公开(公告)号：WO2023090910A1

公开(公告)日：2023-05-25

申请号：PCT/KR2022/018232

申请日：2022-11-17

Applicant: 주식회사 한솔케미칼 ,  연세대학교 산학협력단

Inventor： 오정도 ,  이현경 ,  박미라 ,  석장현 ,  박정우 ,  김형준 ,  정승민 ,  박선영 ,  나승규

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  H10N97/00

Abstract: 본 발명은 유기 금속 화합물(특히, 희토류 금속을 포함하는 유기 금속 화합물)을 증착하여 우수한 특성의 박막을 제조하는 방법 및 제조된 박막에 관한 것이다.

公开(公告)号：WO2021015377A1

公开(公告)日：2021-01-28

申请号：PCT/KR2020/001065

申请日：2020-01-22

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 김현재 ,  최동현 ,  이희수 ,  박정우 ,  김원기 ,  유혁준 ,  김형태 ,  김민성

IPC: H01L29/786 ,  H01L29/737 ,  H01L29/66 ,  H01L21/02

Abstract: 본 발명에 따르면, 산화물 박막 증착 시 산소 분압을 조절하고 증착 후 산화물 박막에 환원제 처리를 하여 산화물 박막 내 산소 공공을 조절할 수 있으며, 이를 통해 박막 내 캐리어(carrier) 농도를 조절하여 양의 값을 가지는 V th 와 높은 이동도를 동시에 가질 수 있는 산화물 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법이 개시된다.

公开(公告)号：KR1020160108630A

公开(公告)日：2016-09-20

申请号：KR1020150030151

申请日：2015-03-04

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 김현재 ,  윤두현 ,  정태수 ,  탁영준 ,  이희수 ,  김원기 ,  박정우

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/326 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L29/66969 ,  H01L21/477 ,  H01L21/479 ,  H01L29/42356 ,  H01L29/7869 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205 ,  H01L21/324 ,  H01L21/326 ,  H01L29/78606 ,  H01L29/78618 ,  H01L29/78696

Abstract: 본발명은박막활성화방법, 박막트랜지스터제조방법및 기판처리장치에관한것으로, 보다구체적으로전기에너지를이용하여박막을활성화하는방법, 박막트랜지스터를제조하는방법그리고기판을처리하는장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른박막활성화방법은박막에전기에너지를공급하는단계를포함할수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及薄膜激活方法，薄膜晶体管的制造方法和基板处理装置，其可以应用于具有低热阻的基板上。 更具体地说，本发明涉及一种薄膜激活方法，薄膜晶体管的制造方法以及使用电能处理衬底的装置。 根据本发明的实施例，薄膜激活方法包括向薄膜提供电能的步骤。

公开(公告)号：KR1020120032789A

公开(公告)日：2012-04-06

申请号：KR1020100094313

申请日：2010-09-29

Applicant: 연세대학교 산학협력단 ,  주식회사 휴보 ,  유원엔지니어링(주)

Inventor： 박진배 ,  김혜연 ,  곽기석 ,  박정우 ,  김상복

IPC: G01R1/04 ,  G01R31/02

Abstract: PURPOSE: A terminal box for diagnosing wiring is provided to enhance the operation reliability of electric-electronic apparatuses through diagnosing anomalies in the wire coupling of the electric-electronic apparatuses. CONSTITUTION: A terminal box(100) comprises an interface unit(110), a reference signal generator(120), a signal detection unit(130), and a controller(140). The interface unit performs interface with an external electronic device. The reference signal generator generates a reference signal provided to the external electronic device through the interface unit. The signal detection unit detects a reflective signal in the external electronic device for a reference signal through the interface. A controller diagnoses the wiring state of the external electronic device by comparing the reference signal with the reflective signal.

Abstract translation: 目的：提供一种用于诊断接线的接线盒，用于通过诊断电子电子设备的电线联接异常来增强电子设备的操作可靠性。 构成：接线盒（100）包括接口单元（110），参考信号发生器（120），信号检测单元（130）和控制器（140）。 接口单元与外部电子设备进行接口。 参考信号发生器通过接口单元产生提供给外部电子设备的参考信号。 信号检测单元通过接口检测外部电子设备中的参考信号的反射信号。 控制器通过将参考信号与反射信号进行比较来诊断外部电子设备的布线状态。

公开(公告)号：KR102036971B1

公开(公告)日：2019-11-26

申请号：KR1020170149446

申请日：2017-11-10

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 김현재 ,  김원기 ,  김영규 ,  이희수 ,  박정우 ,  유혁준

