3차원 주기성을 갖는 반도체 나노 월 구조의 제조방법
    21.
    发明授权
    3차원 주기성을 갖는 반도체 나노 월 구조의 제조방법 有权
    具有三维周期性的半导体纳米醇结构的制造方法

    公开(公告)号:KR101702991B1

    公开(公告)日:2017-02-10

    申请号:KR1020150105724

    申请日:2015-07-27

    CPC classification number: Y02E10/50 Y02P70/521

    Abstract: 반도체나노월 구조의제조방법이개시된다. 본발명은기판을준비하는단계(단계 1); 상기기판상에감광제를스핀코팅하여감광제층을형성하는단계(단계 2); 상기감광제층의일부를노광하여복수의홀 어레이를형성하는단계(단계 3); 상기형성된복수의홀 하부를식각하는단계(단계 4); 상기식각된홀 하부의표면및 측면을고분자물질로코팅하는단계(단계 5); 상기코팅된홀 하부의기판일부를식각하는단계 (단계 6); 상기단계 5의고분자코팅과상기단계 6의식각을반복수행하여월의깊이및 깊이방향형태를조절하는단계(단계 7); 상기감광제층을제거하고, 건식산화공정및 BOE를사용한습식식각을수행하여 3차원주기성을갖는나노월 구조의반도체를제조하는단계(단계 8)를포함하는 3차원주기성을갖는반도체나노월 구조의제조방법을포함한다.

    Abstract translation: 公开了一种半导体纳米壁结构的制造方法。 本发明提供了一种制造半导体器件的方法,包括:准备衬底(步骤1); 通过在衬底上旋涂光刻胶来形成光刻胶层(步骤2); 暴露一部分光敏剂层以形成多个孔阵列(步骤3); 蚀刻多个孔的底部(步骤4); 用聚合物材料涂覆蚀刻孔的表面和侧面(步骤5); 在涂覆的孔下方蚀刻一部分基板(步骤6); 重复步骤5的聚合物涂层和步骤6的意识以调整深度和深度方向的壁的形状(步骤7); 除去光敏材料层,具有三维周期性,包括:制造通过使用干法氧化工艺和BOE执行湿蚀刻具有三维周期性的半导体纳米月结构的步骤的半导体纳米月结构(步骤8) <

    3차원 주기성을 갖는 반도체 나노 월 구조의 제조방법
    22.
    发明公开
    3차원 주기성을 갖는 반도체 나노 월 구조의 제조방법 有权
    3制造具有三维周期性的半导体纳米结构结构的方法

    公开(公告)号:KR1020170013439A

    公开(公告)日:2017-02-07

    申请号:KR1020150105724

    申请日:2015-07-27

    CPC classification number: Y02E10/50 Y02P70/521

    Abstract: 반도체나노월 구조의제조방법이개시된다. 본발명은기판을준비하는단계(단계 1); 상기기판상에감광제를스핀코팅하여감광제층을형성하는단계(단계 2); 상기감광제층의일부를노광하여복수의홀 어레이를형성하는단계(단계 3); 상기형성된복수의홀 하부를식각하는단계(단계 4); 상기식각된홀 하부의표면및 측면을고분자물질로코팅하는단계(단계 5); 상기코팅된홀 하부의기판일부를식각하는단계 (단계 6); 상기단계 5의고분자코팅과상기단계 6의식각을반복수행하여월의깊이및 깊이방향형태를조절하는단계(단계 7); 상기감광제층을제거하고, 건식산화공정및 BOE를사용한습식식각을수행하여 3차원주기성을갖는나노월 구조의반도체를제조하는단계(단계 8)를포함하는 3차원주기성을갖는반도체나노월 구조의제조방법을포함한다.

