公开(公告)号：KR1019970030591A

公开(公告)日：1997-06-26

申请号：KR1019950040541

申请日：1995-11-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 신동진 ,  주영병 ,  차주찬 ,  허장무

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 웨이퍼를 적재한 카세트가 놓여지는 베이스 플레이트와, 이 베이스 플레이트가 소정거리 승. 하강하도록 하는 리드 스크류로 구성된 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터에 관한 것으로, 상기 웨이퍼의 일측면에 돌출된 "H" 바의 수평 바와 대응하는 베이스 플레이트상에 적어도 수평 바보다 큰 면적의 홈을 형성하여 베이스 플레이트상에 양측의 수직 바만 접촉되어 카세트가 놓여지도록 구성된 것이다.
따라서 카세트가 베이스 플레이트상에 기울어지거나 흔들림없이 안정적으로 놓여지게 되므로 카세트내에 적재된 웨이퍼가 수평상태를 유지할 수 있는 것이고, 엘리베이터의 승, 하강시 카세트의 흔들림이 없게 되는 것이며, 이로써 픽아암이 웨이퍼와 접촉되지 않고 정확하게 핸들링될 수 있어 웨이퍼와의 접촉으로 인한 손상이 방지되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019970072074A

公开(公告)日：1997-11-07

申请号：KR1019960010623

申请日：1996-04-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송호기 ,  최찬승 ,  배성동 ,  차주찬

IPC: H01L21/265

Abstract: 이온주입설비에서는 모든 이온들이 존재하는 경로에 진공상태를 유지하기 위하여 진공 장치가 이용된다.
진공장치는 드라이 펌프와 여러개의 관으로 구성되어 있는데 소정의 관은 소스 헤드와 연결되어 진공 상태를 유지하도록 하는 역할을 하며 배기관은 고열을 배출하는 역할을 한다. 이때 배기관의 구조를 변형하여 트랩을 설치함으로써 완전한 배출이 이루어지도록 한다.

公开(公告)号：KR1020040076128A

公开(公告)日：2004-08-31

申请号：KR1020030011474

申请日：2003-02-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 차주찬

IPC: H01L21/265

Abstract: PURPOSE: A partially exchangeable arc chamber top plate of ion implantation equipment is provided to remarkably reduce maintenance cost by replacing only an inner top plate having a top plate hole. CONSTITUTION: A top plate hole(130) through which extracted ions pass is formed in the center of the inner top plate(140). At least one coupling hole is formed at the end of both sides of the inner top plate confronting each other. A placement end is formed in the lower part of the inner top plate, introduced inward. A placement protrusion that protrudes inward and has a coupling groove corresponding to the coupling hole is formed in the lower part of an outer top plate(110). A coupling member(120) passes through a coupling hole of the inner top plate to be connected to the coupling groove of the outer top plate, connecting the inner top plate with the outer top plate. A source head arc chamber top plate includes the inner top plate, the outer top plate and the coupling member.

Abstract translation: 目的：提供离子注入设备的可部分交换的电弧室顶板，通过仅更换具有顶板孔的内顶板来显着降低维护成本。 构成：在内顶板（140）的中心形成有提取离子通过的顶板孔（130）。 在彼此面对的内顶板的两侧的端部处形成至少一个联接孔。 在内侧顶板的下部形成有向内侧引入的配置端。 在外顶板（110）的下部形成有向内突出并具有与联接孔对应的联接槽的配置突起。 联接构件（120）穿过内顶板的连接孔，以连接到外顶板的联接槽，将内顶板与外顶板连接。 源头电弧室顶板包括内顶板，外顶板和联接构件。

公开(公告)号：KR2019970046833U

公开(公告)日：1997-07-31

申请号：KR2019950041821

申请日：1995-12-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 옥경하 ,  최찬승 ,  신동진 ,  차주찬

IPC: H01L21/68

Abstract: 본고안은슬라이딩센서가장착된로드록 시스템에관한것으로서, 본고안은이송장치의고장으로인한웨이퍼의파손을사전에방지할수 있는슬라이딩센서가장착된로드록 시스템을제공하는데그 목적을두고있다. 상기의목적을달성하기위한본 고안에의한슬라이딩센서가장착된로드록 시스템은프로세스챔버로부터공정이끝난웨이퍼를밸브를통해탑재하도록구비된탑재부와, 상기탑재부와밸브사이의상하단에장착되어웨이퍼의탑재여부를감지하도록구비된감지부로구성됨을특징으로한다.

