산화물 박막트랜지스터 및 그 제조방법
    25.
    发明公开
    산화물 박막트랜지스터 및 그 제조방법 审中-实审
    氧化物薄膜晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020170093065A

    公开(公告)日:2017-08-14

    申请号:KR1020170010386

    申请日:2017-01-23

    Inventor: 김현재 나재원

    Abstract: 본발명은산화물박막트랜지스터및 그제조방법을개시한다. 본발명의실시예에따른산화물박막트랜지스터는기판상에형성된게이트전극; 상기게이트전극상에형성된게이트절연층; 및상기게이트절연층상에형성된산화물박막을포함하고, 상기산화물박막은채널영역, 상기채널영역상에서로이격되어형성된소스영역및 드레인영역을포함하며, 상기게이트절연층으로부터확산된도펀트에의한농도프로파일을포함하고, 상기채널영역은상기농도프로파일에의해채널층으로동작한다.

    Abstract translation: 本发明公开了一种氧化物薄膜晶体管及其制造方法。 根据本发明实施例的氧化物薄膜晶体管包括:形成在衬底上的栅电极; 形成在栅电极上的栅极绝缘层; 以及在所述栅绝缘层上形成的氧化物薄膜,其中所述氧化物薄膜包括沟道区,在所述沟道区上间隔开的源极区和漏极区以及由所述栅极绝缘层扩散的掺杂​​物的浓度分布, 并且通道区域通过浓度分布图作为通道层进行操作。

    적층 구조를 갖는 저항 스위칭 메모리 및 그 제조 방법
    28.
    发明授权
    적층 구조를 갖는 저항 스위칭 메모리 및 그 제조 방법 有权
    包含多层结构的电阻随机访问方法及其制作方法

    公开(公告)号:KR101512728B1

    公开(公告)日:2015-04-23

    申请号:KR1020140120810

    申请日:2014-09-12

    CPC classification number: H01L27/11507

    Abstract: 본발명은적층구조의메모리층을갖는저항스위칭메모리및 그제조방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른저항스위칭메모리는, 제 1 전극; 상기제 1 전극상에형성된메모리층; 및상기메모리층상에형성된제 2 전극;을포함하며, 상기메모리층은제 1 메모리층및 제 2 메모리층을포함하고, 상기제 1 메모리층과상기제 2 메모리층의산소함량이서로다를수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及包括层叠结构的存储层的电阻随机存取存储器及其制造方法。 根据本发明实施例的电阻随机存取存储器包括第一电极; 形成在第一电极上的存储层; 以及形成在存储层上的第二电极。 存储层包括第一存储层和第二存储层。 第一存储层的氧含量与第二存储层的氧含量不同。

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