    방사선 경화 수지를 이용한 이차전지 극판의 제조방법
    23.
    发明公开
    방사선 경화 수지를 이용한 이차전지 극판의 제조방법 审中-实审
    使用辐射固化树脂制造二次电池电极板的方法

    公开(公告)号:KR1020160086298A

    公开(公告)日:2016-07-19

    申请号:KR1020160084100

    申请日:2016-07-04

    Abstract: 본발명은방사선경화수지를이용한이차전지극판의제조방법에관한것으로, 상세하게는양극활물질또는음극활물질, 도전제및 방사선경화성수지를포함하는혼합물을집전체표면에도포하는단계(단계 1);및상기집전체표면에형성된혼합물에 10 내지 1000 kGy의흡수선량으로방사선을조사하는단계을제공한다. 본발명은, 이차전지극판의바인더로서방사선경화수지를사용하며, 상기방사선경화수지에방사선을조사함으로써집전체와활물질간의접착력을향상시킬수 있다. 또한, 방사선조사로인하여건조단계를생략할수 있으므로이차전지극판의제조방법이보다간단하고이에따라비용이적게드는장점이있다. 나아가, 방사선이조사된바인더의경화로인하여이차전지활물질의부피팽창을막아줄수 있어, 상기제조방법으로제조된이차전지극판을포함하는이차전지가보다안정한전지효율을나타낼뿐만아니라수명이증가하는효과가있다.

    Abstract translation: 本发明涉及使用辐射固化树脂制造二次电池用电极板的方法。 具体而言,本发明提供将正极活性物质或负极活性物质,导电剂和放射线固化型树脂的混合物涂布在集电体表面上的工序(工序1)。 和以10〜1000kGy的吸收剂量(步骤2)对形成在集电体表面上的混合物照射辐射的步骤。 根据本发明,使用辐射固化树脂作为二次电池用电极板的粘合剂,并且将辐射照射到辐射固化树脂上以提高集电体与活性物质之间的粘合强度。 此外,由于辐射照射,能够省略干燥步骤,因此制造电极板的方法简单,因此成本降低。 此外,通过用辐射照射的粘合剂的固化来防止二次电池中的活性材料的体积膨胀,使得包括通过该制造方法制造的二次电池极板的二次电池表现出更稳定的电池效率,并且增加了 寿命。

    다결정성 p-타입 CIGS 박막의 제조방법
    24.
    发明公开
    다결정성 p-타입 CIGS 박막의 제조방법 无效
    多晶P型薄膜薄膜的制造方法

    公开(公告)号:KR1020160046019A

    公开(公告)日:2016-04-28

    申请号:KR1020140140966

    申请日:2014-10-17

    Inventor: 김재현 백성호

    Abstract: 본발명은저비용스프레이공정에사용될독성이적은 CIGS 전구체수용성분산용액을제조하는방법및 이를이용해다결정성 p-타입 CIGS 박막을제조하는방법을제공한다. 본발명에의할경우스프레이공정에적합한저 독성의 CIGS 분산용액의제공함으로써저비용의태양전지용 CIGS 박막의제작이가능하며, 최적화된셀렌화공정을통해균일한다결정그레인(grain)이형성된 CIGS 박막의제조가가능하다.

    Abstract translation: 本发明提供一种制造低成本喷雾方法中使用的低毒CIGS前体溶解分散液的方法以及使用其制造多晶P型CIGS薄膜的方法。 根据本发明,提供了适用于喷雾方法的低毒性CIGS前体溶解分散液。 因此,可以制造用于低成本太阳能电池的CIGS薄膜。 可以通过优化的硒化工艺制造具有均匀多晶颗粒的CIGS薄膜。 该方法包括制造CIGS前体分散液的步骤和形成CIGS前体薄膜的步骤。

    ZnO:Al:Ag 패시베이션 층의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 ZnO:Al:Ag 패시베이션 층
    25.
    发明授权
    ZnO:Al:Ag 패시베이션 층의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 ZnO:Al:Ag 패시베이션 층 有权
    制备ZNO:AL:AG钝化层和ZNO:AL:AG钝化层的方法

