Abstract:
PURPOSE: A sealing structure for a device including a flowable oxide thin film and a manufacturing method thereof are provided to improve a deposition speed by filling a pin hole of an organic layer with a flowable oxide thin film. CONSTITUTION: An organic layer and a sealing layer are formed on a substrate with a device. An inorganic layer is formed on the sealing layer. An inorganic layer is the flowable oxide thin film. A flowable oxide thin film is formed on an organic layer. A flowable oxide thin film is formed by depositing slane based compound and nitrogen containing gas at low temperatures.
Abstract:
본 발명은 우수한 도전성(Conductivity)과 높은 일함수(Work function) 그리고 뛰어난 투명도(Transparency)를 가지고 있어 디스플레이 산업에서 투명 전극으로 사용되는 인듐 주석 산화물(Indium-Tin-Oxide:ITO)의 표면처리에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 본 발명은 산소 플라즈마 그리고 동시에 산소 플라즈마 분위기 속에서의 열처리를 이용한 ITO 표면처리 방법 및 이 방법을 이용하여 제조된 OLED 소자의 특성향상에 관한 것이다. 산소 플라즈마 공정 중에 열처리 공정을 추가하면 반응성이 높은 활성화된 산소 라디칼이나 원자, 분자들이 ITO 표면에 높은 에너지로 조사되고 ITO 표면에 전기 음성도가 큰 마이너스 전하를 띄는 산소를 흡착 시킨다. 결국 Anode(양극) 전극을 통하여 들어온 Mobility가 큰 홀(Hole)은 마이너스 전하를 띄는 흡착된 산소에 의해 HTL과 EML 사이에 축적되고 축적된 플러스 전하는 음극의 전자를 끌어당기는 역할을 하게 되어 홀과 전자의 수가 균형을 맞추게 됨으로써 홀과 전자의 결합이 효율적으로 이루어져 OLED 소자의 성능향상을 가져온다.
Abstract:
본 발명은 단백질 패턴에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 모세관 현상을 이용하여 액상의 고분자를 패터닝하는 모세관력 리소그래피와 3-아미노프로필트리에톡시실란(3-aminopropyltriexothysilane: 3-APTES) 분자가 산화된 유리 기판 위에 일정한 각을 가지고 자발적으로 단분자막을 이루는 자기 조립 단분자막을 이용하여 PS의 패턴을 만들어 단백질이 선택적인 위치에만 고정화 되도록 유도하여 대량 생산이 용이하고 공정이 단순하면서 효율이 높은 바이오 센서의 기판을 만드는 것이다. 이를 위하여 본 발명은 비싼 광원이나 고온, 고압의 도움 없이도 패턴 형성이 가능한 모세관력 리소그래피 방식을 사용하였으며, 이는 모세관 현상만을 이용하여 빠르고 간단하게 패턴형성이 가능하다. 또한, 분자들이 서로간의 상호작용으로 일정한 간격을 유지하면서 일정한 각도를 가지고 표면에 단분자막을 형성하는 자기 조립 단분자막을 도입하여 패턴이 형성된 고르지 못한 표면에 도포가 가능하였고, 3-APTES의 아미노기에 의해 단백질의 고정화가 가능하게 하였다. capillary force lithography, self assebled monolayer, CFL, SAM, vaporized toluene, 모세관력 리소그래피, 자기 조립 단분자막