公开(公告)号：KR1020000026374A

公开(公告)日：2000-05-15

申请号：KR1019980043883

申请日：1998-10-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 차주찬

IPC: H01L21/98

Abstract: PURPOSE: A handler assembly of semiconductor device is provided to lengthen the life span of a multi pad by using both sides of the multi pad. CONSTITUTION: A handler assembly of semiconductor device comprises: a handler(100) having a groove(200), a multi pad(400) fitted into the groove(200) of the handler(100), and a fixing unit(300) formed on the handler and fixing the multi pad into the groove. The fixing unit is a projection(300) formed on a side wall of the groove by degree less than 90 degrees. About 60 degrees are preferable for the angle of the projection(300) against the side wall of the groove(200).

Abstract translation: 目的：提供半导体器件的处理器组件，以通过使用多焊盘的两侧来延长多焊盘的寿命。 构成：半导体器件的处理器组件包括：具有凹槽（200）的处理器（100）和装配到处理器（100）的凹槽（200）中的多垫片（400）和形成的定影单元（300） 在处理器上并将多垫固定到凹槽中。 固定单元是形成在凹槽的侧壁上的程度小于90度的突起（300）。 对于突起（300）相对于槽（200）的侧壁的角度，优选大约60度。

公开(公告)号：KR1019990032348A

公开(公告)日：1999-05-15

申请号：KR1019970053363

申请日：1997-10-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이동규 ,  차주찬 ,  송호기 ,  허장무

IPC: H01J37/04

Abstract: 본 발명은 웨이퍼 소자를 가공하는 제조 장치 중에서 웨이퍼에 이온과 같은 불순물을 주입하는 중전류 이온 주입 장치(Medium current I
2 P apparatus)에 관한 것이며, 더욱 구체적으로는 웨이퍼에 이온이 주입될 때 요구되는 소정의 각도를 구현하기 위하여 종래의 원판 구동부 내의 구동장치가 원판을 회전시키는 등의 과중한 부담을 줄이기 위한 것이며, 이를 위하여 장착부 몸체 내의 회전장치가 원판 구동부를 경사진 회전축에 의해 회전시킬 때 회전범위를 적정범위로 제한할 수 있도록 회전범위를 연장한 제한수단이 형성된 웨이퍼 장착부의 구조를 개시하고 또한 제한수단을 경사진 회전축에서 돌출된 가이드 핀과 장착부 몸체에 형성된 가이드 홈을 포함하는 구조로 개시하며, 이러한 구조를 통하여 웨이퍼를 이온 주사방향에 대하여 양의 방향 또는 음� �� 방향으로 소정의 각도로 유지시킬 수 있으며, 이에 따라 구동장치의 과중한 부담으로 인한 손상을 방지하고 결과적으로 이온 주입 공정의 효율을 향상한다.

公开(公告)号：KR100161628B1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR1019950042513

申请日：1995-11-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 주영병 ,  옥경하 ,  차주찬 ,  허장무

IPC: H01L21/68

Abstract: 비틀림 방지 및 강도를 보강한 반도체 이온주입장치의 셋업 컵 설비와 실린더 머신의 연결장치가 개시되어 있다.
본 발명은 셋업 컵 설비측과 연결된 레버와 에어 실린더와의 사이에 절연체로 구성된 연결장치에 있어서, 양측벽에 구멍이 형성되어 있으며, 양측벽을 지지하는 지지부 중앙에 구멍이 형성되어 있는 크레비스; 크레비스의 지지부 윗면에 밀착되도록 머리가 형성되고, 머리의 중앙에 지지부에 형성된 구멍을 관통하는 단봉을 이루며, 단봉의 외벽에 수나사부가 형성된 스크류; 스크류에 형성된 수나사부와 짝을 이루는 암나사부가 형성되어 스크류와 크레비스를 체결·고정토록 하는 고정구; 및 크레비스의 양측벽 사이에 레버가 핀 체결에 의해 좌·우 편향이 없도록 레버의 양측과 크레비스의 사이에 핀으로 체결되는 와셔;를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
따라서, 연결장치의 강성을 구조적으로 보강함으로써 장시간 사용할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100161624B1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR1019950040541