    公开(公告)号:KR101554565B1

    公开(公告)日:2015-09-22

    申请号:KR1020140157939

    申请日:2014-11-13

    CPC classification number: Y02E10/50 H01L31/04

    Abstract: 본 발명은 ZnO:Al:Ag 패시베이션 층의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 ZnO:Al:Ag 패시베이션 층에 관한 것으로, 구체적으로는 ZnO:Al:Ag 전구체 용액을 실리콘 웨이퍼 상에 스핀 코팅하여 코팅막을 형성하는 단계(단계 1); 상기 단계 1의 코팅막을 400 ℃ 내지 700 ℃의 온도로 열처리하는 단계(단계 2);를 포함하는 ZnO:Al:Ag 패시베이션 층의 제조방법에 관한 것이다.
    본 발명에 따른 ZnO:Al:Ag 패시베이션 층의 제조방법에 따르면, 종래에 비해 원료가 저렴하며 제조공정이 간단한 장점이 있고, 특정 은, 알루미늄 몰비의 전구체로부터 특정 온도에서 열처리함으로써 우수한 유효 캐리어 수명을 갖는 실리콘 웨이퍼를 제조할 수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种制造ZnO:Al:Ag钝化层的方法和由其制造的ZnO:Al:Ag钝化层,更具体地说,涉及一种ZnO:Al:Ag钝化层的制造方法,其包括以下步骤 通过用ZnO:Al:Ag前体溶液旋涂硅晶片(步骤1)形成涂层; 并在400-700摄氏度的温度下热处理步骤1的涂层(步骤二)。 根据本发明的ZnO:Al:Ag钝化层的制造方法,具有高有效载流子寿命的硅晶片是通过在Ag的特定摩尔比的前体的特定温度下进行热处理而制造的, 人。 与现有方法相比,材料成本降低,制造过程简化。

    리튬 이차전지용 음극 및 그 제조방법
    26.
    发明授权
    리튬 이차전지용 음극 및 그 제조방법 有权
    锂二次电池用负极及其制造方法

    公开(公告)号:KR101457485B1

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:KR1020120126824

    申请日:2012-11-09

    Abstract: 본 발명은 리튬 이차전지용 음극 및 그 제조방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 리튬티탄산화물 또는 실리콘에 전자빔을 조사하는 것에 의해서 상기 리튬 티탄산화물 또는 실리콘의 전기적 특성을 향상시키고 이렇게 전기적 특성이 향상된 소재를 리튬 이차전지용 음극 활물질로 활용하여 리튬 이차전지의 용량 및 전기 전도도를 증가시켜서 장기간에 걸쳐 안정적으로 사용할 수 있는 리튬 이차전지용 음극 및 그 제조방법에 대한 것이다.
    본 발명은, 집전체 및 음극활물질층을 포함하는 리튬이차전지용 음극에 있어서, 상기 음극활물질층은 리튬티탄산화물 또는 실리콘, 카본계 물질 및 고분자 접착제를 포함하고, 상기 음극활물질층은 리튬티탄산화물 또는 실리콘에 전자빔을 조사하고 이를 카본계 물질 및 고분자 접착제와 혼합하여 형성되는 리튬 이차전지용 음극을 제공한다.

    리튬 이차전지용 음극 및 그 제조방법
    28.
    发明公开
    리튬 이차전지용 음극 및 그 제조방법 有权
    用于锂二次电池的负极及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020140060122A

    公开(公告)日:2014-05-19

    申请号:KR1020120126824

    申请日:2012-11-09

    Abstract: The present invention relates to a negative electrode for a lithium secondary battery and a method for manufacturing the same and, more particularly, to a negative electrode for a lithium secondary battery and to a method for manufacturing the same, wherein a lithium titanate oxide or silicon is irradiated with an electron beam so that the electrical characteristics of the lithium titanate oxide or the silicon are improved, and a material with the improved electrical characteristics is used as a negative electrode active material for the lithium secondary battery, thereby increasing the capacity and the electrical conductivity of the lithium secondary battery for stable use over a long period of time. In the negative electrode for a lithium secondary battery according to the present invention that contains a collector and a negative electrode active material layer, wherein the negative electrode active material layer contains the lithium titanate oxide or the silicon, a carbon-based material, and a polymeric adhesive, and the negative electrode active material layer is formed by irradiating the lithium titanate oxide or the silicon with the electron beam and mixing the irradiated material with the carbon-based material or the polymeric adhesive.

