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公开(公告)号：KR1020150061158A
公开(公告)日：2015-06-04
申请号：KR1020130144618
申请日：2013-11-26
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01J9/0215 , G01J2009/002 , G01B9/02 , G06F17/13
Abstract: 본발명의실시예에따른대상의파면을측정하는측정기의동작방법은대상의파면을기반으로측정파면을측정하는단계; 측정파면을기반으로기준방향및 제 1 내지제 3 방향들각각에대응하는기준기울기정보및 제 1 내지제 3 기울기정보를측정하는단계; 측정된기준기울기정보및 제 1 내지제 3 기울기정보를기반으로제 1 내지제 3 회전각들을획득하는단계; 및획득된제 1 내지제 3 회전각들을기반으로회전오차에의해발생한오류가보정된파면을출력하는단계를포함하고, 제 1 내지제 3 회전각들은각각기준방향및 제 1 방향의각도차이, 각각기준방향및 제 2 방향의각도차이, 및각각기준방향및 제 3 방향의각도차이이다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例，用于测量目标的波前的测量装置的操作方法包括以下步骤：基于目标的波前测量测量波阵面; 基于测量波阵面测量参考斜率信息和分别对应于参考方向的第一至第三参考斜率信息和第一至第三方向; 基于所测量的参考斜率信息和第一至第三参考斜率信息获取第一至第三旋转角度; 并输出波前，其中基于所获取的第一和第三旋转角度校正由旋转误差引起的误差。 参考方向和第一方向之间的角度差，参考方向和第二方向之间的角度差以及基准方向和第三方向之间的角度差分别被分配给第一至第三旋转角度。
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公开(公告)号：KR101523366B1
公开(公告)日：2015-05-29
申请号：KR1020130054573
申请日：2013-05-14
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B24B13/005 , B24B41/06
Abstract: 본발명은광학거울의공압시스템에적용되는중력보상장치, 중력보상방법및 그중력보상장치가구비된광학거울의공압시스템에대한것이다. 보다상세하게는, 후방면에다수의홈이형성된광학거울의후방면과특정공간을갖도록후방면측에결합되는공압하우징; 내주면이상기광학거울의외주면과형상맞춤되도록상기광학거울과상기공압하우징사이에구비되어상기특정공간을밀폐시키는공압외부마개; 상기특정공간을가압하여상기광학거울을부양시키는압력가압수단; 및상기광학거울의외주면을둘러싸도록설치된공압외부마개의외주면일측에구비되는특정무게를갖는적어도하나의무게추와, 상기무게추를상기광학거울의무게중심면과수직방향으로이동시키는이동수단을구비한중력보상장치;를포함하여, 광학거울면의가공량에따른광학거울무게중심의이동과이로인한광학거울의표면형상왜곡현상을무게추의무게와위치를조절함으로써효과적으로상쇄시킬수가있는중력보상장치를갖는광학거울의공압시스템에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020140058040A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：KR1020120124558
申请日：2012-11-06
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B24B13/00 , B24B13/005
CPC classification number: B24B13/00 , B24B13/005 , B24B41/06
Abstract: The present invention provides a mirror polishing device and a mirror polishing method. The mirror polishing device comprises a lightened mirror including a lightening pattern on one surface and having the other surface polished; a metallic fixing block including a first groove with a first depth for having the mirror inserted and hung therein and including a second groove with a second depth greater than the first depth on the bottom surface of the first groove; a sealing member inserted between the side surface of the mirror and the side wall of the first groove for sealing fluid; a fluid pressure adjusting part for receiving the fluid, providing the fluid to the second groove, and maintaining the pressure of the second groove; and a fluid supply part for supplying the fluid to the fluid adjusting part.
