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公开(公告)号：KR1020110082949A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：KR1020100002897
申请日：2010-01-12
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a vertically penetrated metal electrode including an insulating glass part is provided to plate or deposit metal on the circumference of a low resistive silicon pillar, thereby lowering the resistance of a penetration resistor under an existing via resistance. CONSTITUTION: A protection pattern for forming a low resistance silicon pillar is formed on one side of a low resistance silicon wafer(S100). The low resistance silicon wafer is etched to form a low resistance silicon pillar(S200). Metal is plated or deposited on the low resistance silicon wafer(S300). The low resistance silicon wafer is bonded with a glass wafer(S400). The bonded glass wafer is dissolved(S500). The bonded low resistance silicon wafer and both sides of the glass wafer are processed(S600).
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造包括绝缘玻璃部件的垂直穿透的金属电极的方法，以在低电阻硅柱的圆周上镀金或沉积金属，从而降低了现有通孔电阻下的穿透电阻器的电阻。 构成：在低电阻硅晶片的一侧形成用于形成低电阻硅柱的保护图案（S100）。 蚀刻低电阻硅晶片以形成低电阻硅柱（S200）。 将金属电镀或沉积在低电阻硅晶片上（S300）。 低电阻硅晶片与玻璃晶片（S400）接合。 粘合玻璃晶片溶解（S500）。 处理粘合低电阻硅晶片和玻璃晶片的两侧（S600）。
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公开(公告)号：KR102160857B1
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：KR1020180085479
申请日：2018-07-23
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단 , 서울대학교산학협력단
IPC: A61B5/00
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公开(公告)号：KR101844688B1
公开(公告)日：2018-04-02
申请号：KR1020160182284
申请日：2016-12-29
Applicant: 서울대학교산학협력단 , 이화여자대학교 산학협력단
IPC: G02B3/00
CPC classification number: G02B3/0031 , G02B3/0025 , G02B3/08
Abstract: 본발명은프레넬마이크로렌즈및 그제조방법에관한것으로, 열재흐름공정으로용융된유리동심원(15)과실리콘기판(11)의일부가식각되어형성된실리콘동심원(17)이반복형성된평면구조를포함하고, 그제조방법은건식식각을통해제조한실리콘기판몰드(11)와두 번의열 재흐름공정을이용하여 3차원유리구조를제조함으로써프레넬마이크로렌즈(10)를완성한다. 본발명은프레넬마이크로렌즈를복잡한구조의소자로활용하고자할 때열 재흐름공정을통하여제작하는것이가능하게하고, 프레넬마이크로렌즈를광학 MEMS 소자에적용할수 있는발판을마련할수 있게하는이점이있다.
Abstract translation: 本发明包括一个菲涅耳微透镜并且，yeoljae流动过程中玻璃同心15水果硅衬底11 uiil部分是蚀刻形成的硅同心圆（17）的平面结构伊凡服装形成熔体涉及制造相同的方法 并且其制造方法是通过使用通过干蚀刻和热回流工艺制造两次的硅基板模具11制造三维玻璃结构来完成菲涅耳微透镜10。 本发明是，可以设置阶段，这可以适用于它，和菲涅尔微透镜可以通过ttaeyeol回流工艺，以产生到要采取菲涅尔微透镜的优点的光学MEMS装置点的复杂结构的元件 。
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公开(公告)号：KR1020170106079A
公开(公告)日：2017-09-20
申请号：KR1020160029750
申请日：2016-03-11
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본발명은이중질량체구조의가속도스위치에관한것으로, 가속도스위치에인가된가속도가 0이될 경우, 주질량체에복원력을인가하여고정형접촉스위치로부터주 질량체가이격되도록하는보조질량체를이용해주 질량체와고정형접촉스위치접촉에의한점착(Stiction) 현상을해결할수 있어가속도스위치의신뢰성을향상할수 있도록한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及到双质量结构，该加速度在加速度被施加到开关的加速度开关达到零，让使用了在该主要质量施加恢复力上的辅块，使得主质量与固定触点开关的质量和固定远离 可以解决接触开关触点造成的静摩擦现象，从而提高加速度开关的可靠性。
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25.发明授权초소형 마이크로 빔 스플리터와 이의 제조방법 및 초소형 마이크로 빔 스플리터가 포함된 초소형 마이켈슨 간섭계 有权Micromini分束器，其制造方法以及包括micromini分束器的微机械干涉仪
公开(公告)号：KR101753781B1