    Abstract translation: 锂二次电池用负极及其制造方法技术领域本发明涉及锂二次电池用负极及其制造方法,更具体地,涉及锂二次电池用负极及其制造方法,其中,钛酸锂或硅酸锂 用电子束照射,使得钛酸锂氧化物或硅的电特性得到改善,并且使用具有改善的电特性的材料作为锂二次电池的负极活性材料,从而增加容量和 锂二次电池的电导率长期稳定使用。 在本发明的含有集电体和负极活性物质层的锂二次电池用负极中,其中负极活性物质层含有钛酸锂氧化物或硅,碳类材料和 聚合物粘合剂,并且通过用电子束照射钛酸锂氧化物或硅并将照射的材料与碳基材料或聚合物粘合剂混合来形成负极活性物质层。

    실리콘 태양전지 및 그 제조방법
    29.
    发明授权
    실리콘 태양전지 및 그 제조방법 有权
    硅太阳能电池及其制造方法

    公开(公告)号:KR101264880B1

    公开(公告)日:2013-05-15

    申请号:KR1020127027886

    申请日:2012-04-20

    CPC classification number: H01L31/02168 H01L31/02363 H01L31/035281 Y02E10/50

    Abstract: 상기의기술적과제를이루기위한본 출원의일 측면에따른실리콘태양전지의제조방법이개시된다. 상기실리콘태양전지의제조방법에있어서, 먼저, 제1 도전형으로도핑된실리콘기판을준비한다. 상기실리콘기판상에상기제1 도전형과반대도전형인제2 도전형의에미터층을형성한다. 상기에미터층을가공하여상기에미터층의광흡수표면적을증가시킨다. 상기가공된에미터층상에산화아연시드층을수열합성법에의하여형성한다. 상기산화아연시드층으로부터나노막대형태의산화아연반사방지층을수열합성법에의하여성장시킨다.

    보론이 도핑된 실리콘 옥사이드계 음극활물질과 그 제조방법 및 이를 이용한 리튬이차전지
    30.
    发明公开
    보론이 도핑된 실리콘 옥사이드계 음극활물질과 그 제조방법 및 이를 이용한 리튬이차전지 有权
    硼掺杂氧化硅基阳极活性材料,其制造方法以及使用其的锂二次电池

    公开(公告)号:KR1020170051739A

    公开(公告)日:2017-05-12

    申请号:KR1020150152375

    申请日:2015-10-30

    CPC classification number: Y02E60/122

    Abstract: 본발명은보론이도핑된실리콘옥사이드계음극활물질과그 제조방법및 이를이용한리튬이차전지에관한것으로, 상세하게는보론화합물이함유된도펀트(dopant)를더미(dummy)기판위에코팅하는단계(단계 1); 및상기단계 1에서제조된더미기판과실리콘옥사이드계혼합물을이격을두고배치한후 열처리하는단계(단계 2);를포함하는보론이도핑된실리콘옥사이드계음극활물질의제조방법을제공한다. 본발명을통해제조한보론이도핑된실리콘옥사이드계재료를이차전지음극활물질로이용할경우, 기존기술에비해음극활물질내 비용량이증가하며, 제조된음극활물질에불순물인보론화합물이포함되지않고, 보론원소만이도핑되는효과가있다. 또한, 실리콘옥사이드계재료내부로보론원소가확산되도록함으로써리튬이온의확산속도증가및 부분적인실리콘결정형성으로인해, 전기화학적특성이개선될수 있다. 나아가, 전지의고용량및 사이클특성이개선되어향후전기자동차및 대형에너지저장장치용이차전지로의활용이가능하다.

    Abstract translation: 本发明是一种掺硼的硅氧化物系负极活性物质及其制造的方法,并且该锂是否使用相同的电池,特别是,在步骤(在桩的顶部上涂布含有掺杂剂的硼化合物(掺杂剂)的步骤(虚设)衬底 1); 并且,将步骤1中准备的虚设基板和氧化硅系混合物分离配置,然后进行热处理(步骤2)的工序(2)。 当使用通过本发明制造的由电极活性材料写入的二次电池硼掺杂的氧化硅基材料时,增加量的成本负电极活性材料比现有技术,并且不含有硼化合物的杂质的负极活性材料, 只有硼元素被掺杂。 此外,通过使硼元素扩散到硅氧化物基材料中,由于锂离子的扩散速率和部分硅晶体形成的增加,可以改善电化学特性。 此外,电池的容量和循环特性得到改善,这使得将电池用作电动车辆的电池和将来的大型储能装置成为可能。

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