公开(公告)号：KR101981853B1

公开(公告)日：2019-05-23

申请号：KR1020170077212

申请日：2017-06-19

Applicant: 연세대학교 원주산학협력단 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 정찬문 ,  이광명 ,  조유진 ,  최주영 ,  김범준 ,  정진원 ,  김동민

IPC: B01F17/00 ,  C08L79/08 ,  C08G73/10 ,  B01F3/08

公开(公告)号：KR101691993B1

公开(公告)日：2017-01-02

申请号：KR1020150113405

申请日：2015-08-11

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 황동목 ,  김범준 ,  장현식 ,  최재영 ,  김기철

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/324 ,  H01L21/683 ,  H01L21/02

Abstract: 본발명은화학기상증착장치의반응챔버에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른화학기상증착장치의반응챔버는, 기재가로딩되는기재로딩부, 반응성가스를공급하기위한가스공급부, 반응성가스를배출하기위한가스배기부, 및반응챔버내의온도를조절하는온도조절장치를포함한다. 이때, 온도조절장치는반응챔버의일 측면에, 복수개의제 1 도선이소정의거리만큼이격되어서로나란하게배치되어형성된제 1 온도조절장치및 제 1 온도조절장치와대향하도록배치되고, 복수개의제 2 도선이제 1 도선과교차하도록소정의거리만큼이격되어서로나란하게배치되어형성된제 2 온도조절장치를포함한다.