Abstract:
The present invention provides a method of manufacturing a nano-corona discharge structure including nano-structures which are grown vertically on a substrate without using a template or surfactant. According to an embodiment of the present invention, the method of manufacturing a nano-corona discharge structure includes manufacturing steps for manufacturing nano-structures. The nano-structures are manufactured through the manufacturing steps which include: a step of providing a thinly-diluted electrolyte solution including a material for forming nano-structures; a step of soaking a conductive substrate into the thinly-diluted electrolyte solution; a step of applying reduction voltage for supplying electrons to the conductive substrate to form nano-structures by depositing the material for forming nano-structures onto the conductive substrate; and a step of applying oxidation voltage for removing electrons to the conductive substrate to dissolve at least part of the nano-structures deposited onto the conductive substrate.
Abstract:
본 발명은 저온소결용 고주파 유전체 조성물 및 그 제조 방법과 이를 이용한 고주파용 유전체 부품에 관한 것으로, 일반식 Ba(Mg 1/3 Nb 2/3 )O 3 -xB 2 O 3 -yCuO[BMN-B-Cu]로 표시되고, 조성물 전체에 대한 B 2 O 3 와 CuO의 몰분율은 각각 2.0mol% ≤ x ≤ 30.0mol%, 및 0.5mol% ≤ y ≤ 30.0mol%의 범위의 값을 가진다. 본 발명의 유전체는 높은 유전율(ε r )과 품질계수(Q×f), 그리고 -8 ~ -3.11ppm/℃의 범위를 가지는 공진 주파수 온도계수(τ f )를 가지고 있고, 이러한 유전체 조성물의 소결 공정의 온도는 850℃에서도 소결이 되므로 적층형 고주파 유전체의 세라믹스 부품 재료로 사용될 수 있는 우수한 특성을 갖는 고주파 유전체 조성물이다. 저온, 소결, 유전체, Ba, Mg, Nb
Abstract:
본 발명은 내열부품, 내마모부품 및 반도체 제조 장비용 부품 등으로 사용되는 탄화규소의 표면개질 방법 및 표면개질된 탄화규소에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 표면 개질을 통하여 강도, 내열 충격 특성, 내마모성이 향상되도록 하는 탄화규소의 공기중 표면개질 방법 및 이에 의하여 표면개질된 탄화규소에 관한 것이다. 본 발명의 탄화규소 표면개질 방법은 공기중 900-1300℃, 바람직하게는 1050-1300℃의 온도에서 탄화규소를 수초 내지 수십시간 열처리하는 단계를 포함한다. 본 발명의 탄화규소 표면개질 방법에 의하면 탄화규소가 갖는 강도, 내열충격 특성, 내마모성을 향상시키고 가공시 발생하는 균열을 치유하는 효과를 갖는다. 또한, 이러한 표면개질 방법은 간단한 방법에 의하여 탄화규소의 물성을 향상시킬 뿐 만 아니라, 비용 면에서 유리한 가공 공정을 제공하게 되므로, 탄화규소가 이용되는 내열부품, 내마모부품 및 반도체 제조 장비용 부품의 산업에 큰 효과가 기대된다. 탄화규소, 표면개질, 반도체
Abstract:
본 발명은 내열부품, 내마모 부품 및 반도체 제조 장비용 부품 등으로 사용되는 알루미나계 세라믹스를 포함한 산화물 세라믹스의 표면개질 방법 및 처리된 산화물 세라믹스에 관한 것으로, 더욱, 상세하게는 유리를 열처리를 통하여 산화물 세라믹스 표면에 침투시킴으로서, 강도, 내열 충격 특성, 내마모성이 향상되고 가공에 의한 표면균열을 치유하도록 하는 산화물 세라믹스의 표면개질 방법 및 이에 의하여 제조된 산화물 세라믹스에 관한 것이다. 본 발명의 산화물 세라믹스의 표면개질 방법은 1000-1700℃의 온도에서 산화물 세라믹스 및 유리를 전기로를 비롯한 가열수단을 이용하여 수초 내지 수시간 열처리하는 단계를 포함한다. 본 발명의 산화물 세라믹스의 표면개질 방법은 적은 비용과 간단한 공정을 통하여 산화물 세라믹스의 강도, 내열 충격 특성, 내마모성을 향상시키는 효과를 갖는다. 산화물 세라믹스, 알루미나계 세라믹스, 지르코니아계 세라믹스, 열처리, 유리, 표면개질