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公开(公告)号：KR100558647B1
公开(公告)日：2006-03-14
申请号：KR1020030067869
申请日：2003-09-30
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: G01R1/073
Abstract: 본 발명에 따른 프로브는 기판, 기판 위에 형성되어 있는 제1 도전막, 제1 도전막 위에 형성되어 있는 절연막, 절연막의 내부에 형성되어 있으며 마이크로파가 전송되는 전송선, 전송선의 좌측 또는 우측에 형성되어 있으며, 복수개의 제1 연결 부재를 통해 제1 도전막과 연결되어 있는 접지선, 절연막 위에 형성되어 있는 제2 도전막, 전송선의 좌측 및 우측에 각각 형성되어 있으며 절연막을 관통하여 제1 도전막 및 제2 도전막을 서로 연결하고 있는 제2 연결 부재 및 제3 연결 부재를 포함한다. 이러한 프로브는 MEMS 기술과 마이크로머시닝 기법을 이용하여 직경 1 mm 이하로 제작함으로써 매우 정밀하고, 정확하게 유전율을 측정할 수 있다.
MEMS, 마이크로머시닝, 프로브, Probe-
公开(公告)号：KR1020050031649A
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：KR1020030067869
申请日：2003-09-30
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: G01R1/073
Abstract: An open ended probe using MEMS is provided to measure dielectric constant accurately by fabricating a probe whose diameter is below 1 mm. The first conductive film(20) is formed on a substrate(10). An insulation film is formed on the first conductive film. A transmission line(40) is formed in the insulation film and transmits a microwave. A ground line is formed on the left or right of the transmission line, and is connected to the first conductive film through a plurality of first connection members. The second conductive film(70) is formed on the insulation film. And the second connection member(62) and the third connection member(63) are formed on the left and right of the transmission line respectively, and connect the first conductive film and the second conductive film by penetrating the insulation film.
Abstract translation: 提供使用MEMS的开放式探头，通过制造直径小于1毫米的探头来精确测量介电常数。 第一导电膜（20）形成在基板（10）上。 在第一导电膜上形成绝缘膜。 传输线（40）形成在绝缘膜中并传输微波。 接地线形成在传输线的左侧或右侧，并且通过多个第一连接构件连接到第一导电膜。 第二导电膜（70）形成在绝缘膜上。 并且第二连接构件（62）和第三连接构件（63）分别形成在传输线的左侧和右侧，并且通过穿透绝缘膜来连接第一导电膜和第二导电膜。
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公开(公告)号：KR100444212B1
公开(公告)日：2004-09-30
申请号：KR1020000000270
申请日：2000-01-05
Applicant: (주) 인텔리마이크론즈 , 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: B81C1/00
Abstract: PURPOSE: A microactuator and a method for manufacturing the same are provided to manufacture the microactuator in a simple manner and maintain linearity in even case of moving in two-dimension. CONSTITUTION: A method for manufacturing a microactuator includes the steps of anodic-bonding a silicon substrate and a glass substrate by heating, thinning the exposed surface of the silicon substrate by lapping and polishing, applying a photosensitive film to the exposed surface of the silicon substrate and radiating light to the photosensitive film, developing the photosensitive film, etching the silicon substrate by using RIE(Reactive ion etching) for forming positioning controllers, removing polymer and the photosensitive film for completing positioning controller pattern, and wet-etching the glass substrate by making the positioning controllers as a mask and using HF solution.
