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公开(公告)号：KR100164504B1
公开(公告)日：1999-02-01
申请号：KR1019950043924
申请日：1995-11-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/18
Abstract: 본 발명은 반도체소자 제조장비에 사용되는 저압화학기상증착장비에 관한 것으로 특히 공정조건을 개선하여 웨이퍼에 증착되는 막질의 균일성을 개선하기 위한 저압화학기상증착장비의 인젝터 구조에 대한 것이다.
종래의 저압화학기상증착장비는 공정조건중 반응실로 공급되는 공정가스가 위치의 따른 농도의 분포가 고르지 않아 공정의 진행시 박막의 균일도를 저하시키는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해소하기 위한 것으로, 반도체소자 제조공정중 웨이퍼의 표면에 박막을 형성하기 위해 반응실내에 반응가스를 공급하는 인젝터의 길이를 조절하여 챔버 위치에 내의 공급되는 가스의 농도분포를 일정하게 유지지하므로서 상하 위치의 차이를 갖는 웨이퍼의 표면에 균일한 박막이 형성되도록 한 것이다.-
公开(公告)号：KR1019970051979A
公开(公告)日：1997-07-29
申请号：KR1019950049333
申请日：1995-12-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/20
Abstract: 본 발명은 반도체소자 제조설비의 진공 밸브에 관한 것으로, 반도체소자의 제조공정중 저압 화학기상증착(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)장비등 여러 가지 저압 공정장비에서 공정후 발생되는 폐기물이 배출되는 배출라인의 통로를 개폐하도록 설치된 반도체소자 제조설비의 진공 밸브에 있어서, 개폐판의 직선 왕복이동에 따라 수축 및 팽창하여 기밀이 지속적으로 유지되도록 구비한 벨로우즈가 완전수축되지 않도록 벨로우즈 수축방향으로의 개폐판 이동거리를 제한하는 스토퍼가 밸브몸체내에 설치된 구성이다.
따라서 벨로우즈의 완전수축이 방지되어 용접부위에서의 균열 및 깨짐현상이 감소되어 이로 인한 공정 폐기물의 누출이 방지되는 것이고, 공정 폐기물의 배출시 벨로우즈의 표면 및 용접부위가 노출되지 않아 벨로우즈의 수명이 연장되는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019970030248A
公开(公告)日：1997-06-26
申请号：KR1019950043924
申请日：1995-11-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/18
Abstract: 본 발명은 반도체소자 제조장비에 사용되는 저압화학기상증착장비에 관한 것으로 특히 공정조건을 개선하여 웨이퍼에 증착되는 막질의 균일성을 개선하기 위한 저압화학기상증착장비의 인젝터 구조에 대한 것이다.
종래의 저압화학기상증착장비는 공정조건중 반응실로 공급되는 공정가스가 위치의 따른 농도의 분포가 고르지 않아 공정의 진행시 박막의 균일도를 저하시키는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해소하기 위한 것으로, 반도체소자 제조공정중 웨이퍼의 표면에 박막을 형성하기 위해 반응실내에 반응가스를 공급하는 인젝터의 길이를 조절하여 챔버 위치에 내의 공급되는 가스의 농도 분포를 일정하게 유지하므로서 상하 위치의 차이를 갖는 웨이퍼의 표면에 균일한 박막이 형성되도록 한 것이다.-
公开(公告)号：KR2019970023418U
公开(公告)日：1997-06-18
申请号：KR2019950036247
申请日：1995-11-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 정경수
Abstract: 본고안은케리어박스에관한것으로서, 본고안은케리어를박스내에간편하게수납하거나인출할수 있는케리어박스를제공하는데그 목적을두고있다. 상기목적을달성하기위한본 고안에의한케리어박스는손잡이가부착된케리어를수납하는몸체와, 상기몸체를여닫는도어로구성된케리어박스에있어서, 상기몸체의전면부중앙에는수납된케리어의손잡이를용이하게붙잡아꺼낼수 있도록노출시킨요부형상의전면노출부가성형되어있고, 상기도어의상부중앙에는전면노출부에완전히결합되어로킹될수 있도록철부형상의도어잠김부가성형되어있음을특징으로한다.
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