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1.发明专利
公开(公告)号：KR102233869B1
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：KR1020190060715A
申请日：2019-05-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/12 , G01N27/404 , G01N27/414 , G01N27/416 , H01L21/02 , H01L21/268 , H01L21/285 , H01L29/06 , H01L29/16
CPC classification number: G01N27/127 , G01N27/4045 , G01N27/4141 , G01N27/4162 , H01L21/02118 , H01L21/02266 , H01L21/268 , H01L21/285 , H01L29/0665 , H01L29/1606
Abstract: 본 발명에 따른 그래핀 기반의 유연 수소 센서는, 베이스 기판과, 상기 베이스 기판 상에 임의의 패턴으로 형성된 그래핀층과, 상기 그래핀층의 상부에 형성된 나노입자 형태의 촉매제와, 내측 단부가 상기 그래핀층의 외측 단부에 접촉되는 형태로 상기 베이스 기판 상에 형성된 전극을 포함할 수 있다.
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公开(公告)号：KR102223066B1
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020190092686A
申请日：2019-07-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/407 , C23C14/02 , C23C14/20 , C23C14/58 , G01N33/00
CPC classification number: G01N27/407 , C23C14/02 , C23C14/20 , C23C14/5873 , G01N33/005
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 팔라듐 기반 센서 제조 방법은, 전기방사를 이용하여 제1 기판 위에 다공성을 가지는 집합체를 형성하는 단계와, 상기 집합체에 소정 두께로 팔라듐을 증착하는 단계와, 상기 팔라듐이 증착된 상기 집합체를 제2 기판 상에 배치하는 단계와, 유기용매제를 이용하여 상기 제2 기판 상에 배치된 집합체를 녹임에 기초하여, 상기 집합체 형상의 공간을 포함하는 팔라듐 튜브를 형성하는 단계와, 상기 제2 기판 및 상기 팔라듐 튜브를 이용하여 팔라듐 기반 센서를 제조하는 단계를 포함할 수 있다.
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公开(公告)号：WO2022177296A1
公开(公告)日：2022-08-25
申请号：PCT/KR2022/002299
申请日：2022-02-16
Abstract: 대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 장치가 개시된다. 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 압력 센싱을 위한 압력 센싱 장치는, 소정의 간격을 두고 마주보도록 배치되는 제1전극 및 제2전극, 상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 배치되는 압력 센싱층, 및 상기 제1전극, 상기 제2전극 및 상기 압력 센싱층의 접촉 또는 상기 압력 센싱층의 변형에 의해, 전류 또는 저항변화를 감지하여 압력을 센싱하는 제어부를 포함하며, 상기 압력 센싱층은, 압력이 가해지지 않는 경우, 양면의 각각 일부만 상기 제1전극 및 상기 제2전극에 접촉 상태를 유지하며, 압력이 가해지는 경우, 압력이 가해지는 부위를 중심으로 소정 범위에서 양면에 각각 상기 제1전극 및 상기 제2전극에 모두 접촉될 수 있는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：WO2022177295A1
公开(公告)日：2022-08-25
申请号：PCT/KR2022/002298
申请日：2022-02-16
Abstract: 대면적 압력 센싱 장치가 개시된다. 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 압력 센싱 장치는, 소정의 간격을 두고 마주보도록 배치되는 제1전극 및 제2전극, 상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 배치되는 절연층, 상기 제2전극과 상기 절연층 사이에 배치되는 압력 센싱층, 및 상기 제1전극, 상기 제2전극 및 상기 압력 센싱층의 접촉 또는 상기 압력 센싱층의 변형에 의해, 전류 또는 저항변화를 감지하여 압력을 센싱하는 제어부를 포함하며, 상기 절연층은, 적어도 하나의 통공이 형성되고, 압력이 가해지는 경우, 상기 압력 센싱층이 상기 적어도 하나의 통공을 통해 상기 제2전극과 접촉될 수 있는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：WO2022119272A1
公开(公告)日：2022-06-09
申请号：PCT/KR2021/017852
申请日：2021-11-30
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 가변광조사를 이용한 광활성 가스센서의 가스종 식별방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 광활성식 가스센서에 광조사 시 주기적으로 광량을 바꾸어 조사함으로써 단일 화학저항식 가스센서만으로도 선택성 난제를 겪지 않고 원활하게 가스종을 구별할 수 있도록 하는, 가변광조사를 이용한 광활성 가스센서의 가스종 식별방법을 제공함에 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102233869B1
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：KR1020190060715
申请日：2019-05-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/12 , G01N27/416 , G01N27/414 , G01N27/404 , H01L29/16 , H01L29/06 , H01L21/285 , H01L21/02 , H01L21/268
Abstract: 본발명에따른그래핀기반의유연수소센서는, 베이스기판과, 상기베이스기판상에임의의패턴으로형성된그래핀층과, 상기그래핀층의상부에형성된나노입자형태의촉매제와, 내측단부가상기그래핀층의외측단부에접촉되는형태로상기베이스기판상에형성된전극을포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR20180049495A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：KR20160145478
申请日：2016-11-03
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B29C64/106 , B29C31/045 , B29C31/047 , B29C31/10 , B29C64/20 , B33Y30/00 , B33Y40/00
Abstract: 본발명의목적은, 3차원프린팅이가능하면서도충분한유연성을가지는소재를사용하여기존소재의한계를뛰어넘고, 기존의공정과정으로는제작할수 없는 3차원형태의물리센서를제작할수 있는, 3차원프린팅을이용한물리센서제작장치및 상기제작장치로제작된물리센서를제공함에있다.
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公开(公告)号：KR1020120097556A
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：KR1020110016823
申请日：2011-02-25
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H05B3/20 , H05B3/03 , H05B3/148 , H05B2203/01 , H05B2214/04
Abstract: PURPOSE: A nano heater including a nanowire array device and an applying method thereof are provided to control a chemical reaction temperature of a nano scale and make a desirable temperature gradient in a nanometer unit by performing an independent temperature control. CONSTITUTION: A plurality of metal nanowires are separated on a substrate. A plurality of electrodes are connected to the metal nanowires to apply a voltage. The electrode has an electrode pad with gold. A silicon oxide layer is laminated on the substrate. The thickness of the silicon oxide layer is 1 um or less.
Abstract translation: 目的：提供一种包括纳米线阵列器件及其施加方法的纳米加热器，以通过执行独立的温度控制来控制纳米级的化学反应温度并以纳米单位形成期望的温度梯度。 构成：在衬底上分离多个金属纳米线。 多个电极连接到金属纳米线以施加电压。 电极具有带金的电极垫。 氧化硅层层叠在基板上。 氧化硅层的厚度为1μm以下。
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