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/324

公开(公告)号：KR100950700B1

公开(公告)日：2010-03-31

申请号：KR1020080137807

申请日：2008-12-31

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 전철호 ,  김효선 ,  박정우

IPC: C07F7/08 ,  C07F7/18 ,  C01B33/113

CPC classification number: C07F7/1856 ,  C07F7/1852 ,  Y02P20/55 ,  Y10T428/315

Abstract: 본 발명은 보호기가 도입된 알콜 또는 알콜유도체의 제조방법 및 그로부터 제조된 보호기가 도입된 알콜 또는 알콜유도체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 알콜 또는 알콜 유도체에 비닐 또는 비닐유도체를 갖는 실란화합물을 산, 전이금속촉매 및 유기용매하에서 반응시켜 상온에서도 유기기가 도입되어 보호기가 도입된 알콜 또는 알콜유도체 및 그 제조방법을 제공한다.
본 발명은 고온뿐만 아니라 상온에서도 효과적으로 알콜 또는 알콜유도체에 관능기를 도입할 수 있어 천연화합물이나 단백질과 같은 열에 민감한 작용기를 갖는 화합물을 도입하는데 매우 효과적이다. 또한 다양한 관능기의 도입이 가능할 뿐만 아니라, 실리카겔 컬럼으로 분리가 가능하여 거대 유기 분자가 결합된 유기-실란 화합물의 정제도 가능하여 거대한 유기 관능기를 무기 물질에 효율적으로 도입할 수 있어 화학산업상 매우 유용한 발명이다.
고체 실리카, 비닐 또는 비닐유도체를 갖는 실란화합물, 산촉매, 전이금속촉매, 알콜, 상온, ITO 글래스, 보호기

公开(公告)号：KR102035392B1

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：KR1020170149555

申请日：2017-11-10

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 김현재 ,  이희수 ,  정태수 ,  김영규 ,  김원기 ,  박정우 ,  유혁준

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/02 ,  H01L29/06 ,  H01L21/324

公开(公告)号：KR101829970B1

公开(公告)日：2018-02-19

申请号：KR1020160012152

申请日：2016-02-01

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 김현재 ,  박정우 ,  탁영준 ,  정태수 ,  이희수 ,  김원기 ,  정주성

IPC: H01L29/786 ,  H01L29/66 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L29/66969 ,  H01L29/24 ,  H01L29/66742 ,  H01L29/78603 ,  H01L29/7869

Abstract: 산화물박막트랜지스터및 그제조방법이개시된다. 본발명의실시예에따른산화물박막트랜지스터는기판상에형성된게이트전극, 상기게이트전극상에형성된게이트절연층, 반도체활성층으로서산화물반도체층, 및상기산화물반도체층상에형성된소스및 드레인전극을포함하고, 상기산화물반도체층은 300℃미만의열 및인가되는자기장의자기선속의변화로부터활성화되고, 상기활성화는상기자기선속의변화로부터상기산화물반도체층내에발생한맴돌이전류로부터생성되는줄열과, 상기 300℃미만의열로부터활성화에너지를공급받아수행된다.

公开(公告)号：KR1020170091309A

公开(公告)日：2017-08-09

申请号：KR1020160012152

申请日：2016-02-01

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 김현재 ,  박정우 ,  탁영준 ,  정태수 ,  이희수 ,  김원기 ,  정주성

IPC: H01L29/786 ,  H01L29/66 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L29/66969 ,  H01L29/24 ,  H01L29/66742 ,  H01L29/78603 ,  H01L29/7869

Abstract: 산화물박막트랜지스터및 그제조방법이개시된다. 본발명의실시예에따른산화물박막트랜지스터는기판상에형성된게이트전극, 상기게이트전극상에형성된게이트절연층, 반도체활성층으로서산화물반도체층, 및상기산화물반도체층상에형성된소스및 드레인전극을포함하고, 상기산화물반도체층은 300℃미만의열 및인가되는자기장의자기선속의변화로부터활성화되고, 상기활성화는상기자기선속의변화로부터상기산화물반도체층내에발생한맴돌이전류로부터생성되는줄열과, 상기 300℃미만의열로부터활성화에너지를공급받아수행된다.

Abstract translation: 公开了一种氧化物薄膜晶体管及其制造方法。 根据本发明实施例的氧化物薄膜晶体管包括形成在衬底上的栅电极，形成在栅电极上的栅极绝缘层，作为半导体活性层的氧化物半导体层以及形成在氧化物半导体层上的源电极和漏电极， 其中氧化物半导体层由于小于300的热量变化和施加于其上的磁基线而被激活，并且由于磁线的变化而由氧化物半导体层中产生的涡流产生的涡电流产生激活， Lt能量“。

公开(公告)号：KR1020160108631A

公开(公告)日：2016-09-20

申请号：KR1020150030152

申请日：2015-03-04

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 김현재 ,  정태수 ,  탁영준 ,  윤두현 ,  이희수 ,  박정우 ,  김원기

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/449 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L29/7869 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205 ,  H01L21/324 ,  H01L21/449 ,  H01L29/78606 ,  H01L29/78618 ,  H01L29/78696

Abstract: 본발명은박막활성화방법, 박막트랜지스터제조방법및 기판처리장치에관한것으로, 보다구체적으로진동에너지를이용하여박막을활성화하는방법, 박막트랜지스터를제조하는방법그리고기판을처리하는장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른박막활성화방법은박막에진동에너지를공급하는단계를포함할수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及薄膜激活方法，薄膜晶体管的制造方法以及能够应用于耐热性低的基板的基板处理装置。 更具体地，本发明涉及一种薄膜激活方法，薄膜晶体管的制造方法以及使用振动能量处理衬底的装置。 根据本发明的实施例，薄膜激活方法包括向薄膜提供振动能量的步骤。