Abstract translation: 本发明提供了一种镜面抛光装置和镜面抛光方法。 镜面抛光装置包括一个减光镜，其在一个表面上包括一个发光图案，另一个表面被抛光; 金属固定块，包括具有第一深度的第一凹槽，用于使反射镜插入并悬挂在其中，并且包括具有大于第一凹槽的底表面上的第一深度的第二深度的第二凹槽; 插入反射镜的侧表面和第一凹槽的侧壁之间以密封流体的密封构件; 流体压力调节部，用于接收流体，将流体提供给第二凹槽，并保持第二凹槽的压力; 以及用于将流体供给到流体调节部的流体供给部。
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公开(公告)号：KR101124242B1
公开(公告)日：2012-03-27
申请号：KR1020090109711
申请日：2009-11-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 측정타워가 구비된 대구경 광학렌즈 연마장치에 관한 것이다.
본 발명의 연마장치는, 상부에 상호 대응되도록 설치된 제1상부프레임과 제2상부프레임을 가지는 베이스프레임; 연마대상물이 안치 고정되며 베이스프레임에 설치되는 회전 가능한 턴테이블; 턴테이블을 회전시키는 턴테이블회전수단; 제1상부프레임 상에 위치된 회전축에 일측 단부가 결합되고 제2상부프레임에 타측 단부가 연결되어 회전축을 중심으로 수평방향으로의 회전이 가능한 툴이동몸체; 툴이동몸체의 타측 단부가 제2상부프레임을 따라 이동되도록 하여 툴이동몸체가 전체적으로는 상기 회전축을 중심으로 회전되도록 하는 툴이동몸체회전수단; 툴이동몸체의 하부에 장착되는 툴장착몸체; 툴장착몸체를 툴이동몸체의 길이방향으로 이동시킬 수 있는 툴이동수단; 턴테이블의 상부에 위치되어 있고 가공되는 연마대상물의 연마 상태를 측정할 수 있는 측정장비가 구비된 측정타워; 입력된 데이터에 근거하여 상기 턴테이블회전수단, 툴이동몸체회전수단, 툴이동수단이 작동하도록 하는 중앙처리장치; 턴테이블회전수단, 툴이동몸체회전수단, 툴이동수단의 작동에 관한 데이터를 상기 중앙처리장치에 입력할 수 있는 데이터입력기기;를 포함하여 구성된다.
광학렌즈, 렌즈, 가공, 연마, 비축포물면-
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR101913496B1
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：KR1020170024712
申请日：2017-02-24
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은광학계가공을위한연마툴장치및 그작동방법에대한것이다. 보다상세하게는광학계의연마면을연마하기위해, 자전운동과공전운동을동시에갖는연마툴장치에있어서, 제1회전축의일단에구비되어상기제1회전축을길이방향기준으로회전구동시키는구동모터; 상기제1회전축타단에구비되는제1기어; 중공부가형성되며, 중공부중심부에상기제1기어가위치되며, 중공부내면에톱니가구비된하우징; 상기하우징의톱니와상기제1기어사이에위치되는제1연결기어와, 일단에상기제1연결기어가결합되고타단에제2연결기어가결합되는연결회전축을갖는연결기어단; 및상기제2연결기어와맞물려회전되는제2기어와상기제2기어의회전에의해자전되는연마툴을포함하는것을특징으로하는광학계가공을위한연마툴장치에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101566373B1
公开(公告)日：2015-11-13
申请号：KR1020140053191
申请日：2014-05-02
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G02B27/62
