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公开(公告)号:KR102233869B1
公开(公告)日:2021-03-30
申请号:KR1020190060715A
申请日:2019-05-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/12 , G01N27/404 , G01N27/414 , G01N27/416 , H01L21/02 , H01L21/268 , H01L21/285 , H01L29/06 , H01L29/16
CPC classification number: G01N27/127 , G01N27/4045 , G01N27/4141 , G01N27/4162 , H01L21/02118 , H01L21/02266 , H01L21/268 , H01L21/285 , H01L29/0665 , H01L29/1606
Abstract: 본 발명에 따른 그래핀 기반의 유연 수소 센서는, 베이스 기판과, 상기 베이스 기판 상에 임의의 패턴으로 형성된 그래핀층과, 상기 그래핀층의 상부에 형성된 나노입자 형태의 촉매제와, 내측 단부가 상기 그래핀층의 외측 단부에 접촉되는 형태로 상기 베이스 기판 상에 형성된 전극을 포함할 수 있다.
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公开(公告)号:KR102223066B1
公开(公告)日:2021-03-05
申请号:KR1020190092686A
申请日:2019-07-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/407 , C23C14/02 , C23C14/20 , C23C14/58 , G01N33/00
CPC classification number: G01N27/407 , C23C14/02 , C23C14/20 , C23C14/5873 , G01N33/005
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 팔라듐 기반 센서 제조 방법은, 전기방사를 이용하여 제1 기판 위에 다공성을 가지는 집합체를 형성하는 단계와, 상기 집합체에 소정 두께로 팔라듐을 증착하는 단계와, 상기 팔라듐이 증착된 상기 집합체를 제2 기판 상에 배치하는 단계와, 유기용매제를 이용하여 상기 제2 기판 상에 배치된 집합체를 녹임에 기초하여, 상기 집합체 형상의 공간을 포함하는 팔라듐 튜브를 형성하는 단계와, 상기 제2 기판 및 상기 팔라듐 튜브를 이용하여 팔라듐 기반 센서를 제조하는 단계를 포함할 수 있다.
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公开(公告)号:WO2022119272A1
公开(公告)日:2022-06-09
申请号:PCT/KR2021/017852
申请日:2021-11-30
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 가변광조사를 이용한 광활성 가스센서의 가스종 식별방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 광활성식 가스센서에 광조사 시 주기적으로 광량을 바꾸어 조사함으로써 단일 화학저항식 가스센서만으로도 선택성 난제를 겪지 않고 원활하게 가스종을 구별할 수 있도록 하는, 가변광조사를 이용한 광활성 가스센서의 가스종 식별방법을 제공함에 있다.
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公开(公告)号:KR102223066B1
公开(公告)日:2021-03-05
申请号:KR1020190092686
申请日:2019-07-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/407 , G01N33/00 , C23C14/58 , C23C14/02 , C23C14/20
Abstract: 본발명의일 실시예에따른팔라듐기반센서제조방법은, 전기방사를이용하여제1 기판위에다공성을가지는집합체를형성하는단계와, 상기집합체에소정두께로팔라듐을증착하는단계와, 상기팔라듐이증착된상기집합체를제2 기판상에배치하는단계와, 유기용매제를이용하여상기제2 기판상에배치된집합체를녹임에기초하여, 상기집합체형상의공간을포함하는팔라듐튜브를형성하는단계와, 상기제2 기판및 상기팔라듐튜브를이용하여팔라듐기반센서를제조하는단계를포함할수 있다.
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公开(公告)号:KR102208383B1
公开(公告)日:2021-01-28
申请号:KR1020190081645
申请日:2019-07-05
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/407 , G01N27/12 , G01N33/00 , B82Y15/00
Abstract: 본발명의일 실시예에따른수소센서는, 도핑농도에따라복수의전극영역과하나의채널영역으로구획되는상부의반도체층이구비되는 SOI(Silicon-On-Insulator) 기판; 상기반도체층의상기복수의전극영역상에형성되는복수의전극; 및상기반도체층의상기채널영역을식각함으로써형성되는실리콘나노그물및 수소기체와반응하도록상기실리콘나노그물상에증착되는감지물질로구성되는감지부; 를포함한다.
