安装杯组件，以通过检测离子束测量杯的不同位置来执行设备的精确操作。 构成：用于制造半导体器件的离子注入设备的安装杯组件包括位置感应传感器，用于根据离子束测量杯的就位和向外位置之间的变化来精确地检测位置。 为了检测设置在活塞轴线（12）的一侧端部的离子束测量杯（13）的位置，引导件（18）设置在活塞轴线的另一侧端部。 传感器标志（21）设置在引导件上。 第一位置升值传感器（23）和第二位置升值传感器（24）与传感器标志接触。

公开(公告)号：KR100219401B1

公开(公告)日：1999-09-01

申请号：KR1019950049328

申请日：1995-12-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 배성동 ,  최찬승 ,  송호기 ,  차주찬

IPC: H01L21/265

Abstract: 본 발명은 패러데이컵에 장착된 웨이퍼에서 발생되는 2차전자를 억제할 수 있도록 하는 이온주입설비의 패러데이컵 어셈블리에 관한 것으로, 이는 바이어스 전원으로부터 패러데이전압이 인가되는 바이어스 플레이트를 바이어스 전원에 연결하여 패러데이전압이 바이어스 전원으로 피드백되도록 하고, 이 바이어스 전원은 패드백되는 패러데이전압의 레벨에 맞게 바이어스 플레이트에 인가되는 패러데이전압을 조절하는 한편, 패러데이전압을 모니터링할 수 있도록 구성되어서, 바이어스 플레이트에 공급되는 패러데이전압을 정확하게 조절하면서도 패러데이전압을 모니터링할 수 있는 것이다.