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公开(公告)号：KR1019970077619A
公开(公告)日：1997-12-12
申请号：KR1019960017011
申请日：1996-05-20
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L27/04
Abstract: 본 발명에 의한 Pb(Zr
1 -xTi
x )O
3 강유전 박막 제조방법은, 스퍼터링법이나 레이저 에블리션법을 이용한 Pb(Zr
1 -xTi
x )O
3 강유전 박막 제조방법에 있어서, 상기 강유전 박막 제조시 이용되는 증착조건 중, 타켓 성분의 Pb량(또는 PbO량)을, 증착된 박막의 조성이 20-60% 범위의 과량의 PbO 성분이 함유되도록 조절하거나, 혹은 그 증착압력을 5-100mTorr로 조절하여, 상기 Pb(Zr
1 -xTi
x )O
3 강유전 박막을 저온증착하도록 이루어져, 1) 씨앗층을 도입하지 않고서도 기존의 경우보다 낮은 온도에서 우수한 결정성을 갖는 Pb(Zr
1 -xTi
x )O
3 강유전 박막을 제조할 수 있고, 2) 고온증착시 발생되는 박막 조성 조절의 어려움이나 상기 박막을 사용하여 제조한 강유전 기억소자의 스위칭 특성 저하 등과 같은 현상을 제거할 수 있으며, 3) Pb(Zr
1 -xTi
x )O
3 강유전 박막의 피로 특성을 향 상시킬 수 있는 고신뢰성의 Pb(Zr
1 -xTi
x )O
3 강유전 박막을 구현할 수 있게 된다.-
公开(公告)号：KR1019970008415A
公开(公告)日：1997-02-24
申请号：KR1019950021554
申请日：1995-07-21
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/3205
Abstract: 본 발명은 이온 클러스터 빔을 이용한 반도체 소자용 구리박막 제조방법에 관한 것으로, 증착할 구리를 도가니에 채우는 단계와, 기판을 증착위치에 올려 놓은 후, 증착조건의 진공을 유지하는 단계와, 구리가 채워진 도가니를 도가니 필라멘트와 도가니 밤바드먼트를 조절함으로써 클러스터 이온 빔을 형성시키는 단계와, 이온화 필라멘트와 이온화 전압을 조절하여 이온 빔의 일부분을 이온화시키는 단계와, 가속 전압을 조절하여 이온화된 클러스터 이온을 가속시켜 가속된 클러스터이온 빔과 중성 클러스터 이온 빔을 기판에 증착시키는 단계의 순서로 진행하는 구리박막 제조방법을 제공하여 반도체의 필요조건인 스텝 커버리지를 만족할 뿐 아니라 구리박막의 결정성이 우수해지고, 제조한 박막의 박막저항이 구리 본래의저항에 가까운 값을 갖 효과가 있으며, 기판과의 접착력이 우수하여 고품위 반도체 소자용으로 사용시 우수한 특성을 가지도록 한 것이다.
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公开(公告)号：KR1019960012732B1
公开(公告)日：1996-09-24
申请号：KR1019940008358
申请日：1994-04-20
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C04B41/83
Abstract: The composite material is prepared by dispersing a piezo electric ceramic powder into a piezoelectric polymer as matrix, thereby preparing pliable sheet-type. Specially, the addition of a silane has advantage of the improvement of coherence between PZT piezoelectric ceramics and polyvinylidine-fluoride(PVdF) piezoelectric polymer. Futhermore, The addition of a fine carbon particles has exhibited the improvement electrical conductivity. This specific composition is well suited for use in a 0-3 connectivity sheet-type.
Abstract translation: 复合材料通过将压电陶瓷粉末分散在作为基质的压电聚合物中制备，从而制备柔韧的片状。 特别地，添加硅烷具有改善PZT压电陶瓷和聚偏氟乙烯（PVdF）压电聚合物之间的相干性的优点。 此外，添加细小的碳颗粒具有改进的导电性。 该特定组合非常适用于0-3连接片型。
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公开(公告)号：KR1019960012729B1
公开(公告)日：1996-09-24
申请号：KR1019940015403
申请日：1994-06-30
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C04B35/46
Abstract: The composition is represented by; (1-y)(Sr1-xCax)TiO3-yNd(Mg1/2Ti1/2)O3 where 0.01= x= 1.0, 0.3= y= 0.6. This invention provides a small dielectric loss and good temperature coefficient of resonance frequencies.