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公开(公告)号:KR102198765B1
公开(公告)日:2021-01-05
申请号:KR1020190011453
申请日:2019-01-29
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L29/66 , H01L29/778 , H01L21/02 , H01L29/417
Abstract: 본발명의일 실시예에따른이종접합구조의수직형트랜지스터제조방법은, 제1 전자이동도를가지는제1 물질로구성되는제1 레이어, 상기제1 전자이동도보다큰 제2 전자이동도를가지는제2 물질로구성되는제2 레이어및 상기제1 물질로구성되는제3 레이어를포함하는다층구조를생성하는단계와, 상기다층구조에대해수직으로소스(source), 드레인(drain), 게이트(gate)를형성하여수직형트랜지스터를제조하는단계를포함할수 있다.
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公开(公告)号:KR101497303B1
公开(公告)日:2015-03-03
申请号:KR1020130107206
申请日:2013-09-06
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 초음파 빔포밍 기술을 이용하여 인체 내에 이식된 의료장치로의 무선전력전송장치에 관한 기술로서, 빔형성부는 지연시간이 특정 순서로 계산된 구동 신호들을 위상배열 초음파 트랜스듀서에 출력하고 상기 위상배열 초음파 트랜스듀서는 구동 신호의 지연시간에 따라 출력하는 초음파 빔들의 초점 위치를 변화시키고 인체 내부의 의료용 이식장치로 초음파 빔들을 집속시켜 전기로 변환하여 충전장치에 전력을 충전하는 초음파 빔포밍 기술을 이용한 인체 내에 이식된 의료장치로의 무선전력전송장치에 관한 기술이다.
Abstract translation: 本发明涉及使用聚焦超声波波束形成技术的植入人体的医疗装置的无线电力传送装置的技术。 无线电力传送装置包括:波束形成单元,其将时间延迟按特定序列计算的驱动信号输出到相控阵列超声换能器; 以及相控阵超声波换能器,其根据超声波束的驱动信号的时间延迟输出超声波束的焦点位置,将其聚焦在植入人体内的医疗装置上,并转换成用于对充电器装置充电。
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公开(公告)号:KR102246230B1
公开(公告)日:2021-04-29
申请号:KR1020190034623
申请日:2019-03-26
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/12 , G01N33/00 , H01L21/02 , H01L21/762
Abstract: 본발명의일 실시예에따른수소센서는, 상면에양극(Anode) 및음극(Cathod)이마련되는플렉시블기판; 상기플렉시블기판의상기상면상에서상기양극과연결되는실리콘박막; 상기음극과연결되어상기실리콘박막의상면과접하고, 수소기체와반응하는감지부를포함한다.
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公开(公告)号:KR1020210014514A
公开(公告)日:2021-02-09
申请号:KR1020190092686
申请日:2019-07-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/407 , G01N33/00 , C23C14/58 , C23C14/02 , C23C14/20
Abstract: 본발명의일 실시예에따른팔라듐기반센서제조방법은, 전기방사를이용하여제1 기판위에다공성을가지는집합체를형성하는단계와, 상기집합체에소정두께로팔라듐을증착하는단계와, 상기팔라듐이증착된상기집합체를제2 기판상에배치하는단계와, 유기용매제를이용하여상기제2 기판상에배치된집합체를녹임에기초하여, 상기집합체형상의공간을포함하는팔라듐튜브를형성하는단계와, 상기제2 기판및 상기팔라듐튜브를이용하여팔라듐기반센서를제조하는단계를포함할수 있다.
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公开(公告)号:KR1020200134764A
公开(公告)日:2020-12-02
申请号:KR1020190060715
申请日:2019-05-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/12 , G01N27/416 , G01N27/414 , G01N27/404 , H01L29/16 , H01L29/06 , H01L21/285 , H01L21/02 , H01L21/268
Abstract: 본발명에따른그래핀기반의유연수소센서는, 베이스기판과, 상기베이스기판상에임의의패턴으로형성된그래핀층과, 상기그래핀층의상부에형성된나노입자형태의촉매제와, 내측단부가상기그래핀층의외측단부에접촉되는형태로상기베이스기판상에형성된전극을포함할수 있다.
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