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公开(公告)号:KR102218375B1
公开(公告)日:2021-02-19
申请号:KR1020190109710
申请日:2019-09-04
Applicant: 연세대학교 산학협력단
IPC: H01L27/12 , H01L29/786 , H01L27/085
Abstract: 본실시예들은상보적으로동작하는제1 트랜지스터의활성층과제2 트랜지스터의활성층을수직으로배치하여, 입력신호를반전시켜출력신호를출력하는인버터의면적을최소화한 3차원인버터를제공한다.
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公开(公告)号:KR102199338B1
公开(公告)日:2021-01-06
申请号:KR1020190109685
申请日:2019-09-04
Applicant: 연세대학교 산학협력단
IPC: G09G3/3233 , H01L29/786
Abstract: 본실시예들은다결정실리콘트랜지스터와산화물트랜지스터를병렬연결하고, 다결정실리콘트랜지스터와산화물트랜지스터에동형외인성반도체를적용하여, 히스테리시스특성을보상하는디스플레이의구동트랜지스터를제공한다.
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公开(公告)号:KR101562932B1
公开(公告)日:2015-10-26
申请号:KR1020140168445
申请日:2014-11-28
Applicant: 연세대학교 산학협력단
IPC: H01L29/786
CPC classification number: H01L29/7869 , H01L21/02554 , H01L21/02565 , H01L21/02631 , H01L29/24 , H01L29/66969 , H01L29/78696
Abstract: 본발명은산화물반도체소자및 이의제조방법에관한것으로, 본발명의일 실시예에따른산화물반도체소자는, 기판; 상기기판상의산화물반도체층;을포함하고, 상기산화물반도체층은두께방향으로산소공공(oxygen vacancy)의농도가상이할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种氧化物半导体器件及其制造方法。 根据本发明的一个实施方案的氧化物半导体器件包括在衬底上形成的衬底和氧化物半导体层。 在氧化物半导体层上,氧空位的浓度在厚度方向上是不同的。
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公开(公告)号:KR102163565B1
公开(公告)日:2020-10-12
申请号:KR1020180156553
申请日:2018-12-07
Applicant: 연세대학교 산학협력단
IPC: H01L29/786 , H01L21/324 , H01L21/02
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公开(公告)号:KR101802054B1
公开(公告)日:2017-11-27
申请号:KR1020160017800
申请日:2016-02-16
Applicant: 연세대학교 산학협력단
IPC: H01L29/786 , H01L21/02 , H01L21/16
Abstract: 산화물박막트랜지스터가개시된다. 본발명의실시예에따른산화물박막트랜지스터는기판상에형성된게이트전극, 게이트전극상에형성된게이트절연막및 게이트절연막상에형성된산화물반도체박막을포함하고, 산화물반도체박막은과산화수소용액에침지(dipping)되어산화처리된후방채널영역(back channel region)을포함한다.
Abstract translation: 公开了一种氧化物薄膜晶体管。 根据本发明的一个实施例的氧化物薄膜晶体管包括氧化物半导体薄膜,包括形成在所述栅电极,栅极绝缘膜和形成在形成在基板上的栅极电极的栅极绝缘膜上的氧化物半导体薄膜浸渍(浸泡)的过氧化氢溶液 并包括一个氧化的反向通道区域。
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公开(公告)号:KR1020170096431A
公开(公告)日:2017-08-24
申请号:KR1020160017800
申请日:2016-02-16
Applicant: 연세대학교 산학협력단
IPC: H01L29/786 , H01L21/02 , H01L21/16
Abstract: 산화물박막트랜지스터가개시된다. 본발명의실시예에따른산화물박막트랜지스터는기판상에형성된게이트전극, 게이트전극상에형성된게이트절연막및 게이트절연막상에형성된산화물반도체박막을포함하고, 산화물반도체박막은과산화수소용액에침지(dipping)되어산화처리된후방채널영역(back channel region)을포함한다.
Abstract translation: 公开了一种氧化物薄膜晶体管。 根据本发明的一个实施例的氧化物薄膜晶体管包括氧化物半导体薄膜和栅电极,形成在栅极绝缘膜和栅极绝缘膜,形成于在基板上形成栅电极膜上的氧化物半导体薄膜浸渍(浸泡)的过氧化氢溶液 并包括一个氧化的反向通道区域。
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