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公开(公告)号：KR1020160074851A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：KR1020140183452
申请日：2014-12-18
CPC classification number: G01N21/17 , G01N21/47 , G01N21/4738 , G01N21/88 , G01N21/8806 , G01N21/8851 , G06T1/00 , G06T7/00 , Y10S436/807
Abstract: OCT 영상에서영역의중심점검출방법및 그장치가제공된다. 본발명의실시예에따른 OCT 영상에서영역의중심점검출방법은 OCT 영상을획득하는단계; 획득한영상을미리정해진임계값에의해이진화하는단계; 이진화영상으로부터검출하고자하는영역을후보점으로선별하는단계; 각후보점에대하여십자방향으로확장하면서검출하고자하는영역의경계지점까지트래킹하는단계; 및각 후보점중에서경계지점까지의거리가최대인후보점을중심점으로산출하는단계를포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种用于检测光学相干断层摄影（OCT）图像中的区域的中心点的方法和装置，其处理OCT图像中的多个区域的位置的指定以及并行使用相应区域的尺寸计算 一个GPU 根据本发明的实施例，用于检测OCT图像中的区域的中心点的方法包括：获取OCT图像的步骤; 将获取的图像二值化预定阈值的步骤; 从二值化图像中选择要检测的区域作为候选点的步骤; 从跨越方向从每个候选点展开的步骤，并追踪到待检测区域的边界点; 以及计算作为中心点的候选点之间距离边界点的距离最大的候选点的步骤。
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公开(公告)号：KR100410989B1
公开(公告)日：2003-12-18
申请号：KR1020010008175
申请日：2001-02-19
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 정효상
IPC: H01L21/265
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/18
Abstract: A vacuum apparatus of an ion implantation system having an ion generator includes a vacuum pump evacuating the interior of the ion generator, a vacuum line connected between the vacuum pump and the ion generator, at least one first type valve connected to the ion generator and the vacuum line for injecting an inert gas into the ion generator and the vacuum line to equalize internal and external pressures of the ion generator and the vacuum line and to remove the air from the interior of the ion generator and the vacuum line, so that oxygen does not react with an inflammable impurity inside the ion generator, and at least one second type valve connected to the ion generator for being closed or opened to maintain a pressure of the ion generator to a predetermined vacuum level.
Abstract translation: 具有离子发生器的离子注入系统的真空装置包括：真空泵，其抽空离子发生器的内部;真空管线，其连接在真空泵和离子发生器之间;至少一个第一类型的阀，其连接到离子发生器和 用于将惰性气体注入离子发生器和真空管路以平衡离子发生器和真空管路的内部和外部压力并从离子发生器和真空管路内部去除空气的真空管路， 不与离子发生器内部的易燃杂质发生反应，以及至少一个与离子发生器连接的第二类型的阀，用于关闭或打开以将离子发生器的压力保持在预定的真空水平。
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公开(公告)号：KR101711708B1
公开(公告)日：2017-03-03
申请号：KR1020140183452
申请日：2014-12-18
Abstract: OCT 영상에서영역의중심점검출방법및 그장치가제공된다. 본발명의실시예에따른 OCT 영상에서영역의중심점검출방법은 OCT 영상을획득하는단계; 획득한영상을미리정해진임계값에의해이진화하는단계; 이진화영상으로부터검출하고자하는영역을후보점으로선별하는단계; 각후보점에대하여십자방향으로확장하면서검출하고자하는영역의경계지점까지트래킹하는단계; 및각 후보점중에서경계지점까지의거리가최대인후보점을중심점으로산출하는단계를포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种用于检测光学相干断层摄影（OCT）图像中的区域的中心点的方法和装置，其处理OCT图像中的多个区域的位置的指定以及并行使用相应区域的尺寸计算 一个GPU 根据本发明的实施例，用于检测OCT图像中的区域的中心点的方法包括：获取OCT图像的步骤; 将获取的图像二值化预定阈值的步骤; 从二值化图像中选择要检测的区域作为候选点的步骤; 从跨越方向从每个候选点展开的步骤，并追踪到待检测区域的边界点; 以及计算作为中心点的候选点之间距离边界点的距离最大的候选点的步骤。
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公开(公告)号：KR1020030081655A
公开(公告)日：2003-10-22
申请号：KR1020020019990
申请日：2002-04-12
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: PURPOSE: An interlock system and a method for preventing the malfunction of the same are provided to be capable of compulsorily operating the interlock system. CONSTITUTION: An interlock system is provided with at least one semiconductor manufacturing equipment(100), at least one equipment controlling server(200) is connected to each semiconductor manufacturing equipment, and a control server(300) connected to all the equipment controlling servers for selectively controlling each equipment controlling server. At this time, the equipment controlling server outputs measurement data, wherein the measurement data include equipment data corresponding to the semiconductor manufacturing equipment and process data corresponding to a predetermined process. Preferably, the control server commands the equipment controlling server to block the progress of the predetermined process when an interlock specification corresponding to the predetermined process is undetermined.