Abstract translation: 目的：提供一种微致动器及其制造方法，以简单的方式制造微致动器，并且即使在二维移动的情况下也能保持线性。 构成：制造微致动器的方法包括以下步骤：通过加热阳极键合硅基板和玻璃基板，通过研磨和抛光使硅基板的暴露表面变薄，将光敏膜施加到硅基板的暴露表面 并向感光膜照射光，显影感光膜，通过使用用于形成定位控制器的RIE（反应离子蚀刻）来蚀刻硅基板，去除聚合物和感光膜以完成定位控制器图案，并且通过湿蚀刻玻璃基板 将定位控制器作为掩模并使用HF解决方案。
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公开(公告)号：KR1020020014319A
公开(公告)日：2002-02-25
申请号：KR1020000047534
申请日：2000-08-17
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01Q3/26
CPC classification number: H01Q3/26 , H01Q3/08 , H01Q3/44 , Y10T29/49016
Abstract: PURPOSE: A mechanical beam steering antenna and a fabricating method thereof are provided to obtain constant maximum efficiency in all of beam directions, accomplish fast mechanical movement and fine control of a driving angle, and enable system integration for mass production. CONSTITUTION: A mechanical beam steering antenna comprises a silicon substrate on a glass substrate, a ground plane on the silicon substrate, a dielectric polymer layer on the ground plane, a micro-strip line coupled to the antenna element on the dielectric polymer layer, and a magnetic bar under the silicon substrate. The dielectric polymer layer includes a platform at its center, an inner frame and an outer frame surrounding the platform, a pair of inner hinges for connecting the platform to the inner frame, and a pair of outer hinges for connecting the inner frame to the outer frame. On the platform, many antenna elements are arranged. On the inner hinges and the outer hinges, a micro-strip line is coupled to the antenna elements.
Abstract translation: 目的：提供一种机械射束导向天线及其制造方法，以在所有波束方向上获得恒定的最大效率，实现快速的机械运动和精细的驱动角度控制，并实现批量生产的系统集成。 构成：机械波束操纵天线包括玻璃基板上的硅衬底，硅衬底上的接地平面，接地平面上的介电聚合物层，耦合到电介质聚合物层上的天线元件的微带线，以及 在硅衬底下的磁棒。 介电聚合物层包括在其中心的平台，围绕平台的内框架和外框架，用于将平台连接到内框架的一对内铰链和用于将内框架连接到外框架的一对外铰链 帧。 在平台上，安排了许多天线元件。 在内铰链和外铰链上，微带线耦合到天线元件。
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公开(公告)号：KR1020010049190A
公开(公告)日：2001-06-15
申请号：KR1020000000270
申请日：2000-01-05
Applicant: (주) 인텔리마이크론즈 , 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00015 , B81B3/0021 , B81B2201/03 , B81C2201/0101
Abstract: PURPOSE: A microactuator and a method for manufacturing the same are provided to manufacture the microactuator in a simple manner and maintain linearity in even case of moving in two-dimension. CONSTITUTION: A method for manufacturing a microactuator includes the steps of anodic-bonding a silicon substrate and a glass substrate by heating, thinning the exposed surface of the silicon substrate by lapping and polishing, applying a photosensitive film to the exposed surface of the silicon substrate and radiating light to the photosensitive film, developing the photosensitive film, etching the silicon substrate by using RIE(Reactive ion etching) for forming positioning controllers, removing polymer and the photosensitive film for completing positioning controller pattern, and wet-etching the glass substrate by making the positioning controllers as a mask and using HF solution.
Abstract translation: 目的：提供微致动器及其制造方法，以简单的方式制造微致动器，并且即使在二维移动的情况下也保持线性。 构成：微致动器的制造方法包括以下步骤：通过加热使硅衬底和玻璃衬底进行阳极结合，通过研磨和抛光来稀释硅衬底的暴露表面，将光敏膜施加到硅衬底的暴露表面 并且将光照射到感光膜上，使感光膜显影，利用用于形成定位控制器的RIE（反应离子蚀刻），去除聚合物和感光膜来完成定位控制器图案，并通过以下步骤湿法蚀刻玻璃衬底，来蚀刻硅衬底 使定位控制器作为掩模，并使用HF解决方案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100550929B1
公开(公告)日：2006-02-13
申请号：KR1020030067868
申请日：2003-09-30
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01H59/00
Abstract: 본 발명은 마이크로 기계구조를 이용한 코플래너 웨이브가이드 가변 인덕터에 관한 것으로서, 이 시스템은 마이크로 기계구조로 제작된 접촉식 스위치와 코플래너 웨이브가이드 및 코플래너 스트립라인으로 구성된다.
