Abstract:
PURPOSE: A method is provided to improve adhesion force between polymer and metal layer or easily form the metal layer on the polymer having low plating property without a metal seed layer, and simplify treating processes when forming the metal layer on the polymer by electroless or electrolytic plating. CONSTITUTION: The method for improving adhesion force between polymer and metal comprises the processes of partially breaking polymer bonds on the surface of the polymer by irradiating ion beams having an energy onto the polymer as injecting a reactive gas into a vacuum chamber; injecting the reactive gas into the vacuum chamber so that atoms on the surface of the bond broken polymer are reacted with the reactive gas, thereby changing the property of the surface of the polymer into hydrophilic property; and depositing a metal layer on the surface of the polymer changed into the hydrophilic property, wherein an acceleration voltage of the ion beams is 300 to 2000 V, the ion is an ionization gas such as argon, nitrogen, hydrogen, helium, oxygen, ammonia, or a mixture thereof, the reactive gas is oxygen, nitrogen, ammonia, hydrogen, or a mixture thereof, and the deposition of the metal layer is done by an electroless or electrolytic plating.
Abstract:
본 발명은 이온빔을 이용하여 친수성으로 표면개질된 고분자 멤브레인 및 그 표면 개질방법에 관한 것으로, 고분자 멤브레인 표면으로, 반응성 기체를 유입시키면서 2000 eV 이하의 에너지를 가진 이온빔을 조사시킴으로써 상기 이온빔으로 고분자 멤브레인의 표면을 활성화시키면서 활성화된 고분자 멤브레인의 표면과 상기 반응성 기체를 반응시켜 그 표면에 친수성기를 형성시키는 고분자 멤브레인의 표면개질 방법과 그에 의해 표면개질된 고분자 멤브레인을 제공한다.
Abstract:
PURPOSE: A method is provided to produce oxidized zinc powders by generating a zinc gas with reducing or evaporating a raw material mixed with an oxidized zinc and a zinc in a rotary kiln and by oxidizing again. CONSTITUTION: Cokes is mixed in a raw material mixed with an oxidized zinc, a zinc and other impurities. The prepared raw material is continuously inputted in a rotary kiln heated over 900°C by burning a raw material such as a LPG, a liquefied propane gas and a coal with air. A degree to convert to a zinc gas is decided by measuring a weight reduction of raw material generated due to a progress of reaction. The generated zinc gas is oxidized by contacting with air inside the same rotary kiln. The air is supplied in a regular part inside the rotary kiln through a separated inlet.
Abstract:
PURPOSE: A polymer contact lens having an improved hydrophilic property is provided which a part of carbon of the activated surface is reacted with a reactive gas after activating the surface by irradiating less than 2,000 eV ion beam. CONSTITUTION: A surface modifying apparatus comprises a gas inlet part(20) introducing a reactive gas into a vacuum chamber(10), an ion source(30) producing ion beam, a substrate holder(40) and a vacuum pump(50). The polymer contact lens is built in the substrate holder(40) and the reactive gas is introduced into the vacuum chamber(10) through the gas inlet part(20). Ion beam having less than 2,000 eV is irradiated to activate the surface of the polymer contact lens from the ion source(30). The surface of the lens is reacted with the reactive gas to produce a hydrophilic group on the surface.
Abstract:
본 발명은, 냉동 공조용 금속 재료 기판의 고유한 성질에는 영향을 주지 않으면서 에이징 특성이 뛰어난 친수성 또는 소수성 중합막 기능을 가지는 그룹이 그 표면에 형성된 냉동 공조용 금속 재료를 제공하기 위하여, 불포화 지방족 탄화수소 단량체(monomer) 가스, 질소 가스, 분위기 가스 및 냉동 공조용 금속 재료의 표면으로부터 증발한 물질로부터 기인하는 양(+) 또는 음(-) 입자 및 라디칼로 이루어지는 플라즈마로부터 형성되는 친수성 또는 소수성 중합막 기능을 가지는 그룹으로, 상기 그룹은 CH, OH, NH, CN, CC 및 COC로 이루어지는 군으로부터 선택되는 둘 이상의 결합에 의해 형성되고, 상기 그룹내의 탄소, 질소 및 산소의 원자수 비율은 탄소 100에 대하여, 10 내지 30의 질소, 10 내지 30의 산소인 친수성 또는 소수성 중합막 기능을 가지는 그룹을 그 표� �에 가지는 냉동, 공조용 금속 재료 및 DC 방전과 HF 방전의 플라즈마를 이용한 상기 친수성 또는 소수성 중합막 기능을 가지는 그룹을 이용한 상기 금속 표면 개질 방법을 제공한다.
Abstract:
본 발명은 이온 클러스터 빔을 이용한 반도체 소자용 구리박막 제조방법에 관한 것으로, 증착할 구리를 도가니에 채우는 단계와, 기판을 증착위치에 올려 놓은 후, 증착조건의 진공을 유지하는 단계와, 구리가 채워진 도가니를 도가니 필라멘트와 도가니 밤바드먼트를 조절함으로써 클러스터 이온 빔을 형성시키는 단계와, 이온화 필라멘트와 이온화 전압을 조절하여 이온 빔의 일부분을 이온화시키는 단계와, 가속 전압을 조절하여 이온화된 클러스터 이온을 가속시켜 가속된 클러스터이온 빔과 중성 클러스터 이온 빔을 기판에 증착시키는 단계의 순서로 진행하는 구리박막 제조방법을 제공하여 반도체의 필요조건인 스텝 커버리지를 만족할 뿐 아니라 구리박막의 결정성이 우수해지고, 제조한 박막의 박막저항이 구리 본래의저항에 가까운 값을 갖 효과가 있으며, 기판과의 접착력이 우수하여 고품위 반도체 소자용으로 사용시 우수한 특성을 가지도록 한 것이다.
Abstract:
본 발명은 고순도 산화아연(ZnO) 미분의 제조 방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로는, 본 발명은 산화아연과 아연이 혼합된 원료를 회전로에서 환원 또는 증발시켜 아연 가스를 발생시키고 이를 다시 산화시켜 산화아연 미분을 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 산화아연 제조 방법에 따르면, 산화아연의 환원 및(또는) 아연의 증발, 및 이에 의해 생성된 아연 가스의 산화를 단일 반응로 내에서 동시에 수행함으로써 산화아연 미분의 제조에 필요한 설비를 간단하게 하고, 아연 가스의 산화 반응에서 발생하는 반응열을 산화아연의 환원 및 아연의 증발에 재사용함으로써 전체 공정의 열효율을 개선시켜 산화아연 제조 비용을 절감할 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A method for surface-processing by plasma polymerization of a surface of a metal by using a DC discharge plasma is provided, to form a polymer with hydrophilicity or hydrophobicity on the surface of the metal. CONSTITUTION: The method comprises the steps of: positioning an anode electrode which is substantially of metal to be surface-processed and a cathode electrode in a chamber; maintaining a pressure in the chamber at a predetermined vacuum level; blowing an unsaturated aliphatic hydrocarbon monomer gas or a fluorine-containing monomer gas at a predetermined pressure and a non-polymerizable gas at a predetermined pressure into the chamber; and applying a voltage to the electrodes in order to obtain a DC discharge, whereby to obtain a plasma consisting of positive and negative ions and radicals generated from the unsaturated aliphatic hydrocarbon monomer gas or the fluorine containing monomer gas and the non-polymerizable gas, and then forming a polymer with hydrophilicity or hydrophobicity on the surface of the anode electrode by plasma deposition.