公开(公告)号：KR1019980078093A

公开(公告)日：1998-11-16

申请号：KR1019970015518

申请日：1997-04-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임동하 ,  최선봉 ,  정효상 ,  한성규

IPC: H01L21/68

Abstract: 로드로크 챔버(Loadlock Chamber)를 경유하여 디스크로 이송되는 웨이퍼가 엘리베이트 플레이트(Elevator Plate) 상에서 진동에 의하여 돌출된 것을 감지하여 웨이퍼가 충돌 등으로 인한 손상을 방지하도록 개선시킨 이온주입설비의 웨이퍼 로딩 감시 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 로드로크 챔버 내부로 엘리베이트 플레이트 상부에 웨이퍼를 실은 카세트를 로딩하는 이온주입설비의 웨이퍼 로딩 감시 장치에 있어서, 상기 로드로크 챔버의 내벽에 설치되어 상기 카세트의 슬롯 방향으로 웨이퍼가 돌출되는 것을 감지하는 센싱수단, 상기 센싱수단으로부터 출력되는 센싱신호로 상기 웨이퍼의 돌출을 판단하는 웨이퍼 핸들러 컨트롤러 및 상기 웨이퍼 핸들러 컨트롤러로부터 인가되는 제어신호에 의하여 웨이퍼 로딩에 대한 인터로크 동작을 수행하는 메인 컨트롤러를 구비하여 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면 로드로크 챔버 내부에서의 웨이퍼의 손상이 방지됨으로써 웨이퍼의 수율이 극대화되는 효과가 있다.