Abstract translation: 组成由 （1-y）（Sr1-xCax）TiO3-yNd（Mg1 / 2Ti1 / 2）O3，其中0.01 = x = 1.0,0.3 = y = 0.6。 本发明提供了小的介电损耗和良好的谐振频率温度系数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019960009052A
公开(公告)日：1996-03-22
申请号：KR1019940021213
申请日：1994-08-26
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/316
Abstract: 본 발명은 모스 캐패시터용 유전 박막 조성물 및 그 유전 박막 제조방법에 관한 것으로, 종래 모스 캐피시터용 유전박막은 실리콘 기판과의 계면에서 많은 결함이 존재하여 이로인한 정정용량-전압 특성에서 많은 히스테리시스를 보이고 있어 이것을 이용한 응용소자의 경우 실용화하는데 문제점이 있으며, 모스 캐패시터용 유전 박막 재료의 초소형화시에는 고전압(8MV/cm)하에서 발생되는 유전막의 누설전류(leakage current)로 인하여 발생되는 읽기/쓰기 횟수(read/write cycle)의 감소 및 데이타 리텐션열화(data reterion degradation)가 해결되어야 하는 문제점이 있었다. 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 실리콘 옥시나이트라이드(silicon oxynitride)의 계면이 전기적으로 강하다는 점에 착안하여, TiO
2 의 음이온인 산소를 질소로 일부치환하여 유전상수가 크고 정전용량-전압 특성에서 쉽게 발생하는 히스테리시스(Hysteresis)가 없고 유전 파괴전압이 우수한 모스 캐패시터용 유전 박막 재료의 조성물을 제공하는 것이다.-
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公开(公告)号：KR1019950000114B1
公开(公告)日：1995-01-09
申请号：KR1019910024242
申请日：1991-12-24
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L41/08
Abstract: The piezoelectric actuator of functionally gradient type by use of PLZT piezoelectric ceramics, is composed of aPbO + bLa2O3 + cZrO2 + dTiO2 (0.89
Abstract translation: 使用PLZT压电陶瓷的功能梯度型压电致动器由PbO + bLa2O3 + cZrO2 + dTiO2组成（0.89 <= a <= 0.94,0.06 <= b <= 0.11,0.55 <= c <= 0.70,0.30 <= D <= 0.45）。 用于打印头，压电蜂鸣器或扬声器的致动器通过层压压电陶瓷（1），（2）和不同的组成来制造，通过压制，在烧结期间通过热扩散在层间形成功能梯度层（3），并形成 设备表面上的电极（4），（4'）。
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公开(公告)号：KR1019940024682A
公开(公告)日：1994-11-18
申请号：KR1019930005886
申请日：1993-04-08
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 시트르산 졸-겔법을 이용하여 자성물질을 제조하는 방법에 관한 것이다.
본 발명은 시트르산 졸-겔법으로 자성분말을 합성함에 있어서 사슬형성 촉진제로서 에틸렌 글리콜을 사용하지 않고 단지 pH조절만으로 페라이트 반응전구 물질을 합성한 후, 이 페라이트 전구물질을 전기로 중에서 소성하여 페라이트 자성분말을 얻은 공정으로 이루어진다.
본 발명은 에틸렌 글리콜의 사용없이 pH값만을 겔화에 적합하게 조절하여 줌으로써 제조비용의 절감을 기할 수 있고 공정이 간편하다는 장점이 있으며, 또한 자성분말의 특성에 있어서도 입자의 크기가 0.1㎛이하로 이세하고 6000 Oe 이상의 고보자력을 타나내는 우수한 특성을 지니고 있다. -
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