公开(公告)号：KR1020040028048A

公开(公告)日：2004-04-03

申请号：KR1020020059133

申请日：2002-09-28

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 안성덕 ,  이용의 ,  강승열 ,  서경수 ,  김미경 ,  정명주 ,  김철암 ,  이명기 ,  지영규

IPC: H01L21/20

CPC classification number: C23C14/228 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243

Abstract: PURPOSE: An organic thin film, its method and apparatus using large area organic vapor deposition for the organic thin film are provided to be capable of precisely controlling the thickness and composition of the organic thin film. CONSTITUTION: An organic vapor depositing apparatus is provided with a reaction chamber(100), a substrate support part installed at the inner portion of the chamber for supporting a substrate, a substrate temperature control part, and a depositing part installed opposite to the substrate support part for uniformly distributing organic source gas phase onto the substrate. At this time, the depositing part includes a shower head. The organic vapor depositing apparatus further includes a source chamber(300) for generating the organic source gas phase, a source heating part(500) for enclosing the source chamber, and a carrier gas supply source for flowing the organic source gas phase to the reaction chamber by supplying carrier gas.

Abstract translation: 目的：提供有机薄膜，其有机薄膜使用大面积有机气相沉积的方法和装置，以能够精确地控制有机薄膜的厚度和组成。 构成：有机气相沉积装置设置有反应室（100），安装在用于支撑基板的室内部的基板支撑部分，基板温度控制部分和与基板支撑件相对安装的沉积部分 用于将有机源气相均匀分布到基底上的部分。 此时，沉积部分包括淋浴头。 有机气相沉积装置还包括用于产生有机源气相的源室（300），用于封闭源室的源加热部分（500）和用于使有机源气相流向反应的载气供应源 通过供应载气。

公开(公告)号：KR100560430B1

公开(公告)日：2006-03-13

申请号：KR1020030093105

申请日：2003-12-18

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김철암 ,  강승열 ,  안성덕 ,  정명주 ,  서경수 ,  백규하

IPC: C08L91/00

Abstract: 자외선 경화에 의해 성형 가능한 유기 소자용 봉지 조성물 및 그 제조 방법과 유기 소자의 봉지 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 봉지 조성물은 오일과, 상기 오일에 용해 가능한 탄성 중합체와, 상기 오일에 용해 가능한 광개시제로 이루어진다. 유기 소자용 봉지 조성물을 제조하기 위하여 제1 탄성 중합체를 제1 오일에 용해시켜 탄성 중합체 용액을 형성한다. 상기 탄성 중합체 용액에 광개시제를 첨가하여 혼합한다. 탄성 중합체 블렌드를 이용하고자 하는 경우에는, 제2 탄성 중합체를 제2 오일에 용해시켜 블렌드 형성용 용액을 형성하고, 탄성 중합체 용액에 블렌드 형성용 용액을 첨가하여 탄성 중합체 블렌드 용액을 형성한다. 이 때, 광개시제는 상기 탄성 중합체 블렌드 용액에 첨가된다. 유기 소자를 봉지하기 위하여, 봉지 조성물을 유기 소자에 인가한 후 봉지 조성물에 UV를 조사하여 경화시킨다.
탄성 중합체, 봉지, 오일, 유기 소자

公开(公告)号：KR100550008B1

公开(公告)日：2006-02-08

申请号：KR1020030007992

申请日：2003-02-08

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 안성덕 ,  정명주 ,  이용의 ,  강승열 ,  서경수 ,  김철암 ,  안진희

IPC: C07D273/01 ,  H01L29/04

Abstract: 유기 박막 트랜지스터 소자 제작에 사용될 수 있는 유기 반도체 물질인 펜타센(pentacene)의 전구체(precusor)로 가용성의 펜타센 유도체들과 이들의 제조 방법 및 펜타센 박막 제조 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 펜타센 유도체는 펜타센과 디에노파일(dienophile)과의 딜스-알더(Diels-Alder) 반응 생성물로 이루어진다. 펜타센 유도체를 제조하기 위하여 펜타센과 디에노파일을 유기 용매에서 딜스-알더(Diels-Alder) 반응시킨 후, 상기 딜스-알더 반응 생성물을 정제한다. 이와 같이 얻어진 펜타센 유도체를 사용하여 펜타센 유도체 용액을 형성한 후, 형성된 펜타센 유도체 용액을 상온에서 200 ℃의 온도로 가열(pyrolysis)하여 진공증착 또는 용액 공정을 이용하여 펜타센 박막을 형성한다.
펜타센 유도체, 딜스-알더 반응, 디에노파일(dienophile), 저온 공정