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：KR1020160028469
申请日：2016-03-09
Applicant: 서울대학교산학협력단 , 이화여자대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은초소형마이크로빔 스플리터와이의제조방법및 초소형마이크로빔 스플리터가포함된초소형마이켈슨간섭계에관한것으로, 단결정실리콘기판의양면을 45도각도의경사면을가지도록구현하여단결정실리콘기판에수직한방향으로입사되는광을동일한방향의투과광과수직한방향의반사광으로분리할수 있어마이크로빔 스플리터와마이켈슨간섭계를더욱소형화할수 있도록한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种紧凑的迈克尔逊干涉仪包括一个微小的微分束器和制造和细小微分束器的方法，以实现单晶硅衬底的两侧，以便在单晶硅衬底为具有45°的斜坡dogak垂直的一个方向 它可以将入射的光分离成透射光和反射在同一方向的一个方向垂直的光将是一个以进一步降低微分束器的尺寸和迈克尔逊干涉仪。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170058801A
公开(公告)日：2017-05-29
申请号：KR1020150162874
申请日：2015-11-19
Applicant: 이화여자대학교 산학협력단 , 서울대학교산학협력단
IPC: A61B5/00
CPC classification number: A61B5/00
Abstract: 본발명의실시예에따른신경탐침인터페이스는, 광원; 및일단부는상기광원에연결되고타단부는신경에광 자극을가하기위해탐침대상인신경내부로삽입되는탐침부로마련되며, 코어및 상기코어를부분적으로감싸는클래드를갖는광도파관;을포함하며, 상기탐침부는상기신경으로의삽입을위한원뿔형상의코어부재로형성되며, 상기클래드는상기코어부재를제외한상기광도파관의나머지영역의적어도일부분을감쌀수 있다. 본발명의실시예에따르면, 탐침부의코어부재가클래드가제거된원뿔형상을가짐으로써신경탐침의용이성을확보할수 있으면서도코어부재와접촉되는물질간의굴절률차이에기초하여신경에대한탐침부의접촉유무를정확하게판별할수 있음은물론탐침부의삽입깊이도미세하게조정할수 있다.
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公开(公告)号：KR101712940B1
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：KR1020160015542
申请日：2016-02-11
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G01N33/54326 , B01L3/502753 , B01L2200/12 , B01L2300/0867 , B01L2300/0874 , B01L2400/043 , B01L2400/086 , C23C16/0245 , C23C16/345 , C23C16/401 , Y10T436/255
Abstract: 본발명은미세유체칩을이용한나노입자의분리및 이를이용하는생체물질분석방법에관한발명이다. 본발명에따른미세유체칩은보다민감하고정밀하게분석대상을검출하는효과가있으며, 상기본 발명에따른미세유체칩을이용하여생체물질분석방법을통해분석을실시하면본 발명과같은나노입자분리홀을이용하여크기에따른나노입자의분리가가능하므로신뢰성높은생체물질의분석이가능하다. 결과적으로본 발명에따른미세유체칩은분리하려는나노입자의크기에맞는맞춤형나노입자분리홀을제작한후, 이를이용하여생체물질분석의신뢰도를크게높일수 있는발명에관한것으로서, 미세유체공학및 미세유체시스템을통한분석의신뢰도를크게향상시킬수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及使用微流控芯片分离纳米粒子并分析生物物质的方法。 本发明的微流体芯片对于分析物的敏感性和精确度的检测是有效的。 根据本发明，微流控芯片的使用使得能够基于尺寸将分离孔分离成纳米粒子，实现对生物物质的高度可靠的分析。 总之，本发明的微流体芯片使用适合于纳米颗粒尺寸的分离孔，以大大提高生物物质分析的可靠性，这将有助于基于微流体和微流体系统的分析可靠性的显着提高 。
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公开(公告)号：KR101380497B1
公开(公告)日：2014-04-01
申请号：KR1020130036210
申请日：2013-04-03
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: According to an embodiment of the present invention, in a method for fabricating an optical device having a micro lens, an optical device fabricating method comprises a step of bonding a first glass substrate to a main substrate formed with a first cavity; a step of filling the cavity with glass by a first thermal reflow process; a step of forming a glass column from the glass filled in the cavity; a step of forming a micro lens from the glass column by a second thermal reflow process; and a step of forming a driving apparatus of an optical device on the main substrate. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S110) Etch a silicon substrate; (S120) Bond glass to the silicon substrate; (S130) First thermal reflow; (S140) Form a glass column; (S150) Form a lens by a second thermal reflow process; (S160) Wet etch the glass; (S170) Anodic bonding; (S180) Polish the silicon substrate and deposit a mask; (S190) Etch the silicon substrate; (S200) Package