Abstract translation: 目的：提供一种用于防止其故障的互锁系统和方法，以能够强制地操作互锁系统。 构成：具有至少一个半导体制造设备（100）的联锁系统，至少一个设备控制服务器（200）连接到每个半导体制造设备，以及控制服务器（300），连接到所有设备控制服务器 选择性地控制每台设备控制服务器。 此时，设备控制服务器输出测量数据，其中测量数据包括对应于半导体制造设备的设备数据和对应于预定处理的处理数据。 优选地，当与所述预定处理相对应的互锁指定不确定时，所述控制服务器命令所述设备控制服务器阻止所述预定处理的进行。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019980077081A
公开(公告)日：1998-11-16
申请号：KR1019970014050
申请日：1997-04-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/265
Abstract: 웨이퍼상에 원하는 이온을 효과적으로 주입시키기 위해 이온빔을 가속시키는 가속기의 내부를 고진공으로 형성하는 터보펌프의 작동상태를 실시간에 파악하고, 터보펌프 오류가 발생하면 인터로크를 수행하도록 개선시킨 이온주입설비의 가속기 터보펌프의 전류감지장치에 관한 것이다.
이온주입공정 중 빔가속을 위한 부분의 진공제공을 위한 터보펌프에 전원을 공급하도록 전원공급부를 구비한 이온주입설비의 가속기 터보펌프의 전류감지장치에 있어서, 상기 전원공급부에서 상기 터보펌프에 공급되는 전류를 감지하여 상기 터보펌프의 작동 여부를 파악하기 위한 전류감지부 및
상기 전류감지부의 전류감지 상태에 따라서 상기 이온주입공정을 인터로크하는 제어수단을 구비하여 이루어 진다.
따라서, 본 발명에 의하면 고진공 형성을 위한 터보펌프의 작동상태를 전류계를 통해 표시하여 작업자는 점검을 용이하게 수행할 수 있어서 작업상의 손실을 줄이고, 인터로크 기능을 제공하여 공정사고를 막아 효과적인 이온주입공정을 수행하는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR2019970025772U
公开(公告)日：1997-06-20
申请号：KR2019950036672
申请日：1995-11-29
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 정효상
IPC: H01L21/02
Abstract: 본고안은고진공공정챔버를구비하는반도체소자제조용장비에관한것으로, 웨이퍼를이동시킬수 있도록한 쪽면에개구부가형성된공정챔버, 상기공정챔버의안 쪽에서상기개구부를개폐시키는역할을하는차단밸브, 및상기공정챔버의바깥쪽에서상기개구부를개폐시키는역할을하는챔버도어를구비하는반도체소자제조용장비에있어서, 상기고정챔버를밀폐시키기위하여상기차단밸브및 상기챔버도어의한 쪽면가장자리부분에장착된 2중의 O-링을포함하는것을특징으로하는고진공공정챔버를구비하는반도체소자제조용장비를제공한다. 본고안에따르면, 챔버도어와차단밸브의가장자리에 2중의 O-링을장착하여하나의 O-링에오염입자가흡착될지라도나머지하나의 O-링에의해공정챔버를완전히밀폐시키어고진공으로유지시킬수 있다. 따라서, 고진공상태에서웨이퍼에원하는공정을실시할수 있으므로진공불량에의한웨이퍼의오염을방지할수 있다.
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公开(公告)号：KR100705414B1
公开(公告)日：2007-04-10
申请号：KR1020020019990
申请日：2002-04-12
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: 비가동 방지 기능을 갖는 인터록 시스템과 이의 비가동 방지 방법을 개시한다. 설비 제어서버는 반도체 제조설비의 공정 진행을 제어하고, 공정 진행에 따라 반도체 제조설비에 대응하는 설비 데이터 또는 공정 진행에 대응하는 공정 데이터를 포함하는 계측 데이터를 출력하고, 컨트롤 서버는 반도체 제조설비의 공정 진행을 설비 제어서버에 요청하고, 설비 제어서버로부터 계측 데이터가 미제공되는 경우에 공정 진행의 차단을 설비 제어서버에 요청한다. 이에 따라, 반도체 제조설비의 계측 데이터가 미제공되거나 또는 해당 계측 데이터에 대응하는 인터록 스펙이 미설정되거나, 계측 데이터가 정해진 일정 시간내에 미접수되는 경우에 제조설비의 가동을 강제적으로 차단할 수 있다.
설비, 인터록, 방지, 공정, 차단, 스펙, 계측, 강제-
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公开(公告)号：KR1019980075307A
公开(公告)日：1998-11-16
申请号：KR1019970011487
申请日：1997-03-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/18
Abstract: 디스크 드라이브의 진동을 감지하는 센서를 달아 디스크 드라이브의 교체시기를 알고 웨이퍼의 손상을 방지하는 이온주입설비의 디스크 드라이브에 관한 것이다.
본 발명은 웨이퍼를 부착한 원판형의 디스크와 상기 디스크에 연결된 구동축과 상기 구동축을 회전축에 연결하여 디스크를 회전시키는 모터부로 이루어진 이온주입설비의 디스크 드라이브에 있어서, 회전부위에 접촉하여 진동을 감지하는 센서와, 상기 센서로부터 전기적 신호를 받아 진동도를 판단하는 데이터 처리부와 상기 데이터 처리부의 결과를 수신받아 모터부를 제어하는 제어부로 구성된 것을 특징으로 한다.
따라서 고속회전시 발생하는 디스크 드라이브의 진동을 사전에 탐지하여 웨이퍼 및 디스크에 손상을 주지 않도록 하고 디스크 및 구동축의 교체시기를 알아 이온주입설비의 효율을 최적상태로 유지시킬 수 있다.
또한, 진동이 증폭하는 것을 사전에 예방하여 디스크 드라이브를 보호하며 모터부의 최적회전수를 찾아 진동을 축소하는 효과를 갖는 것이다.
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