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21.发明授权나노구조물 제조방법, 이에 의하여 제조된 나노구조물, 이를 위한 제조장치, 및 이를 포함하는 가스 및 ＵＶ 센서 有权制造纳米结构体的方法，由其制造的纳米结构体，及其制造装置以及包含该纳米结构的气体的UV传感器
公开(公告)号：KR101105824B1
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：KR1020090061510
申请日：2009-07-07
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 나노구조물 제조방법, 이에 의하여 제조된 나노구조물, 이를 위한 제조장치, 및 이를 포함하는 가스 및 UV 센서가 제공된다.
본 발명에 따른 나노구조물 제조방법은 성장시키고자 하는 물질의 액상 전구체를 상기 액상의 전구체와 접촉하는 마이크로 히터로 가열하는 단계; 및
상기 가열된 마이크로 히터로부터 상기 물질의 나노구조를 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 상기 나노구조물 제조방법은 상대적으로 낮은 온도에서 진행되므로, 경제성 등이 우수하다. 또한, 종래의 기상에서 진행되는 VLS법과는 달리 본 발명은 액상의 환경에서 나노구조물 성장 반응을 진행하므로, 경제성과 더불어 안전성이 우수하고, 보다 환경 친화적이다. 더 나아가, 마이크로 히터의 가열을 통하여 나노구조물을 제조하므로, 그 구성에 따른 다양한 형태의 나노구조물 제조가 가능하며, 더 나아가, 온도 등의 조건에 따라 나노구조물 제조 패턴을 제어가능하다. 또한 나노구조물을 합성시킴과 동시에 소자 상에 원하는 위치에 집적시킬 수 있는 장점이 있으며, 이를 통해 기존의 나노구조물 합성 후 집적 및 조립 공정에서 발생하는 복잡성을 해결할 수 있다.-
公开(公告)号：KR102246230B1
公开(公告)日：2021-04-29
申请号：KR1020190034623
申请日：2019-03-26
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/12 , G01N33/00 , H01L21/02 , H01L21/762
Abstract: 본발명의일 실시예에따른수소센서는, 상면에양극(Anode) 및음극(Cathod)이마련되는플렉시블기판; 상기플렉시블기판의상기상면상에서상기양극과연결되는실리콘박막; 상기음극과연결되어상기실리콘박막의상면과접하고, 수소기체와반응하는감지부를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020210014514A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：KR1020190092686
申请日：2019-07-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/407 , G01N33/00 , C23C14/58 , C23C14/02 , C23C14/20
Abstract: 본발명의일 실시예에따른팔라듐기반센서제조방법은, 전기방사를이용하여제1 기판위에다공성을가지는집합체를형성하는단계와, 상기집합체에소정두께로팔라듐을증착하는단계와, 상기팔라듐이증착된상기집합체를제2 기판상에배치하는단계와, 유기용매제를이용하여상기제2 기판상에배치된집합체를녹임에기초하여, 상기집합체형상의공간을포함하는팔라듐튜브를형성하는단계와, 상기제2 기판및 상기팔라듐튜브를이용하여팔라듐기반센서를제조하는단계를포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020200134764A
公开(公告)日：2020-12-02
申请号：KR1020190060715
申请日：2019-05-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/12 , G01N27/416 , G01N27/414 , G01N27/404 , H01L29/16 , H01L29/06 , H01L21/285 , H01L21/02 , H01L21/268
Abstract: 본발명에따른그래핀기반의유연수소센서는, 베이스기판과, 상기베이스기판상에임의의패턴으로형성된그래핀층과, 상기그래핀층의상부에형성된나노입자형태의촉매제와, 내측단부가상기그래핀층의외측단부에접촉되는형태로상기베이스기판상에형성된전극을포함할수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170062296A
公开(公告)日：2017-06-07
申请号：KR1020150167934
申请日：2015-11-27
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은직접적임프린팅용탄성체몰드와이를이용한높은종횡비를가지는와이어구조물제조방법에관한것으로서, 직접적임프린팅용탄성체몰드의탄성변형과함께탄성체몰드와기판사이의슬립모션을통해다양한기능성물질들에대한높은종횡비를가지는와이어구조물들을제작가능하도록함으로써, 높은종횡비를가지는기능성와이어구조물들의생산성을높이고이들의제조원가를절감할수 있어다양한산업계와학계연구개발에활용할수 있는효과를갖는다.
Abstract translation: 在本发明中的各种功能性物质通过直接林之间的滑动运动为使用相同的和用于上导线结构印刷直接压印形成的方法，所述弹性体模具和基板与弹性模的弹性变形的弹性体的模具具有高纵横比 通过使电线以允许具有高纵横比的结构，它可以减少具有高纵横比的官能nopyigoyi导线结构的生产率的制造成本具有可以采取广泛的工业和学术研究和发展的优点的效果。
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公开(公告)号：KR1020170027566A
公开(公告)日：2017-03-10
申请号：KR1020150124360
申请日：2015-09-02
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01L1/142
Abstract: 본발명에의하면, 제1 전극층; 상기제1 전극층과이격된제2 전극층; 및상기제1 전극층과상기제2 전극층사이에형성된유전층을포함하며, 상기유전층은다공성탄성중합체로이루어지는것을특징으로하는정전용량형압력센서가제공된다.