公开(公告)号：KR100521697B1

公开(公告)日：2005-10-14

申请号：KR1020030087487

申请日：2003-12-04

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 안성덕 ,  강승열 ,  서경수 ,  김철암 ,  정명주

IPC: C23C16/00

Abstract: 시간 분할 급속 가열 폴리머(polymer) 박막 증착 장치 및 방법을 제시한다. 본 발명의 일 관점에 따른 증착 장비는, 반응 챔버, 기판 지지부, 기판 기판 냉각부, 폴리머 박막 증착에 참여할 증착 소스 기상 및 폴리머화를 위한 활성화제 기상을 교번적으로 기판 상에 공급하는 샤워링(shower ring), 활성화제 기상을 활성화하는 데 도움을 주는 열적 에너지를 제공하는 제1가열부를 포함하여 구성되고, 또한, 샤워 링으로 제공될 증착 소스 기상을 위한 증착 소스를 담는 증착 소스통, 활성화제 소스를 담는 활성화제 소스통, 증착 소스통 및 활성화제 소스통을 가열하는 제2가열부, 및 증착 소스의 기상 및 활성화제 기상이 시간 분할에 따라 선택적으로 상호 독립적으로 샤워링으로 이송되도록 허용하는 이송로를 포함하여 구성된다.

公开(公告)号：KR1020050054153A

公开(公告)日：2005-06-10

申请号：KR1020030087487

申请日：2003-12-04

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 안성덕 ,  강승열 ,  서경수 ,  김철암 ,  정명주

IPC: C23C16/00

CPC classification number: C23C16/52 ,  B05D1/60 ,  C23C16/4485 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/482 ,  Y10S261/65

Abstract: 시간 분할 급속 가열 폴리머(polymer) 박막 증착 장치 및 방법을 제시한다. 본 발명의 일 관점에 따른 증착 장비는, 반응 챔버, 기판 지지부, 기판 기판 냉각부, 폴리머 박막 증착에 참여할 증착 소스 기상 및 폴리머화를 위한 활성화제 기상을 교번적으로 기판 상에 공급하는 샤워링(shower ring), 활성화제 기상을 활성화하는 데 도움을 주는 열적 에너지를 제공하는 제1가열부를 포함하여 구성되고, 또한, 샤워 링으로 제공될 증착 소스 기상을 위한 증착 소스를 담는 증착 소스통, 활성화제 소스를 담는 활성화제 소스통, 증착 소스통 및 활성화제 소스통을 가열하는 제2가열부, 및 증착 소스의 기상 및 활성화제 기상이 시간 분할에 따라 선택적으로 상호 독립적으로 샤워링으로 이송되도록 허용하는 이송로를 포함하여 구성된다.

公开(公告)号：KR100473806B1

公开(公告)日：2005-03-10

申请号：KR1020020059133

申请日：2002-09-28

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 안성덕 ,  이용의 ,  강승열 ,  서경수 ,  김미경 ,  정명주 ,  김철암 ,  이명기 ,  지영규

IPC: H01L21/20

CPC classification number: C23C14/228 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243

Abstract: 본 발명은 유기물 박막 및 유기물 소자를 위한 대면적 유기물 기상 증착 장치 및 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 일관점에 따르는 유기물 기상 증착 장치는 크게 증착부와 소스부(source part)를 포함하여 구성되며, 증착부는 반응 챔버와, 반응 챔버 내에 설치되어 도입되는 기판을 지지하는 기판 지지부, 기판 지지부에 설치되어 기판의 온도를 조절하는 기판 온도 조절부, 및 기판 지지부에 대향되게 반응 챔버 내에 설치되어 증착 반응에 참여할 유기물 소스 기상(organic source gas phase)을 기판 상으로 균일하게 분배하는 샤워헤드(shower head)를 포함하여 구성되고, 소스부는 샤워 헤드로 제공될 유기물 소스 기상을 발생시키는 소스 챔버(source chamber)와, 소스 챔버를 감싸 소스 챔버에서 유기물 소스 기상이 유기물 재료로부터 기화되도록 허용하고 유량 조절계에 의해 제어되어 공급되는 이송 가스, 희석 가스, 유기물 소스 기상의 이송로 및 제어 밸브들을 가열하 는 가열부, 유기물 소스 기상을 반응 챔버로 이송하기 위한 이송 가스를 제공하는 이송 가스 공급원 및 희석 가스 공급원을 포함하여 구성된다.