코플래너 웨이브가이드의 구조적 특징을 이용하여 같은 평면 위에서 코플래너 스트립라인을 코플래너 웨이브가이드의 그라운드 평면에 배치하여 소형화된 코플래너 직렬 인덕턴스를 얻을 수 있다. 이에 나아가 코플래너 스트립라인의 전기적 길이를 접촉식 스위치를 이용하여 바꿈으로써 가변 인덕터로 사용할 수 있다.
마이크로 기계구조의 접촉 스위치는 전기적 스위치에 비하여 손실면이나 사용 주파수 대역면, 그리고 전력 소모면에서 장점을 가지기 때문에 높은 Q값과 넓은 대역폭을 가지는 가변 인덕터를 제작할 수 있게 한다.
저손실, 큰 인덕턴스 가변량, 넓은 사용 주파수 대역폭 등의 장점을 가지는 본 발명의 가변 인덕터를 사용하여 마이크로파 대역에서 향상된 특성을 갖는 주파수 가변 필터를 제작할 수 있을 것이다.
가변 인덕터, 코플래너 웨이브가이드, 코플래너 스트립 라인, 마이크로 기계구조, 접촉식 스위치-
公开(公告)号：KR1020050031648A
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：KR1020030067868
申请日：2003-09-30
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01H59/00
Abstract: A switch using an MEMS(Micro Electro-Mechanical System) and a variable inductor using the switch are provided to simply design a bias circuit with small parasite components as well as low contact resistance, thereby fabricating a miniaturized variable inductor having a big operational frequency range with a high Q value. A support(17) is made of a conductive material on a substrate(14). Metal supporting substances(18) are formed on the support(17), bent in a spot rising up to a predetermined height from the substrate(14), and are formed in parallel with a surface of the substrate(14). Supporting beams promote structural stability by connecting both metal supporting substances(18). An insulated supporting substance(19) is attached to the metal supporting substances(18). A connection metal(20) is supported by being attached to the insulated supporting substance(19), and floats up into the air.
Abstract translation: 提供使用MEMS（微机电系统）和使用该开关的可变电感器的开关，以简单地设计具有较小寄生电子元件以及低接触电阻的偏置电路，从而制造具有大的工作频率范围的小型化可变电感器 具有高Q值。 支撑体（17）由衬底（14）上的导电材料制成。 金属支撑物质（18）形成在支撑体（17）上，从与基板（14）上升到预定高度的点弯曲，并且与基板（14）的表面平行地形成。 支撑梁通过连接金属支撑物质（18）来促进结构稳定性。 绝缘支撑物质（19）附着在金属支撑物质（18）上。 连接金属（20）通过附接到绝缘支撑物质（19）而被支撑，并浮起到空气中。
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公开(公告)号：KR1020020014318A
公开(公告)日：2002-02-25
申请号：KR1020000047533
申请日：2000-08-17
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01P3/123
Abstract: PURPOSE: An inverted overlay coplanar wave guide using micro-machining is provided to cover wide range of impedance required in semiconductor integrated circuit design, reduce power loss, improve yield and uniformity of devices, and reduce reflection loss and radiation loss. CONSTITUTION: An inverted overlay coplanar wave guide using micro-machining comprises a substrate(20), a center transmission line(22) of a Au stripe on the substrate(20), and ground transmission lines(21) of Au stripes at both sides of the center transmission line(22) and separated from the center transmission line(22). The side of each of the ground transmission lines(21) near the center transmission line(22) is lifted from the substrate(20) by a height H and has a part(O) overlapped with or separated from some part of the center transmission line(22). The Impedance of the inverted overlay coplanar wave guide is adjusted by an overlapped or separated width between the center transmission line(22) and the ground transmission line(21).