Abstract translation: 根据本公开，提供一种压电式压力传感器，包括第一电极层，与第一电极层间隔开的第二电极层和形成在第一电极层和第二电极层之间的电介质层，其中， 电介质层由多孔弹性体制成。
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28.发明授权전기수력학 프린팅을 이용한 센서 소재 미세 패턴 어레이 제작방법 및 이를 기반으로 제작한 가스 센서 어레이 有权一种使用电流体动力学印刷和由其制造的气体传感器阵列制造传感器图案微图案阵列的方法
公开(公告)号：KR101710587B1
公开(公告)日：2017-02-27
申请号：KR1020150094063
申请日：2015-07-01
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/407 , B05B5/025 , B41J2/06
Abstract: 본발명의일 관점에따른전기수력학프린팅을이용한다종금속산화물나노소재미세패턴어레이제작방법은센서플랫폼을준비하는단계; 감지물질로서기능하는하나이상의금속산화물나노섬유들을준비하는단계; 및상기다종의금속산화물나노섬유들을전기수력학프린팅을이용하여상기센서플랫폼상에도포하는단계;를포함하고, 상기도포단계는, 상기금속산화물나노섬유가분사되는노즐을상기센서플랫폼과소정간격을유지한상태로배치하는단계, 상기노즐상에전압을인가하는단계, 및수백㎛ 내지수 ㎜간격을두고상기노즐과상기센서플랫폼사이에수 ㎸의전압을인가하여상기금속산화물나노섬유가토출되도록하는단계를포함한다.
Abstract translation: 它利用电动液压打印类型的根据本发明的包括的一个方面的金属氧化物纳米材料的精细图案阵列的制造方法，包括：制备一个传感器平台; 制备用作感测材料的一种或多种金属氧化物纳米纤维; 并且通过使用各种应用所述传感器平台上的金属氧化物纳米纤维电液压印刷步骤;包括，涂覆步骤，其中注射所述传感器平台的预定距离的金属氧化物纳米纤维的喷嘴 eulyu到极寒状态步骤中，施加电压，并与索引㎜内的数百㎛间隔，其通过在数量上施加电压㎸喷嘴和布置在所述喷嘴中的传感器平台之间的金属氧化物纳米纤维放电 和的步骤。
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29.发明授权
公开(公告)号：KR101522283B1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：KR1020140032129
申请日：2014-03-19
IPC: H05K3/00
Abstract: 본발명에따른금속패턴전사방법은패턴구조체(13)가임베드(imbed)된몰드기판(10)을준비하는단계, 상기몰드기판(10)의임베드된패턴구조체(13) 상에타겟금속패턴(22)을공급하는단계, 상기몰드기판(10)에타겟기판(20)을결합하여상기타겟금속패턴(22)을상기타겟기판(20) 상에전사하는단계, 및상기타겟기판(20)을상기몰드기판(10)으로부터분리하는단계를포함하고, 상기타겟금속패턴(22)을상기임베드된패턴구조체(13) 상에공급하는것은도금방식으로수행된다.
Abstract translation: 根据本发明的用于转移纳米金属图案的方法包括制备埋设有图案结构（13）的模具基板（10）的步骤，在嵌入图案结构（13）上提供目标金属图案（22）的步骤 ），将所述模具基板（10）与目标基板（20）组合并将所述目标金属图案（22）转印到所述目标基板（20）上的步骤，以及将所述目标基板 基板（20）到模具基板（10）。 执行将目标金属图案（22）供应到嵌入图案结构（13）上的电镀方法。
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公开(公告)号：KR1020120095073A
公开(公告)日：2012-08-28
申请号：KR1020110014498
申请日：2011-02-18
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A nano wire optical sensor, a flexible nano wire optical sensor, and a manufacturing method thereof are provided to improve the generality and the profitability of a substrate by manufacturing a nano wire optical sensor at relatively low temperature. CONSTITUTION: A nano wire optical sensor comprises two electrodes and a nano wire network. The two electrodes are formed on the substrate and spaced at a predetermined distance. The nano wire network connects the electrodes. Nano wires respectively grow in each one area of the electrodes facing each other, thereby forming a network.
Abstract translation: 目的：提供纳米线光学传感器，柔性纳米线光学传感器及其制造方法，以通过在较低温度下制造纳米线光学传感器来提高基板的通用性和利润率。 构成：纳米线光学传感器包括两个电极和纳米线网络。 两个电极形成在基板上并以预定距离隔开。 纳米线网络连接电极。 纳米线分别在彼此面对的电极的每个区域中生长，从而形成网络。
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