申请日：1995-11-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 신동진 ,  주영병 ,  차주찬 ,  허장무

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 웨이퍼를 적재한 카세트가 놓여지는 베이스 플레이트와, 이 베이스 플레이트가 소정거리 승,하강하도록 하는 리드 스크류로 구성된 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터에 관한 것으로, 상기 웨이퍼의 일측면에 돌출된 H 바의 수평 바와 대응하는 베이스 플레이트상에 적어도 수평 바보다 큰 면적의 홈을 형성하여 베이스 플레이트상에 양측의 수직 바만 접촉되어 카세트가 놓여지도록 구성된 것이다.
따라서 카세트가 베이스 플레이트상에 기울어지거나 흔들림없이 안정적으로 놓여지게 되므로 카세트내에 적재된 웨이퍼가 수평상태를 유지할 수 있는 것이고, 엘리베이터의 승,하강시 카세트의 흔들림이 없게 되는 것이며, 이로써 픽아암이 웨이퍼와 접촉되지 않고 정확하게 핸들링될 수 있어 웨이퍼와의 접촉으로 인한 손상이 방지되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019970052130A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：KR1019950049328

申请日：1995-12-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 배성동 ,  최찬승 ,  송호기 ,  차주찬

IPC: H01L21/265

Abstract: 본 발명은 웨이퍼에 주입되는 이온에 의하여 발생되는 2차전자 발생억제용 패러데이전압을 피드백(Feed-Back)상태에 따라 제어하고 피드백되는 패러데이전압을 모니터링하는 이온주입설비의 패러데이컵 어셈블리에 관한 것이다.
본 발명에 따른 이온주입설비의 패러데이컵 어셈블리는, 패러데이텁과 바이어스플레이트 및 접지플레이트를 구비하고, 상기 바이어스플레이트에 상기 패러데이컵에서의 2차전자 발생억제를 우히나 패러데이전압이 인가되도록 바이어스 전원이 구성된 이온주입설비에서, 상기 바이어스플레이트에 인가된 페러데이전압을 피드백(Feed-Back)하여 상기 바이어스전원의 패러데이전압공급을 제어하는 피드백수단 및 상기 피드백 패러데이전압을 모니터링 하는 모니터링수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 패러데이전압의 인가상태를 정확히 확인할 수 있고 또 제어할 수 있으므로 웨이퍼의 불량을 줄여서 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019970030599A

公开(公告)日：1997-06-26

申请号：KR1019950042513

申请日：1995-11-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 주영병 ,  옥경하 ,  차주찬 ,  허장무

IPC: H01L21/68

Abstract: 비틀림 방지 및 강도를 보강한 반도체 이온주입장치의 셋업 컵 설비와 실린더 머신의 연결장치가 개시되어 있다.
본 발명은 셋업 컵 설비측과 연결된 레버와 에어 실린더와의 사이에 절연체로 구성된 연결장치에 있어서, 양측벽에 구멍이 형성되어 있으며, 양측벽을 지지하는 지지부 중앙에 구멍이 형성되어 있는 크레비스; 크레비스의 지지부 윗면에 밀착되도록 머리가 형성되고, 머리의 중앙에 지주부에 형성된 구멍을 관통하는 단봉을 이루며, 단봉의 외벽에 수나사부가 형성된 스크류; 스크류에 형성된 수나사부와 짝을 이루는 암나사부가 형성되어 스크류와 크레비스를 체결·고정토록 하는 고정구; 및 크레비스의 양측벽 사이에 레버가 핀 체결에 의해 좌·우 편향이 없도록 레버의 양측과 크레비스의 사이에 핀으로 체결되는 와셔; 를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
따라서, 연결장치의 강성을 구조적으로 보강함으로써 장시간 사용할 수 있는 효과가 있다.