Abstract: 본발명은광학계의정렬방법을제공한다. 광학계의정렬방법은광학계정렬방법은정렬하고자하는정렬광학계를구성하는보정렌즈를정렬하기위하여임시구면거울과간섭계의초점이배치될초점면을각각정렬하는단계; 상기간섭계및 상기임시구면거울을이용하여상기정렬광학계의측정제르니케계수(Zi)를측정하는단계; 및상기간섭계를이용하여측정한측정제르니케계수에보상자의변동(ΔX)과민감도행렬(A)을곱을더한예측제르니케계수(Zf)와설계제르니케계수(Zo)를뺀 제르니케계수차이(Zd)의제곱평균제곱근파면오차를이용하여상기보정렌즈를정렬하는단계를포함한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种用于对准光学系统的方法。 用于对准光学系统的方法包括：对准每个焦平面的步骤，其中设置临时球面镜和干涉仪的焦点，以使形成要对准的光学系统的补偿透镜对准; 通过使用干涉仪和临时球面镜测量光学系统的泽尼克系数（Zi）的步骤; 通过使用通过从预测的泽尼克系数（Zf）中减去设计泽尼克系数（Zo）而获得的泽尼克系数（Zd）的差的均方根波前误差来对准补偿透镜的步骤，Zernike系数 补偿器的变化（ΔX）和灵敏度矩阵（A）与由干涉仪测量的泽尼克系数的乘积。
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公开(公告)号：KR101486271B1
公开(公告)日：2015-01-27
申请号：KR1020130053536
申请日：2013-05-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 박막 두께 및 형상의 신호 처리 방법을 제공한다. 이 신호 처리 방법은 주어진 박막의 굴절률과 주어진 입사각에서 박막 두께 정보 및 표면 형상 정보를 포함하는 간섭 신호를 처리하여 측정 위상 신호를 추출하는 단계, 박막 두께 및 파수에 따른 이론적 박막 위상과 측정 위상 신호를 이용하여 박막 두께 정보에 대응하는 박막 두께를 산출하는 단계, 및 측정 위상 신호와 이론적 박막 위상의 차이를 이용하여 표면 형상 정보에 대응하는 상부면 높이를 추출하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020140134822A
公开(公告)日：2014-11-25
申请号：KR1020130054573
申请日：2013-05-14
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B24B13/005 , B24B41/06
CPC classification number: B24B13/005 , B24B41/06
Abstract: 본 발명은 광학거울의 공압시스템에 적용되는 중력보상장치, 중력보상방법 및 그 중력보상장치가 구비된 광학거울의 공압시스템에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 후방면에 다수의 홈이 형성된 광학 거울의 후방면과 특정공간을 갖도록 후방면 측에 결합되는 공압하우징; 내주면이 상기 광학거울의 외주면과 형상맞춤되도록 상기 광학거울과 상기 공압하우징 사이에 구비되어 상기 특정공간을 밀폐시키는 공압외부마개; 상기 특정공간을 가압하여 상기 광학거울을 부양시키는 압력가압수단; 및 상기 광학거울의 외주면을 둘러싸도록 설치된 공압외부마개의 외주면 일측에 구비되는 특정무게를 갖는 적어도 하나의 무게추와, 상기 무게추를 상기 광학거울의 무게중심면과 수직방향으로 이동시키는 이동수단을 구비한 중력보상장치;를 포함하여, 광학거울면의 가공량에 따른 광학거울 무게중심의 이동과 이로 인한 광학거울의 표면형상왜곡 현상을 무게추의 무게와 위치를 조절함으로써 효과적으로 상쇄시킬 수가 있는 중력보상장치를 갖는 광학거울의 공압시스템에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种应用于光学镜的气动系统，重力补偿方法和具有重力补偿装置的光学镜的气动系统的重力补偿装置。 根据本发明，气动系统包括：气动壳体，其与后侧结合，以具有在后侧具有多个凹槽的光学镜的后侧的特定空间; 设置在光学反射镜和气动壳体之间的外部气动盖，以密封该特定空间，以使内圆周表面的形状与光学镜的外周表面的形状相匹配; 用于通过按压所述特定空间来浮动所述光学镜的压力按压装置; 以及重力补偿装置，其包括至少一个重量，所述重物具有安装在围绕所述光学镜的外周面的所述外部气动帽的外周面的一侧中配置的比重，以及移动装置， 光学镜的重心的垂直方向。 具有重力补偿装置的光学镜的气动系统能够有效地抵消由光学镜面的处理量引起的光学镜的重心的运动和由此产生的光学镜的表面形状畸变 通过调整重量的位置和重量。
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