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1.发明专利
公开(公告)号：KR102233869B1
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：KR1020190060715A
申请日：2019-05-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/12 , G01N27/404 , G01N27/414 , G01N27/416 , H01L21/02 , H01L21/268 , H01L21/285 , H01L29/06 , H01L29/16
CPC classification number: G01N27/127 , G01N27/4045 , G01N27/4141 , G01N27/4162 , H01L21/02118 , H01L21/02266 , H01L21/268 , H01L21/285 , H01L29/0665 , H01L29/1606
Abstract: 본 발명에 따른 그래핀 기반의 유연 수소 센서는, 베이스 기판과, 상기 베이스 기판 상에 임의의 패턴으로 형성된 그래핀층과, 상기 그래핀층의 상부에 형성된 나노입자 형태의 촉매제와, 내측 단부가 상기 그래핀층의 외측 단부에 접촉되는 형태로 상기 베이스 기판 상에 형성된 전극을 포함할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102223066B1
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020190092686A
申请日：2019-07-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/407 , C23C14/02 , C23C14/20 , C23C14/58 , G01N33/00
CPC classification number: G01N27/407 , C23C14/02 , C23C14/20 , C23C14/5873 , G01N33/005
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 팔라듐 기반 센서 제조 방법은, 전기방사를 이용하여 제1 기판 위에 다공성을 가지는 집합체를 형성하는 단계와, 상기 집합체에 소정 두께로 팔라듐을 증착하는 단계와, 상기 팔라듐이 증착된 상기 집합체를 제2 기판 상에 배치하는 단계와, 유기용매제를 이용하여 상기 제2 기판 상에 배치된 집합체를 녹임에 기초하여, 상기 집합체 형상의 공간을 포함하는 팔라듐 튜브를 형성하는 단계와, 상기 제2 기판 및 상기 팔라듐 튜브를 이용하여 팔라듐 기반 센서를 제조하는 단계를 포함할 수 있다.
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公开(公告)号：KR102233869B1
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：KR1020190060715
申请日：2019-05-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/12 , G01N27/416 , G01N27/414 , G01N27/404 , H01L29/16 , H01L29/06 , H01L21/285 , H01L21/02 , H01L21/268
Abstract: 본발명에따른그래핀기반의유연수소센서는, 베이스기판과, 상기베이스기판상에임의의패턴으로형성된그래핀층과, 상기그래핀층의상부에형성된나노입자형태의촉매제와, 내측단부가상기그래핀층의외측단부에접촉되는형태로상기베이스기판상에형성된전극을포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR102223066B1
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020190092686
申请日：2019-07-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/407 , G01N33/00 , C23C14/58 , C23C14/02 , C23C14/20
Abstract: 본발명의일 실시예에따른팔라듐기반센서제조방법은, 전기방사를이용하여제1 기판위에다공성을가지는집합체를형성하는단계와, 상기집합체에소정두께로팔라듐을증착하는단계와, 상기팔라듐이증착된상기집합체를제2 기판상에배치하는단계와, 유기용매제를이용하여상기제2 기판상에배치된집합체를녹임에기초하여, 상기집합체형상의공간을포함하는팔라듐튜브를형성하는단계와, 상기제2 기판및 상기팔라듐튜브를이용하여팔라듐기반센서를제조하는단계를포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020210014514A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：KR1020190092686
申请日：2019-07-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/407 , G01N33/00 , C23C14/58 , C23C14/02 , C23C14/20
Abstract: 본발명의일 실시예에따른팔라듐기반센서제조방법은, 전기방사를이용하여제1 기판위에다공성을가지는집합체를형성하는단계와, 상기집합체에소정두께로팔라듐을증착하는단계와, 상기팔라듐이증착된상기집합체를제2 기판상에배치하는단계와, 유기용매제를이용하여상기제2 기판상에배치된집합체를녹임에기초하여, 상기집합체형상의공간을포함하는팔라듐튜브를형성하는단계와, 상기제2 기판및 상기팔라듐튜브를이용하여팔라듐기반센서를제조하는단계를포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020200134764A
公开(公告)日：2020-12-02
申请号：KR1020190060715
申请日：2019-05-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/12 , G01N27/416 , G01N27/414 , G01N27/404 , H01L29/16 , H01L29/06 , H01L21/285 , H01L21/02 , H01L21/268
Abstract: 본발명에따른그래핀기반의유연수소센서는, 베이스기판과, 상기베이스기판상에임의의패턴으로형성된그래핀층과, 상기그래핀층의상부에형성된나노입자형태의촉매제와, 내측단부가상기그래핀층의외측단부에접촉되는형태로상기베이스기판상에형성된전극을포함할수 있다.
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