Abstract translation: 目的：提供使用微加工的倒置叠层共面波导，以覆盖半导体集成电路设计所需的宽范围阻抗，降低功耗，提高器件的产量和均匀性，并减少反射损耗和辐射损耗。 构成：使用微加工的反向覆盖共面波导包括基板（20），基板（20）上的Au条的中心传输线（22）和两侧的Au条纹的接地传输线（21） 的中心传输线（22），并与中心传输线（22）分离。 靠近中心传输线（22）的每个接地传输线（21）的一侧从基板（20）提升高度H，并且具有与中心传动件的一些部分重叠或分离的部分（O） 线（22）。 反向叠层共面波导的阻抗通过中心传输线（22）和地面传输线（21）之间的重叠或分开的宽度来调节。
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公开(公告)号：KR1020150030306A
公开(公告)日：2015-03-20
申请号：KR1020130109033
申请日：2013-09-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: D06F37/06
Abstract: 세탁 및 탈수 시 드럼의 회전 방향으로 작용하는 힘에 대한 강도를 확보하며, 드럼의 조립성을 향상시킬 수 있도록 원통부 및 후면부의 체결홀 주위에 비드가 마련되는 세탁기를 제공한다.
세탁기는 외관을 형성하는 캐비닛, 상기 캐비닛 내부에 세탁수를 수용하도록 마련되는 터브, 상기 터브 내부에 회전 가능하게 설치되는 드럼을 포함하며, 상기 드럼은, 원통 형상을 갖으며, 후단 테두리에 복수개의 제1체결홀이 마련되는 원통부, 상기 원통부의 전면에 결합되는 전면부, 상기 원통부의 후단에 결합되도록 상기 제1체결홀과 대응되는 위치에 복수개의 제2체결홀이 마련되는 후면부를 포함하며, 복수개로 마련되는 상기 제1체결홀 및 제2체결홀 각각의 주위에 적어도 하나의 비드가 마련되고, 상기 적어도 하나의 비드는 서로 대응되는 위치에 마련되는 것을 특징으로 한다.Abstract translation: 本发明提供一种具有珠的洗衣机，其中，珠围绕圆筒部和后部的紧固孔设置，使得在洗涤和旋转干燥的情况下抵抗鼓的旋转方向施加的力的强度可以为 可以改善滚筒的固定和组装性能。 洗衣机包括：形成洗衣机外观的柜子; 柜内装有一个洗手盆，并装有洗涤水; 并且滚筒安装在桶中以允许其旋转。 滚筒包括：圆柱形部分在其后端边缘上具有多个第一紧固孔; 耦合到所述圆柱形部分的前侧的前部; 并且所述后部通过具有多个第二紧固孔而联接到所述圆柱形部分的后端，所述多个第二紧固孔被定位成对应于所述第一紧固孔，其中所述第一和第二紧固孔具有分别形成在其周围的至少一个珠并且布置成对应 对彼此。
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公开(公告)号：KR1020110083833A
公开(公告)日：2011-07-21
申请号：KR1020100003773
申请日：2010-01-15
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: D06F29/00 , D06F39/022
Abstract: PURPOSE: A washing machine is provided to conveniently supply detergent to a detergent supply device. CONSTITUTION: A detergent supply device supplies detergent. The detergent supply device comprises a rotary case(182) and a detergent box(183). The rotary case is rotated around the lower part of the case. The rotary case is projected from a housing. The detergent box is attachably and detachably installed inside the rotary case.
Abstract translation: 目的：提供洗衣机以方便地将洗涤剂供应给洗涤剂供应装置。 构成：洗涤剂供应装置供应洗涤剂。 洗涤剂供给装置包括旋转壳体（182）和洗涤剂盒（183）。 旋转壳体绕壳体的下部旋转。 旋转外壳从外壳突出。 洗涤剂盒可拆卸地安装在旋转箱内。
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