公开(公告)号：KR1020040072067A

公开(公告)日：2004-08-18

申请号：KR1020030007992

申请日：2003-02-08

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 안성덕 ,  정명주 ,  이용의 ,  강승열 ,  서경수 ,  김철암 ,  안진희

IPC: C07D273/01 ,  H01L29/04

Abstract: PURPOSE: Pentacene derivatives, a method for preparing the same, and a method for preparing pentacene thin film are provided, thereby improving solubility of pentacene derivatives to organic solvent, so that the pentacene thin film can be prepared by Diels-Alder reaction through pyrolysis without using a vacuum device. CONSTITUTION: The pentacene derivatives are provided, wherein R1 is hydrogen, halogen, alkoxy, amino, hydroxy, thiol, nitro or cyano optionally substituted C1-C10 alkyl, optionally substituted C5-C10 cycloalkyl, or optionally substituted C5-C10 aromatic carbohydrate. The method for preparing the pentacene derivatives comprises the steps of: Diels-Alder reacting pentacene with dienophile in organic solvent of hydrogen, halogen, alkoxy, amino, hydroxy, thiol, nitro or cyano optionally substituted C1-C10 aromatic compounds at -40 deg. C to circulation temperature of the organic solvent; and purifying the Diels-Alder reaction products by using column chromatography. The method for preparing pentacene thin film comprises pyrolysis of the Diels-Alder reacted pentacene derivatives at 200 deg. C by using thermal evaporation, or solution based process such as spin coating, inkjet printing, screen printing and dipping.

Abstract translation: 目的：并五苯衍生物，其制备方法及其制备并五苯薄膜的方法，提高并五苯衍生物对有机溶剂的溶解度，使得并五苯薄膜可以通过热解法制备狄尔斯 - 阿尔德反应， 使用真空装置。 构成：提供并五苯衍生物，其中R 1为氢，卤素，烷氧基，氨基，羟基，硫醇，硝基或氰基任选取代的C 1 -C 10烷基，任选取代的C 5 -C 10环烷基或任选取代的C 5 -C 10芳族碳水化合物。 并五苯衍生物的制备方法包括以下步骤：狄尔斯 - 阿尔德在-40℃下将并五苯与亲二烯体在氢，卤素，烷氧基，氨基，羟基，硫醇，硝基或氰基任选取代的C 1 -C 10芳族化合物的有机溶剂中反应。 C到有机溶剂的循环温度; 并通过柱色谱纯化狄尔斯 - 阿尔德反应产物。 制备并五苯薄膜的方法包括在200℃下狄尔斯 - 阿尔德反应并五苯衍生物的热解。 C通过使用热蒸发或溶液基工艺如旋涂，喷墨印刷，丝网印刷和浸渍。

公开(公告)号：KR1020040033332A

公开(公告)日：2004-04-28

申请号：KR1020020061486

申请日：2002-10-09

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정명주 ,  안성덕 ,  김철암 ,  김미경 ,  이용의 ,  강승열 ,  서경수 ,  김철환

IPC: G02F1/167

CPC classification number: G02F1/167 ,  C09D5/44 ,  G09G3/344

Abstract: PURPOSE: Charged particles for an electrophoresis display coated with a functional organic compound, and a method for manufacturing the same are provided to easily manufacture charged particles having the high mobility, the reflexibility, and the bistability. CONSTITUTION: A colloid solution formed of dispersed inorganic oxide particles is formed in a solvent(10). A uniform mixture is formed by mixing a functional organic compound with the colloid solution(20). A temperature of the mixture is decreased while being agitated so that crystals are formed by coating the inorganic oxide particles with the crystallized organic particles(30). The formed crystals are dividedly purified(40). A control agent for electric charges is attached to surfaces of the crystals(50).

Abstract translation: 目的：提供涂布有功能性有机化合物的电泳显示器的带电粒子及其制造方法，以容易地制造具有高迁移率，反射性和双稳性的带电粒子。 构成：在溶剂（10）中形成由分散的无机氧化物颗粒形成的胶体溶液。 通过将功能性有机化合物与胶体溶液（20）混合形成均匀的混合物。 在搅拌的同时，混合物的温度降低，从而通过用结晶的有机颗粒（30）涂覆无机氧化物颗粒而形成晶体。 将形成的晶体分开纯化（40）。 用于电荷的控制剂附着在晶体（50）的表面上。