Abstract translation: 根据本发明的实施例，在一种具有微透镜的光学器件的制造方法中，光学器件制造方法包括将第一玻璃衬底接合到形成有第一腔的主衬底的步骤; 通过第一热回流工艺用玻璃填充空腔的步骤; 从填充在空腔中的玻璃形成玻璃柱的步骤; 通过第二热回流工艺从玻璃柱形成微透镜的步骤; 以及在主基板上形成光学装置的驱动装置的步骤。 （附图标记）（AA）开始; （BB）结束; （S110）蚀刻硅衬底; （S120）将玻璃贴到硅衬底上; （S130）第一热回流; （S140）形成玻璃柱; （S150）通过第二热回流工艺形成透镜; （S160）湿法蚀刻玻璃; （S170）阳极接合; （S180）抛光硅衬底并沉积掩模; （S190）蚀刻硅衬底; （S200）包装
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公开(公告)号：KR1020160021176A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：KR1020160015542
申请日：2016-02-11
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G01N33/54326 , B01L3/502753 , B01L2200/12 , B01L2300/0867 , B01L2300/0874 , B01L2400/043 , B01L2400/086 , C23C16/0245 , C23C16/345 , C23C16/401 , Y10T436/255
Abstract: 본발명은미세유체칩을이용한나노입자의분리및 이를이용하는생체물질분석방법에관한발명이다. 본발명에따른미세유체칩은보다민감하고정밀하게분석대상을검출하는효과가있으며, 상기본 발명에따른미세유체칩을이용하여생체물질분석방법을통해분석을실시하면본 발명과같은나노입자분리홀을이용하여크기에따른나노입자의분리가가능하므로신뢰성높은생체물질의분석이가능하다. 결과적으로본 발명에따른미세유체칩은분리하려는나노입자의크기에맞는맞춤형나노입자분리홀을제작한후, 이를이용하여생체물질분석의신뢰도를크게높일수 있는발명에관한것으로서, 미세유체공학및 미세유체시스템을통한분석의신뢰도를크게향상시킬수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及使用微流控芯片分离纳米颗粒和使用其的生物材料分析方法。 根据本发明，微流控芯片具有以敏感且精确的方式检测分析对象的效果。 根据本发明，在通过使用微流体芯片的生物材料分析方法进行分析的情况下，通过使用本发明的纳米粒子分离孔来分离纳米颗粒相对于尺寸，从而分析具有 高可靠性。 结果，根据本发明，微流控芯片涉及本发明，其能够在制造根据要分离的纳米颗粒尺寸的纳米颗粒分离孔之后，通过使用该微生物材料分析孔，显着提高生物材料分析的可靠性。 因此，微流控芯片能够通过微流体和微流体系统显着提高分析的可靠性。
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公开(公告)号：KR1020140068758A
公开(公告)日：2014-06-09
申请号：KR1020130139222
申请日：2013-11-15
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G01N33/54326 , B01L3/502753 , B01L2200/12 , B01L2300/0867 , B01L2300/0874 , B01L2400/043 , B01L2400/086 , C23C16/0245 , C23C16/345 , C23C16/401 , Y10T436/255
Abstract: The present invention relates to the separation of a nanoparticle using a microfluidic chip and a method for analyzing a biomaterial using the same. The microfluidic chip according to the present invention has an effect of more sensitively and precisely detecting an object. The method for analyzing a biomaterial using the microfluidic chip according to the present invention enables the reliable analysis of a biomaterial since the separation of nanoparticles according to the size of the nanoparticles using nanoparticle separation holes. The microfluidic chip according to the present invention can increase the reliability of the analysis of a biomaterial using customized nanoparticle separation holes corresponding to the size of the nanoparticles to be separated. The present invention can greatly improve the reliability of analysis through microfluidic engineering and a microfluidic system.
Abstract translation: 本发明涉及使用微流控芯片分离纳米颗粒，以及使用其分析生物材料的方法。 根据本发明的微流体芯片具有更灵敏和精确地检测物体的效果。 根据本发明的使用微流控芯片分析生物材料的方法能够对生物材料进行可靠的分析，因为根据使用纳米颗粒分离孔的纳米颗粒的尺寸分离纳米颗粒。 根据本发明的微流体芯片可以使用与待分离的纳米颗粒的尺寸相对应的使用定制的纳米颗粒分离孔来增加对生物材料的分析的可靠性。 本发明可以通过微流体工程和微流体系统大大提高分析的可靠性。
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